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Máquina de revestimento por evaporação de feixe de elétrons compacta de alta precisão para aplicações de revestimento óptico versátil
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Máquina de revestimento por evaporação de feixe de elétrons compacta de alta precisão para aplicações de revestimento óptico versátil
| Lugar de origem | Guangdong |
| Marca | Lion King |
| Certificação | CE |
Detalhes do produto
sistema de controle:
Automático, semi-automático, manual
Processo de revestimento:
Evaporação a Vácuo
Suporte de rotação:
2 conjuntos
Servidor:
liberdade
Dimensões:
Aprox. 2.000 mm x 1.500 mm x 1.800 mm
método de resfriamento:
Resfriamento de Água
Transparência de revestimento:
Alto
Espessura do revestimento:
Ajustável
Material da Câmara:
Aço inoxidável ou aço carbono
Tipo de bomba:
Bomba de palhetas rotativas + bomba de difusão
Tensão:
380V, 50Hz ou personalizado
Tecnologia de revestimento:
Evaporação
Temperatura de revestimento:
Ajustável
Fonte de alimentação de evaporação:
1 conjunto
Sistema de rotação:
2 conjuntos
Destacar:
Máquina de evaporação de feixe de elétrons pequeno
,Equipamento de revestimento óptico PVD
,Máquina de revestimento de armas de elétrons
Termos de pagamento e envio
Quantidade de ordem mínima
1
Tempo de entrega
45-60 dias de trabalho
Descrição do produto
Máquinas de revestimento por evaporação de feixe de elétrons
Especificações técnicas essenciais
| Categoria de parâmetros | Detalhes |
|---|---|
| Capacidade do substrato | Tamanho máximo: até 6 polegadas (150 mm); Compatível com wafers de 2 "/4"/6" / componentes ópticos; Tamanho mínimo: 10 × 10 mm |
| Desempenho no vácuo | Vazio final: ≤ 1×10−6 Torr (1,3×10−4 Pa); Tempo de bombeamento: minutos até 5×10−6 Torr; Taxa de vazamento: 10−3 Pa*L/s (teste de vazamento He) |
| Sistema de evaporação | Potência do feixe de elétrons: 250W-10kW; Número de cadinhos/bolsões: 4-8; Rodas de suporte (max φ4mm) e matéria-prima do cadinho (1-15cc) |
| Controle de processos | Temperatura do substrato: RT-500°C (precisão ±1°C); Velocidade de rotação: 2-20 rpm; Monitor de espessura da película: QCM (0,01 nm/s de resolução) |
| Qualidade do filme | Uniformidade: ±1%-±3%; Adesão: Cumprindo a norma ASTM D3359 4B; Taxa de deposição: 0,1 a 10 nm/s |
| Compatibilidade | Materiais: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (suporta filmes AR/AF/refletores) |
| Dimensões físicas | Impressão: 1-3.3×3.0m; Altura: 2.5-3.5m; Peso: <800kg (modelos de mesa/mesas) |
| Fornecimento de energia | Fase única/três: 220V/380V, 50/60Hz; Consumo de energia: 1,2 kW-10 kW |
Principais vantagens
Design compacto e economizador de espaço
- Estrutura de escritório/modular com padrão Korvus HEX-800, ideal para ambientes de laboratório/pesquisa
- Fácil integração com caixas de luvas para processos de atmosfera inerte
- Construção leve e substituição de módulos sem ferramentas reduzem os custos de instalação e manutenção
Revestimento de alta precisão e fiabilidade
- A tecnologia de focalização do feixe de elétrons permite a deposição de metais refratários (Pt, W) e materiais dielétricos
- 0.01nm/s controlo de espessura com uniformidade de película ± 1% (líder do setor para equipamentos de pequena escala)
- Fonte de íons Hall + pré-limpeza do plasma Ar melhora a adesão do filme (grau 4B) e a densidade
- Cumprir os requisitos de desempenho dos componentes ópticos (por exemplo, filmes AR com transmissão > 95%)
Adaptação de processos versátil e flexível
- Suporte a 4-8 cristais/bolsões para co-evaporação de vários materiais
- Troca rápida entre películas metálicas, óxidas e orgânicas (AF/AR/reflector/revestimentos protetores)
- Compatível com substratos de 2 a 6 polegadas (wafers, lentes, fibras ópticas)
- Instalações personalizáveis (cúpula/knudzin/placa) para componentes 2D/3D
Operação inteligente e fácil de usar
- Sistema de controlo PLC + touchscreen com monitorização de processos em tempo real
- Bibliotecas de processos pré-programadas para configuração rápida
- O projeto de bomba molecular de criopompa/suspensão magnética com eficiência energética reduz o consumo de energia em 30% em comparação com os sistemas tradicionais
Eficácia em termos de custos para a I&D e a produção em pequenos lotes
- Baixo investimento inicial com uma taxa de utilização visada elevada (> 70%) e um desperdício mínimo de materiais
- Adequado para prototipagem para fabricação de pequenos lotes (até 10 000 peças/ano)
- Integração multifuncional (evaporação do feixe eléctrico + pulverização opcional) elimina a necessidade de vários dispositivos
Funções fundamentais
Aquecimento e evaporação precisos
- Feixes de elétrons de alta energia bombardeiam as superfícies do material alvo, aquecendo-os até estado fundido ou evaporado
- A energia concentrada e a elevada eficiência térmica permitem a evaporação de materiais refratários (tungsténio, molibdênio, titânio, SiO2, TiO2)
- Evitar a contaminação do material alvo pela fonte de aquecimento
- Suporta a comutação de materiais multi-alvo (2-6 posições de caldeirão) para deposição contínua de filmes de uma ou várias camadas
Controle preciso da espessura da película
- Monitor de espessura de película de cristal de quartzo incorporado para a monitorização da taxa de deposição e da espessura em tempo real
- Precisão de controlo ao nível nanométrico (± 0,1 nm) para películas funcionais ultrafinas
- Sistema de controlo programável com parâmetros de deposição pré-definidos (potência do feixe de elétrons, grau de vácuo, taxa de deposição)
- Revestimento automatizado garante a consistência da camada de filme do lote
Garantia do ambiente de vácuo elevado
- Bomba mecânica + bomba molecular unidade de vácuo reduz a cavidade para 10−4 ~ 10−6 Pa ambiente de vácuo elevado
- Reduz a dispersão das moléculas de gás e a contaminação das partículas evaporadas
- Assegura que as camadas de filme tenham alta pureza, boa densidade e forte adesão
Adaptação de peças de pequeno porte
- Fabrico a partir de matérias têxteis
- Melhora a uniformidade da camada de revestimento nos substratos
- Apto para substratos de milímetros a dezenas de milímetros (wafers, lentes ópticas, chips, componentes de sensores)
- Suporta revestimento de montagem de superfície, folha e peças pequenas
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Estrada Sul de Lantang, Área de Duanzhou, cidade de Zhaoqing, Guangdong 526060 China
