<
>
Máy sơn bốc hơi chùm electron chính xác cao nhỏ gọn cho các ứng dụng sơn quang đa năng
Máy sơn bốc hơi chùm electron chính xác cao nhỏ gọn cho các ứng dụng sơn quang đa năng
Nơi xuất xứ:Triệu Khánh, Quảng Đông
Tên thương hiệu:Zhongda
Chứng nhận:CE
Số lượng đặt hàng tối thiểu:1
Thời gian giao hàng:45-60 ngày làm việc
Chi tiết sản phẩm
Làm nổi bật:
Máy bay hơi chùm electron nhỏ
,Thiết bị PVD phủ quang học
,Máy phủ chùm electron
Control System:
Tự động hoàn toàn, bán tự động, thủ công
Coating Process:
bay hơi chân không
Rotation Stand:
2 bộ
Server:
cởi mở
Dimensions:
Xấp xỉ. 2000mm x 1500mm x 1800mm
Cooling Method:
Làm mát bằng nước
Coating Transparency:
Cao
Coating Thickness:
có thể điều chỉnh
Chamber Material:
thép không gỉ hoặc thép carbon
Pumptype:
Bơm cánh gạt + bơm khuếch tán
Voltage:
380V, 50Hz hoặc tùy chỉnh
Coating Technology:
Bay hơi
Coating Temperature:
có thể điều chỉnh
Evaporation Power Supply:
1 bộ
Rotation System:
2 bộ
Mô tả sản phẩm
Thông số kỹ thuật chi tiết và đặc điểm
Máy sơn bốc hơi chùm electron nhỏ
Các thông số kỹ thuật cơ bản
| Nhóm tham số | Chi tiết |
|---|---|
| Khả năng chất nền | Kích thước tối đa: Tối đa 6 inch (150mm); Tương thích với wafer 2 "/4"/6" / các thành phần quang học; Kích thước tối thiểu: 10 × 10mm |
| Hiệu suất chân không | Vacuum cuối cùng: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); Thời gian bơm: phút đến 5×10−6 Torr; Tốc độ rò rỉ: 10−3 Pa*L/s (kiểm tra rò rỉ) |
| Hệ thống bốc hơi | Năng lượng chùm electron: 250W-10kW; Số lượng thùng nồi / túi: 4-8; Đằng hỗ trợ (tối đa φ4mm) & nguyên liệu thùng nồi (1-15cc) |
| Kiểm soát quy trình | Nhiệt độ chất nền: RT-500 °C (chính xác ± 1 °C); Tốc độ xoay: 2-20 rpm; Kiểm tra độ dày phim: QCM (0,01 nm/s độ phân giải) |
| Chất lượng phim | Đồng nhất: ± 1% - ± 3%; Độ dính: đáp ứng tiêu chuẩn ASTM D3359 4B; Tốc độ lắng đọng: 0,1-10 nm/s |
| Khả năng tương thích | Vật liệu: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (hỗ trợ AR / AF / phim phản xạ) |
| Kích thước vật lý | Dấu chân: 1-3.3×3.0m; Chiều cao: 2.5-3.5m; Trọng lượng: <800kg (mô hình bàn làm việc / bàn) |
| Cung cấp điện | Một/Ba pha: 220V/380V, 50/60Hz; Tiêu thụ điện: 1.2kW-10kW |
Ưu điểm chính
Thiết kế nhỏ gọn & tiết kiệm không gian
- Cấu trúc máy tính để bàn / mô-đun với tiêu chuẩn Korvus HEX-800, lý tưởng cho thiết lập phòng thí nghiệm / nghiên cứu
- Tích hợp dễ dàng với hộp găng tay cho các quy trình khí quyển trơ
- Xây dựng nhẹ và thay thế mô-đun không có công cụ giảm chi phí lắp đặt và bảo trì
Lớp phủ chính xác và đáng tin cậy
- Công nghệ tập trung chùm điện tử cho phép lắng đọng kim loại lửa (Pt, W) và vật liệu điện môi
- 0.01nm/s kiểm soát độ dày với sự đồng nhất của phim ± 1% (trưởng trong ngành cho thiết bị quy mô nhỏ)
- Nguồn ion Hall + Tiền làm sạch plasma Ar làm tăng độ dính của phim (4B) và mật độ
- Đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất thành phần quang học (ví dụ, phim AR với độ truyền > 95%)
Chuyển đổi quy trình linh hoạt và linh hoạt
- Hỗ trợ 4-8 chậu / túi để đồng bay hơi đa vật liệu
- Chuyển nhanh giữa các tấm kim loại, oxit và hữu cơ (AF / AR / sơn phản xạ / bảo vệ)
- Tương thích với các chất nền 2-6" (bảng, ống kính, sợi quang)
- Các thiết bị cố định có thể tùy chỉnh (đền / knudzin / tấm) cho các thành phần 2D / 3D
Hoạt động thông minh và thân thiện với người dùng
- PLC + hệ thống điều khiển màn hình cảm ứng với giám sát quá trình thời gian thực
- Thư viện quy trình được lập trình trước để thiết lập nhanh
- Thiết kế máy bơm phân tử điện hiệu quả / máy bơm nén từ tính giảm 30% so với các hệ thống truyền thống
Hiệu quả về chi phí cho R & D và sản xuất hàng loạt nhỏ
- Đầu tư ban đầu thấp với tỷ lệ sử dụng mục tiêu cao (> 70%) và lãng phí vật liệu tối thiểu
- Thích hợp để tạo ra nguyên mẫu để sản xuất hàng loạt nhỏ (tối đa 10.000 bộ/năm)
- Tích hợp đa chức năng (bốc hơi chùm tia điện tử + bột bột tùy chọn) loại bỏ nhu cầu nhiều thiết bị
Chức năng cốt lõi
Làm nóng và bốc hơi chính xác
- Các chùm electron năng lượng cao bắn phá bề mặt vật liệu mục tiêu, làm nóng đến trạng thái nóng chảy hoặc bay hơi
- Năng lượng tập trung và hiệu suất nhiệt cao cho phép bốc hơi các vật liệu lửa (tungsten, molybdenum, titanium, SiO2, TiO2)
- Tránh ô nhiễm vật liệu mục tiêu bằng nguồn sưởi ấm
- Hỗ trợ chuyển đổi vật liệu đa mục tiêu (2-6 vị trí nồi) để lắng đọng liên tục các bộ phim một lớp và nhiều lớp
Kiểm soát độ dày phim chính xác
- Kiểm tra độ dày phim tinh thể thạch anh tích hợp để theo dõi tốc độ lắng đọng và độ dày trong thời gian thực
- Độ chính xác điều khiển ở mức nanomet (± 0,1nm) cho các tấm chức năng siêu mỏng
- Hệ thống điều khiển có thể lập trình với các tham số lắng đọng đã được đặt trước (năng lượng chùm electron, mức độ chân không, tốc độ lắng đọng)
- Lớp phủ tự động đảm bảo sự nhất quán của lớp phim lô
Bảo đảm môi trường chân không cao
- Máy bơm cơ học + máy bơm phân tử làm giảm khoang thành môi trường chân không cao 10−4~10−6 Pa
- Giảm phân tán phân tử khí và ô nhiễm của các hạt bay hơi
- Đảm bảo các lớp phim có độ tinh khiết cao, mật độ tốt và gắn kết mạnh
Phương pháp thích nghi với các mảnh nhỏ
- Thiết kế đặc biệt cho các mảnh nhỏ với bàn bánh quay
- Cải thiện sự đồng nhất lớp phủ trên các chất nền
- Thích hợp cho các nền từ milimet đến hàng chục milimet (bảng, ống kính quang học, chip, thành phần cảm biến)
- Hỗ trợ lớp phủ của bề mặt gắn, tấm, và các bộ phận nhỏ
Tin nhắn trả lời nhanh
Sản phẩm liên quan
Máy phủ quang chân không chi phí thấp với điều khiển hoàn toàn tự động và công nghệ phủ E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Máy phủ chùm electron quang học với giám sát chính xác, kích thước buồng tùy chỉnh và vật liệu phủ tinh khiết cao
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Máy phủ ống kính quang học Máy phủ chùm electron Vakuum coaters for Metal Lens Coating
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
Thiết bị sơn quang bay hơi tia electron quy mô lớn cho máy sơn pvd
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
