Máy phủ chùm electron chuyên dụng có phim chống phản xạ chính xác cao có thể tùy chỉnh (phần phim AR)

• Hệ thống chân không: Máy bơm phân tử + Máy bơm rễ + Máy bơm cơ khí, dụng cụ đo chân không, buồng chân không.
• Hệ thống súng điện tử:cathode (cáp tantalum/cáp tungsten), anode, cuộn lấy nét, cuộn lệch, máy quét chùm electron.
• Hệ thống bốc hơi vật liệu màng:Chất phun, cơ chế cấp chất liệu màng, nắp bảo vệ chống phun.
• Cầm và hệ thống truyền tải vật liệu:Cầm đồ đạc hành tinh (tự xoay + xoay), thiết bị sưởi ấm (sưởi ấm hồng ngoại / kháng cự).
• Hệ thống giám sát độ dày màng:Quartz crystal oscillation monitor (QCM), máy theo dõi nhiễu quang học.
• CHệ thống kiểm soát:Màn hình cảm ứng PLC, phần mềm máy tính phía trên, thiết bị khóa an toàn.

Giai đoạn chuẩn bị chân không:Đóng cửa buồng chân không, khởi động hệ thống chân không để sơ tán đến chân không tối đa (≤ 5 × 10 - 5 Pa) và đồng thời, heat the substrate to the preset temperature (such as 150℃ for glass substrate and 80℃ for resin substrate) through the workpiece rack heating device to remove the water vapor and impurities adsorbed on the substrate surface and enhance the adhesion of the film layer.

Giai đoạn bốc hơi vật liệu màng:Vũ khí điện tử được kích hoạt bởi PLC. which are then accelerated at the anode (acceleration voltage 10-30kV) and focused by the focusing coil to form a high-energy electron beam that bombards the AR membrane material (such as the first layer of SiO₂) inside the crucibleNăng lượng động của chùm electron được chuyển thành năng lượng nhiệt, khiến vật liệu màng đạt đến nhiệt độ bay hơi (khoảng 1700 °C cho SiO2 và khoảng 2200 °C cho TiO2),và sau đó bốc hơi thành các hạt khí.

Giai đoạn lắng đọng phim:Các hạt vật liệu màng khí phân tán về phía chất nền trong môi trường chân không, hấp thụ, di cư và ngưng tụ trên bề mặt chất nền, tạo thành một bộ phim liên tục.Các rack workpiece đảm bảo rằng các hạt khí đồng đều bao phủ bề mặt cơ sở thông qua tự quay và vòng xoay, tránh sai lệch độ dày địa phương.

Giai đoạn cuối cùng của lớp phủ:Sau khi tất cả các lớp phim được lắng đọng, duy trì môi trường chân không để làm mát trong 30 đến 60 phút (để tránh căng thẳng bên trong các lớp phim do sự khác biệt nhiệt độ quá cao),sau đó từ từ giải phóng khí đến áp suất bình thường và loại bỏ mảnh làm việcTrong suốt quá trình này, the film thickness monitoring system provides real-time feedback on data and dynamically adjusts the electron beam power and evaporation rate to ensure that the refractive index and thickness of each layer of film meet the AR film design requirements (such as achieving a reflectivity of ≤00, 5% trong dải ánh sáng nhìn thấy 400-700nm).

• Lớp phim có độ chính xác cao và đáp ứng các yêu cầu cốt lõi của phim AR:Đồng nhất độ độ dày màng ≤ ± 2%, và độ chính xác điều khiển chỉ số khúc xạ ± 0.005. Hỗ trợ điều chỉnh độ dày phim quy mô nano (mức độ dày lắng đọng tối thiểu 0,1nm).
• Vật liệu màng có khả năng tương thích mạnh mẽ và bao gồm các vật liệu chính của phim AR:Nó có thể bay hơi ổn định các vật liệu màng thường được sử dụng của phim AR và hỗ trợ sự lắng đọng xen kẽ của các vật liệu màng khác nhau,đáp ứng các yêu cầu thiết kế của các tấm AR tổng hợp đa lớp.
• Độ tự động cao, phù hợp với các kịch bản sản xuất hàng loạt:Điều khiển PLC toàn bộ quy trình, hỗ trợ lưu trữ công thức và chuyển đổi nhanh chóng, hiệu quả sản xuất tăng hơn 30% so với máy sơn chung.
• Môi trường chân không sạch sẽ và chất lượng lớp phim ổn định:độ chân không cuối cùng cao (≤5 × 10−5 Pa) và hàm lượng khí dư lượng thấp, có thể làm giảm bong bóng và tạp chất trong lớp phim.Độ ổn định của phim AR (trong môi trường từ -40 °C đến 85 °C) tăng 20%, và sương mù là ≤0,1%.
• Nó có khả năng thích nghi với nền tảng rộng và đáp ứng nhu cầu của nhiều kịch bản:Nó hỗ trợ việc chuẩn bị các bộ phim AR trên các nền khác nhau như thủy tinh, nhựa, sapphire và kim loại.có thể đạt được sự bám chặt mạnh giữa lớp phim và chất nền.

• Nó đã giải quyết vấn đề bốc hơi ổn định của vật liệu màng AR với điểm nóng chảy cao (như TiO2 và ZrO2), và là thiết bị chuẩn bị ưa thích cho màng AR băng thông rộng đa lớp.
• Độ chính xác và độ ổn định của lớp phim vượt xa so với các máy sơn sơn nhiệt kháng,đáp ứng các yêu cầu về phim AR của các sản phẩm quang cao cấp như ống kính máy ảnh và ống kính laser.
• Hiệu quả sản xuất hàng loạt và kiểm soát chi phí vượt trội so với các máy sơn phun magnetron, làm cho nó phù hợp với các kịch bản ứng dụng quy mô lớn như điện tử tiêu dùng,Photovoltaics, và ô tô.

1. lĩnh vực điện tử tiêu dùng (thị trường ứng dụng lớn nhất)
   Màn hình hiển thị điện thoại di động / máy tính bảng / máy tính; ống kính máy ảnh / ống kính điện thoại di động; Smartwatch / ống kính thiết bị VR.
2. Các thiết bị quang học
   Kính kính hiển vi/kiện kính thiên văn; Kính kính thiết bị laser (chẳng hạn như kính laser CO2, kính laser sợi).
3. Photovoltaic năng lượng trường
   Kính quang điện; Hệ thống Mặt trời tập trung (CSP)
4. Các lĩnh vực ô tô và hàng không vũ trụ
   Kính chắn gió/cửa sổ xe hơi; cửa sổ máy bay/giương phản chiếu.
5. Các lĩnh vực đặc biệt khác
   Thiết bị quang học y tế (như ống kính nội soi, kính hiển vi phẫu thuật); Bảng hiển thị (như OLED, Mini LED).