Konfigurowalna, precyzyjna folia antyrefleksyjna (folia AR) dedykowana maszyna do powlekania wiązką elektronów

• System próżniowy: Pompa molekularna + pompa korzeniowa + pompa mechaniczna, przyrząd pomiarowy próżni, komora próżniowa.
• System broni elektronicznej:katodę (przęd tantalium/przęd wolframu), anoda, cewkę koncentrującą, cewkę deflekcyjną, skaner wiązki elektronów.
• System parowania materiału membranowego:mechanizm podawania materiału membranowego, osłona przeciwprzelewu.
• W przypadku urządzeń z napędem silnikowym:Planetarny stojak do części roboczej (samoobrot + obrót), urządzenie grzewcze (ogrzewanie w podczerwieni/opór).
• System monitorowania grubości folii:Monitor oscylacji kryształu kwarcowego (QCM), monitor interferencji optycznych.
• Csystem kontroli:Ekran dotykowy PLC, górne oprogramowanie komputerowe, zabezpieczenie.

Etap przygotowania próżni:Zamknąć drzwi komory próżniowej, uruchomić system próżniowy do ewakuacji do maksymalnego próżniowego poziomu (≤ 5 × 10−5 Pa) i jednocześnie heat the substrate to the preset temperature (such as 150℃ for glass substrate and 80℃ for resin substrate) through the workpiece rack heating device to remove the water vapor and impurities adsorbed on the substrate surface and enhance the adhesion of the film layer.

Etap parowania materiału membranowego:Pistolet elektronowy jest aktywowany przez PLC, katodę podgrzewa się, aby wytworzyć elektrony termiczne. which are then accelerated at the anode (acceleration voltage 10-30kV) and focused by the focusing coil to form a high-energy electron beam that bombards the AR membrane material (such as the first layer of SiO₂) inside the crucibleEnergia kinetyczna wiązki elektronów jest przekształcana w energię cieplną, co powoduje, że materiał membranowy osiąga temperaturę parowania (około 1700°C dla SiO2 i około 2200°C dla TiO2),a następnie odparowują się na cząstki gazowe.

Etap osadzenia folii:Cząsteczki materiału w postaci folii gazowej rozpraszają się w kierunku podłoża w środowisku próżni, adsorbują, migrują i kondensują na powierzchni podłoża, tworząc ciągły film.Szafka do obróbki zapewnia, że cząstki gazowe równomiernie pokrywają powierzchnię podstawy poprzez samoobrót i obrót, unikając lokalnych odchyleń grubości.

Końcowy etap powlekania:Po osadzeniu wszystkich warstw folii utrzymywać w środowisku próżniowym do chłodzenia przez 30 do 60 minut (w celu uniknięcia napięcia wewnętrznego w warstwach folii z powodu nadmiernych różnic temperatury),Następnie powoli uwalniać gaz do normalnego ciśnienia i usunąć element obróbkiPrzez cały proces, the film thickness monitoring system provides real-time feedback on data and dynamically adjusts the electron beam power and evaporation rate to ensure that the refractive index and thickness of each layer of film meet the AR film design requirements (such as achieving a reflectivity of ≤00,5% w zakresie światła widzialnego 400-700 nm).

• Warstwa filmu ma wysoką precyzję i spełnia podstawowe wymagania filmów AR:jednorodność grubości folii ≤± 2% i dokładność kontroli wskaźnika załamania ± 0.005Wspiera regulację grubości folii w skali nano (minimalna grubość osadzenia 0,1 nm).
• Materiał membranowy ma silną kompatybilność i obejmuje główne materiały filmów AR:Może stabilnie odparowywać powszechnie stosowane materiały membranowe filmów AR i wspierać nawzajem odkłady różnych materiałów membranowych,spełniające wymagania projektowe wielowarstwowych filmów AR złożonych.
• Wysoki stopień automatyzacji, odpowiedni do scenariuszy masowej produkcji:Całkowite sterowanie procesem PLC, wspieranie przechowywania formuły i szybkie przełączanie, wydajność produkcji wzrasta o ponad 30% w porównaniu z ogólnymi maszynami do powlekania.
• Środowisko próżniowe jest czyste, a jakość warstwy foliowej jest stabilna:stopień próżni ostatecznej jest wysoki (≤5×10−5 Pa), a zawartość gazu pozostałego jest niska, co może zmniejszyć pęcherze i zanieczyszczenia w warstwie foliowej.Stabilność przepuszczalności światła folii AR (w warunkach od -40°C do 85°C) wzrasta o 20%, a mgła wynosi ≤ 0,1%.
• Ma szeroką zdolność adaptacyjną podłoża i spełnia potrzeby wielu scenariuszy:Wspiera przygotowanie filmów AR na różnych podłogach, takich jak szkło, żywica, szafir i metal.można osiągnąć silne przyczepienie między warstwą folii a podłożem.

• Rozwiązał problem stabilnego parowania materiałów membranowych AR o wysokim punkcie topnienia (takich jak TiO2 i ZrO2) i jest preferowanym sprzętem przygotowawczym dla wielowarstwowych szerokopasmowych membran AR.
• Dokładność i stabilność warstwy foliowej znacznie przewyższają prędkość i stabilność maszyn do obróbki powłok ocieplonych o odporności,spełniające wymagania dotyczące folii AR produktów optycznych wysokiej klasy, takich jak soczewki do kamer i soczewki laserowe.
• Skuteczność masowej produkcji i kontrola kosztów są lepsze niż w przypadku maszyn do powlekania przez rozpylanie magnetronowe, co czyni je odpowiednimi do zastosowań na dużą skalę, takich jak elektronika użytkowa,fotovoltaiczne, i samochodów.

1. Sektor elektroniki użytkowej (największy rynek zastosowań)
   Ekran wyświetlacza telefonu komórkowego/tablet/komputera; obiektyw aparatu fotograficznego/obiektyw telefonu komórkowego; obiektywy urządzeń smartwatch/VR.
2. Obszar instrumentów optycznych
   Soczewki do mikroskopów/teleskopów; soczewki do urządzeń laserowych (takie jak soczewki laserowe CO2, soczewki laserowe włókniste).
3. Pole energii fotowoltaicznej
   Szkło fotowoltaiczne; System słoneczny skoncentrowany (CSP)
4. Powierzchnie motoryzacyjne i lotnicze
   Szkło przednie samochodu/okna; okno samolotu/lotowe lusterko.
5. Inne obszary specjalne
   Sprzęt optyczny medyczny (np. soczewki endoskopowe, mikroskopy chirurgiczne); panele wyświetleniowe (np. OLED, Mini LED).