Macchina di rivestimento a fascio di elettroni ad alta precisione ad alta precisione

• Sistema a vuoto: pompa molecolare + pompa radicale + combinazione di pompe meccaniche, strumento di misurazione del vuoto, camera di vuoto.
• Sistema di cannone elettronico:catodo (fili di tantallo/fili di tungsteno), anodo, bobina di messa a fuoco, bobina di deflessione, scanner a fascio elettronico.
• Sistema di evaporazione del materiale a membrana:cisterna, meccanismo di alimentazione del materiale a membrana, copertura di protezione anti-sputtering.
• Scala e sistema di trasmissione del pezzo da lavorare:Scaffaletto planetario per pezzi da lavoro (auto-rotazione + rivoluzione), dispositivo di riscaldamento (riscaldo a infrarossi/resistenza).
• Sistema di controllo dello spessore della pellicola:monitor di oscillazione a cristallo di quarzo (QCM), monitor di interferenze ottiche.
• Csistema di controllo:PLC touch screen, software superiore, dispositivo di sicurezza.

Fase di preparazione del vuoto:Chiudere la porta della camera di vuoto, avviare il sistema di vuoto per evacuare fino al vuoto massimo (≤ 5×10−5 Pa) e, allo stesso tempo, heat the substrate to the preset temperature (such as 150℃ for glass substrate and 80℃ for resin substrate) through the workpiece rack heating device to remove the water vapor and impurities adsorbed on the substrate surface and enhance the adhesion of the film layer.

Fase di evaporazione del materiale della membrana:La pistola elettronica e' attivata da un PLC, il catodo e' riscaldato per generare elettroni termici. which are then accelerated at the anode (acceleration voltage 10-30kV) and focused by the focusing coil to form a high-energy electron beam that bombards the AR membrane material (such as the first layer of SiO₂) inside the crucibleL'energia cinetica del fascio di elettroni viene convertita in energia termica, facendo sì che il materiale della membrana raggiunga la temperatura di evaporazione (circa 1700°C per il SiO2 e circa 2200°C per il TiO2),e poi evaporano in particelle gassose.

Fase di deposizione del film:Le particelle di materiale a film gassoso si diffondono verso il substrato in un ambiente vuoto, si adsorbono, migrano e si condensano sulla superficie del substrato, formando un film continuo.Il rack del pezzo di lavoro assicura che le particelle gassose coprano uniformemente la superficie di base attraverso auto-rotazione e rivoluzione, evitando deviazioni locali di spessore.

Fase finale del rivestimento:Dopo che tutti gli strati di pellicola sono stati depositati, mantenere un ambiente vuoto per raffreddare per 30 a 60 minuti (per evitare lo stress interno negli strati di pellicola a causa di eccessive differenze di temperatura),poi rilasciare lentamente il gas alla pressione normale e rimuovere il pezzo di lavoroDurante l'intero processo, the film thickness monitoring system provides real-time feedback on data and dynamically adjusts the electron beam power and evaporation rate to ensure that the refractive index and thickness of each layer of film meet the AR film design requirements (such as achieving a reflectivity of ≤00,5% nella banda di luce visibile da 400 a 700 nm).

• Lo strato di pellicola ha un'elevata precisione e soddisfa i requisiti fondamentali dei film AR:Uniformità dello spessore della pellicola ≤ ± 2% e precisione di controllo dell'indice di rifrazione ± 0.005Supporta la regolazione dello spessore della pellicola su scala nanometrica (spessore minimo di deposizione 0,1 nm).
• Il materiale a membrana ha una forte compatibilità e copre i materiali principali dei film AR:Può evaporare in modo stabile i materiali a membrana comunemente utilizzati dei film AR e supportare la deposizione alternata di diversi materiali a membrana,che soddisfano i requisiti di progettazione dei film AR compositi a più strati.
• Un elevato grado di automazione, adatto a scenari di produzione di massa:Controllo PLC completo del processo, supporto per lo stoccaggio delle formule e la commutazione rapida, l'efficienza di produzione è aumentata di oltre il 30% rispetto alle macchine di rivestimento generali.
• L'ambiente sotto vuoto è pulito e la qualità dello strato di pellicola è stabile:il grado finale di vuoto è elevato (≤ 5×10−5 Pa) e il contenuto di gas residuo è basso, il che può ridurre le bolle e le impurità nello strato di pellicola.La stabilità della trasmissione luminosa della pellicola AR (in un ambiente da -40°C a 85°C) è aumentata del 20%, e la foschia è ≤ 0,1%.
• Ha un'ampia adattabilità al substrato e soddisfa le esigenze di più scenari:Supporta la preparazione di film AR su diversi substrati come vetro, resina, zaffiro e metallo.può essere ottenuta una forte adesione tra lo strato di pellicola e il substrato.

• Ha risolto il problema dell'evaporazione stabile di materiali a membrana AR ad alto punto di fusione (come TiO2 e ZrO2), ed è l'attrezzatura di preparazione preferita per membrane AR a banda larga multilivello.
• La precisione e la stabilità dello strato di pellicola superano di gran lunga quelle delle macchine di rivestimento a riscaldamento a resistenza,soddisfacendo i requisiti di film AR dei prodotti ottici di fascia alta come le lenti per fotocamere e le lenti laser.
• L'efficienza della produzione di massa e il controllo dei costi sono superiori a quelli delle macchine per rivestimento a sputtering magnetron, rendendolo adatto a scenari di applicazione su larga scala come l'elettronica di consumo,fotovoltaici, e automobili.

1. Il settore dell'elettronica di consumo (il più grande mercato di applicazione)
   Telefono cellulare/tablet/display del computer; lente della fotocamera/lente del telefono cellulare; lente di dispositivi Smartwatch/VR.
2. Campo degli strumenti ottici
   Lenti per microscopi/telescopi; lenti per apparecchiature laser (come le lenti laser a CO2, le lenti laser a fibra).
3. Campo di energia fotovoltaica
   Vetro fotovoltaico; sistema solare concentrato (CSP)
4. Settori automobilistici e aerospaziali
   Pareti anteriori/finestre di auto; finestre/specchietti aerei.
5. Altri campi speciali
   Attrezzature ottiche mediche (come lenti endoscopiche, microscopi chirurgici); pannelli di visualizzazione (come OLED, Mini LED).