เครื่องเคลือบแสงอิเล็กตรอนเฉพาะเจาะจง (AR film) ที่สามารถปรับแต่งได้

• ระบบสุญญากาศ: ปั๊มโมเลกุล + ปั๊มรูทส์ + การรวมกันของปั๊มกลไก, เครื่องมือวัดสุญญากาศ, ห้องสุญญากาศ
• ระบบปืนอิเล็กตรอน: แคโทด (ลวดแทนทาลัม/ลวดทังสเตน), แอโนด, ขดลวดโฟกัส, ขดลวดเบี่ยงเบน, เครื่องสแกนลำแสงอิเล็กตรอน
• ระบบการระเหยวัสดุเมมเบรน: เบ้าหลอม, กลไกการป้อนวัสดุเมมเบรน, ฝาครอบป้องกันการกระเด็น
• ชั้นวางชิ้นงานและระบบส่งกำลัง: ชั้นวางชิ้นงานแบบแพลนเน็ต (การหมุนตัวเอง + การปฏิวัติ), อุปกรณ์ทำความร้อน (อินฟราเรด/การให้ความร้อนแบบต้านทาน)
• ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์ม: ตัวตรวจสอบการสั่นของคริสตัลควอตซ์ (QCM), ตัวตรวจสอบการรบกวนของแสง
• Cระบบควบคุม: หน้าจอสัมผัส PLC, ซอฟต์แวร์คอมพิวเตอร์ส่วนบน, อุปกรณ์เชื่อมต่อความปลอดภัย

ขั้นตอนการเตรียมสุญญากาศ: ปิดประตูห้องสุญญากาศ เริ่มระบบสุญญากาศเพื่ออพยพไปยังสุญญากาศสูงสุด (≤5×10⁻⁵ Pa) และในเวลาเดียวกัน ให้ความร้อนแก่พื้นผิวด้วยอุณหภูมิที่ตั้งไว้ล่วงหน้า (เช่น 150℃ สำหรับพื้นผิวแก้ว และ 80℃ สำหรับพื้นผิวเรซิน) ผ่านอุปกรณ์ทำความร้อนชั้นวางชิ้นงานเพื่อขจัดไอน้ำและสิ่งสกปรกที่ดูดซับบนพื้นผิวพื้นผิวและเพิ่มการยึดเกาะของชั้นฟิล์ม

ขั้นตอนการระเหยวัสดุเมมเบรน: ปืนอิเล็กตรอนถูกเปิดใช้งานโดย PLC แคโทดถูกทำให้ร้อนเพื่อสร้างอิเล็กตรอนความร้อน ซึ่งจะถูกเร่งที่แอโนด (แรงดันไฟฟ้าเร่ง 10-30kV) และโฟกัสโดยขดลวดโฟกัสเพื่อสร้างลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูงที่ระเบิดวัสดุเมมเบรน AR (เช่น ชั้นแรกของ SiO₂) ภายในเบ้าหลอม พลังงานจลน์ของลำแสงอิเล็กตรอนจะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อน ทำให้วัสดุเมมเบรนถึงอุณหภูมิการระเหย (ประมาณ 1700℃ สำหรับ SiO₂ และประมาณ 2200℃ สำหรับ TiO₂) จากนั้นจึงระเหยเป็นอนุภาคก๊าซ

ขั้นตอนการสะสมฟิล์ม: อนุภาควัสดุฟิล์มที่เป็นก๊าซแพร่กระจายไปยังพื้นผิวในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ ดูดซับ อพยพ และควบแน่นบนพื้นผิวพื้นผิว สร้างฟิล์มต่อเนื่อง ชั้นวางชิ้นงานช่วยให้มั่นใจได้ว่าอนุภาคก๊าซจะครอบคลุมพื้นผิวฐานอย่างสม่ำเสมอผ่านการหมุนตัวเองและการปฏิวัติ หลีกเลี่ยงการเบี่ยงเบนความหนาในท้องถิ่น

ขั้นตอนสุดท้ายของการเคลือบ: หลังจากที่ชั้นฟิล์มทั้งหมดถูกสะสมแล้ว ให้รักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศให้เย็นลงเป็นเวลา 30 ถึง 60 นาที (เพื่อหลีกเลี่ยงความเครียดภายในในชั้นฟิล์มเนื่องจากความแตกต่างของอุณหภูมิที่มากเกินไป) จากนั้นค่อยๆ ปล่อยก๊าซไปยังความดันปกติและนำชิ้นงานออก ตลอดกระบวนการทั้งหมด ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มให้ข้อเสนอแนะแบบเรียลไทม์เกี่ยวกับข้อมูลและปรับกำลังของลำแสงอิเล็กตรอนและอัตราการระเหยแบบไดนามิกเพื่อให้แน่ใจว่าดัชนีการหักเหของแสงและความหนาของแต่ละชั้นของฟิล์มเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบฟิล์ม AR (เช่น การบรรลุการสะท้อนแสง ≤0.5% ในแถบแสงที่มองเห็นได้ 400-700nm)

• ชั้นฟิล์มมีความแม่นยำสูงและตรงตามข้อกำหนดหลักของฟิล์ม AR: ความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม ≤±2% และความแม่นยำในการควบคุมดัชนีการหักเหของแสง ±0.005 รองรับการควบคุมความหนาของฟิล์มในระดับนาโน (ความหนาของการสะสมขั้นต่ำ 0.1nm)
• วัสดุเมมเบรนมีความเข้ากันได้ดีและครอบคลุมวัสดุหลักของฟิล์ม AR: สามารถระเหยวัสดุเมมเบรนที่ใช้กันทั่วไปของฟิล์ม AR ได้อย่างเสถียรและรองรับการสะสมสลับของวัสดุเมมเบรนที่แตกต่างกัน ซึ่งตรงตามข้อกำหนดการออกแบบของฟิล์ม AR แบบคอมโพสิตหลายชั้น
• ระบบอัตโนมัติในระดับสูง เหมาะสำหรับสถานการณ์การผลิตจำนวนมาก: การควบคุม PLC แบบเต็มกระบวนการ รองรับการจัดเก็บสูตรและการสลับอย่างรวดเร็ว ประสิทธิภาพการผลิตเพิ่มขึ้นมากกว่า 30% เมื่อเทียบกับเครื่องเคลือบทั่วไป
• สภาพแวดล้อมสุญญากาศสะอาดและคุณภาพของชั้นฟิล์มมีความเสถียร: ระดับสุญญากาศสูงสุดสูง (≤5×10⁻⁵ Pa) และปริมาณก๊าซตกค้างต่ำ ซึ่งสามารถลดฟองอากาศและสิ่งสกปรกในชั้นฟิล์มได้ เสถียรภาพในการส่งผ่านแสงของฟิล์ม AR (ในสภาพแวดล้อม -40℃ ถึง 85℃) เพิ่มขึ้น 20% และหมอกควัน ≤0.1%
• มีการปรับตัวของพื้นผิวที่กว้างและตรงตามความต้องการของหลายสถานการณ์: รองรับการเตรียมฟิล์ม AR บนพื้นผิวที่แตกต่างกัน เช่น แก้ว เรซิน ไพลิน และโลหะ ด้วยการปรับอุณหภูมิความร้อนและอัตราการระเหย สามารถบรรลุการยึดเกาะที่แข็งแกร่งระหว่างชั้นฟิล์มและพื้นผิวได้

• ได้แก้ไขปัญหาการระเหยที่เสถียรของวัสดุเมมเบรน AR ที่มีจุดหลอมเหลวสูง (เช่น TiO₂ และ ZrO₂) และเป็นอุปกรณ์เตรียมการที่ต้องการสำหรับเมมเบรน AR แบบบรอดแบนด์หลายชั้น
• ความแม่นยำและความเสถียรของชั้นฟิล์มเกินกว่าเครื่องเคลือบความร้อนแบบต้านทานมาก ซึ่งตรงตามข้อกำหนดฟิล์ม AR ของผลิตภัณฑ์ออปติกระดับไฮเอนด์ เช่น เลนส์กล้องและเลนส์เลเซอร์
• ประสิทธิภาพการผลิตจำนวนมากและการควบคุมต้นทุนนั้นเหนือกว่าเครื่องเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอน ทำให้เหมาะสำหรับสถานการณ์การใช้งานขนาดใหญ่ เช่น อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค โฟโตโวลตาอิก และรถยนต์

1. สาขาอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค (ตลาดแอปพลิเคชันที่ใหญ่ที่สุด)
   หน้าจอแสดงผลโทรศัพท์มือถือ/แท็บเล็ต/คอมพิวเตอร์; เลนส์กล้อง/เลนส์โทรศัพท์มือถือ; เลนส์สมาร์ทวอทช์/อุปกรณ์ VR
2. สาขาเครื่องมือวัดแสง
   เลนส์กล้องจุลทรรศน์/กล้องโทรทรรศน์; เลนส์อุปกรณ์เลเซอร์ (เช่น เลนส์เลเซอร์ CO₂, เลนส์เลเซอร์ไฟเบอร์)
3. สาขาพลังงานโฟโตโวลตาอิก
   กระจกโฟโตโวลตาอิก; ระบบพลังงานแสงอาทิตย์แบบเข้มข้น (CSP)
4. สาขายานยนต์และอวกาศ
   กระจกหน้ารถ/หน้าต่างรถยนต์; หน้าต่างเครื่องบิน/กระจกการบิน
5. สาขาพิเศษอื่นๆ
   อุปกรณ์ออปติคัลทางการแพทย์ (เช่น เลนส์เอนโดสโคป, กล้องจุลทรรศน์ผ่าตัด); แผงแสดงผล (เช่น OLED, Mini LED)