เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนปืนออฟติกสําหรับแว่นแร่ เลนส์ออฟติก, เลนส์ออฟติกพอลิเมอร์

อุปกรณ์เคลือบฟิล์มแสง

การใช้งาน:

AR/AF

ฟิล์มสะท้อนแสงสูง

ฟิล์มสเปกตรัม

ฟิล์มแสงอื่นๆ

คุณสมบัติ:

ติดตั้งเซ็นเซอร์ออสซิลเลเตอร์ผลึก 6 จุด + ตัวควบคุมความหนาฟิล์ม

แหล่งกำเนิดไอออน RF

ติดตั้งปืนอิเล็กตรอนคู่, เบ้าหลอมหลายจุดและวงแหวน

ระบบควบคุมการระเหยอัตโนมัติใช้สำหรับกระบวนการระเหยอัตโนมัติ

ตัวจับยึดชิ้นงานสามารถเลือกติดตั้งแบบร่มหรือแบบดาวเคราะห์ได้

1. ติดตั้งเครื่องควบคุมความหนาฟิล์มผลึกควอตซ์หรือฟิล์มแสง สามารถควบคุมความหนาฟิล์มได้อย่างแม่นยำและอัตโนมัติ

2. ติดตั้งอุปกรณ์ระดมยิงไอออนเพื่อทำความสะอาดพื้นผิวซับสเตรต เพื่อให้การยึดเกาะระหว่างชั้นฟิล์มกับพื้นผิวซับสเตรตดีขึ้น และปรับปรุงคุณภาพของชั้นฟิล์ม

3. ติดตั้งปืนอิเล็กตรอนเบ้าหลอมขนาดใหญ่ พื้นผิววัสดุฟิล์มเรียบ และชั้นฟิล์มกระจายตัวสม่ำเสมอในกระบวนการระเหยทั้งหมด

ใช้ตัวควบคุมโปรแกรมได้ (PLC), หน้าจอสัมผัส (HMI) อินเทอร์เฟซควบคุมระหว่างมนุษย์กับเครื่องจักร ใช้งานง่าย สลับการควบคุมแบบแมนนวล/อัตโนมัติเต็มรูปแบบได้อย่างอิสระ

เครื่องเคลือบสุญญากาศด้วยแสง  

บทนำ: เครื่องนี้ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการเคลือบฟิล์มต่างๆ เช่น ฟิล์มเพิ่มความโปร่งใส, ฟิล์มสเปกตรัม, ฟิล์มกรองแสง/ฟิล์มตัดแสง, และฟิล์มสะท้อนแสงสูง สามารถเคลือบระบบฟิล์มขนาดใหญ่พิเศษ 100 ชั้น และฟิล์มเพิ่มความโปร่งใสที่มีสีต่างๆ ฟิล์มสะท้อนแสงสีแดง เหลือง น้ำเงิน เขียว หรือสีรุ้ง

คุณสมบัติหลัก:

1.  เครื่องนี้ติดตั้งปืนอิเล็กตรอนเบ้าหลอมขนาดใหญ่พิเศษ ในกระบวนการระเหยทั้งหมด พื้นผิวฟิล์มจะเรียบและการกระจายตัวของการระเหยจะสม่ำเสมอ

2.  เครื่องนี้ติดตั้งเครื่องควบคุมความหนาฟิล์มผลึกควอตซ์เพื่อควบคุมความเร็วในการสร้างฟิล์มและกระบวนการเคลือบโลหะโดยอัตโนมัติ

3.  เครื่องนี้ติดตั้งแหล่งกำเนิดไอออนกำลังสูงเพื่อสร้างฟิล์มที่มีคุณภาพดี

4.  โครงสร้างโดยรวมได้รับการออกแบบอย่างสมเหตุสมผลเพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการได้ดียิ่งขึ้น ระบบสุญญากาศถูกควบคุมโดยอัตโนมัติด้วย PLC เพื่อการใช้งานที่สะดวก

5.  ระบบปฏิบัติการสุญญากาศได้รับการป้องกันด้วยระบบอินเตอร์ล็อก ปั๊มแพร่มีฟังก์ชันแจ้งเตือนน้ำขาดและเฟสหาย

6.  ใช้หน้าจอสัมผัสและการควบคุมอัตโนมัติด้วย PLC เพื่อตั้งค่าพารามิเตอร์ของส่วนประกอบหลักของเครื่องทั้งหมด เพื่อตรวจสอบการทำงานของเครื่องนี้แบบเรียลไทม์ และวินิจฉัยข้อผิดพลาดอย่างชาญฉลาด

การกำหนดค่าหลัก:

1.   ห้องสุญญากาศเป็นโครงสร้างแบบกล่องแนวตั้งพร้อมประตูหน้า กล่องทำจากสแตนเลสทั้งหมด ขนาดของช่องภายในคือ Φ800มม.x1200มม.

2.   การกำหนดค่าระบบสุญญากาศ: พร้อมปั๊มโมเลกุล (หรือปั๊มแพร่), ปั๊ม Roots, ปั๊มกล

3.   ระบบทำความเย็นลึกพร้อม Cryopump ไอน้ำแบบหมุนเวียนเร็ว

4.  ชั้นวางชิ้นงานเป็นชิ้นงานรูปทรงโค้งแบบบูรณาการ สามารถปรับแต่งได้ตามลูกค้า

5.  ระบบเคลือบติดตั้งปืนอิเล็กตรอนแบบสแกนแม่เหล็ก 270° กำลังสูงแบบ E-type หนึ่งหรือสองชุด สแกนในทิศทาง XY ระบบเคลือบโลหะเสริมติดตั้งแหล่งกำเนิดไอออน Holl 

6.   การอบ: แสดงผลแบบดิจิทัลและควบคุมอัตโนมัติด้วยความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิ ±1.5

7.   ระบบตรวจสอบความหนาฟิล์มสามารถควบคุมอัตราการระเหยของปืนอิเล็กตรอน ระบบตรวจสอบความหนาฟิล์มแสง ซึ่งควบคุมความยาวคลื่นในช่วง 200-900 นาโนเมตร

8.   ระบบควบคุม: สุญญากาศถูกควบคุมโดยหน้าจอสัมผัสสีขนาด 10.4 นิ้ว ร่วมกับตัวควบคุมลอจิกโปรแกรมได้ สุญญากาศและกระบวนการเคลือบถูกควบคุมโดยอัตโนมัติเต็มรูปแบบ

ข้อมูลจำเพาะพารามิเตอร์