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Elektronenkanonen-Beschichtungsmaschine für optische Mineralglaslinsen, optische Polymerlinsen
| Herkunftsort | Guangdong |
| Markenname | Lion King |
| Zertifizierung | CE |
PVD-Vakuumbeschichtung aus Edelstahl
,PVD-Vakuumbeschichtungsmaschine Berührungsschirm
,Maschine für die Vakuumbeschichtung mit mehreren Bogen-Ionen-PVD
Optische Beschichtungsausrüstung
Anwendungen:
AR/AF
Hochreflektierende Folie
Spektroskopische Folie
andere optische Folien
Eigenschaften:
Ausgestattet mit einem 6-Punkte-Kristall-Oszillatorsensor+Filmdicke-Regler
HF-Ionenquelle
Ausgestattet mit doppelten Elektronenpistolen, Mehrpunkt- und Ringschmelztiegel
Automatisches Verdunstungssystem wird verwendet, um automatisches Verdunstungsprozess zu realisieren
Der Arbeitshalter kann optional mit einem Regenschirm oder einem Planetentyp ausgestattet werden.
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Spezifikation
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Vakuumkammer |
SUS 304, φ1550mmx1800mm ((H) |
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Größe der Arbeitnehmer |
φ1400 mm |
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Geschwindigkeit des Arbeitnehmers |
0-60rpm (variabel) |
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Gerät zur Feststellung der Filmdicke |
6-Punkte-Kristall-Oszillatorsensor + Filmtrocknungsregler |
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Verdunstungsquelle |
2 Sätze Elektronenpistolen |
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Einheitliche Quelle |
23cm HF-Ionenquelle |
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Abgasanlage |
Mechanische Pumpe+Diffusionspumpe ((oder molekulare Pumpe) + kryogene Aufnahmepumpe |
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Leistung
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Höchstdruck |
Unter 7,0x10- 4- Ich weiß. |
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Abgaszeit |
15 min (atmosphärischer Druck ~ 1,3x10- 3.(Siehe unten) |
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Substrattemperatur |
Maximal: 350°C |
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Arbeitsbedingungen |
Größe der Ausrüstung |
Die Anlage ist mit einer Länge von etwa 5500 mm (W) x 7200 mm (D) x 3700 mm (H) ausgestattet. |
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Stromquelle |
3-Phasen-Stromversorgung, 380V, 50Hz, etwa 100kVA |
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Kühlwasser |
Der Wasserdurchfluss beträgt 11 m3/h, die Temperatur beträgt 20-25 °C. |
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Luftdruck |
Über 0,6-0,7 MPa |
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Gewicht |
Ungefähr 11000 kg |
1.Ausgestattet mit Quarzkristall oder optischem Filmmengtsteuerungsinstrument, kann eine automatische und präzise Filmmengtsteuerung realisiert werden.
2.Ausgerüstet mit Ionenbombardierungseinrichtung reinigt die Substratoberfläche, um eine bessere Haftung zwischen der Filmschicht und der Substratoberfläche herzustellen und die Qualität der Filmschicht zu verbessern.
3.Ausgestattet mit einer großen Schmelztiegel-Elektronenpistole ist die Oberfläche des Filmmaterials glatt und die Filmschicht ist gleichmäßig im gesamten Verdunstungsprozess verteilt
Anwendet programmierbare Steuerung (PLC), Touchscreen (HMI) Mensch-Maschine-Steuerungsschnittstelle, einfach zu bedienen, manuelle / vollautomatische Steuerung frei schalten.
Optik Vakuumbeschichtungsmaschine
Einleitung:Diese Maschine wird hauptsächlich zum Plattieren verschiedener Filme wie transparenter Film, spektroskopischer Film, Bandpassfilm/Cutofffilm und hochreflektierender Film verwendet.Es kann ein super großes Filmsystem mit 100 Schichten Film platzieren, und eine transparenzverstärkte Folie mit verschiedenen Farben, eine Reflektionsfolie mit einer roten, gelben, blauen, grünen oder Regenbogenfarbe
Hauptmerkmale:
1Diese Maschine ist mit einer supergroßen elektronischen Schmelztiegel-Kanone ausgestattet.
2Diese Maschine ist mit einem Quarzkristall-Filmdicke-Kontrollinstrument ausgestattet, um die Filmbildgeschwindigkeit und den Metallisierungsprozess automatisch zu steuern.
3Diese Maschine ist mit einer hochenergen Ionenquelle ausgestattet, um eine Filmdicke mit guter Qualität herzustellen.
4. Die Gesamtstruktur ist rational konzipiert, um die Anforderungen des Prozesses besser zu erfüllen.
5Das Vakuumbetriebssystem ist mit einer Verriegelung geschützt.
6. Der Touchscreen und die automatische Steuerung durch PLC werden verwendet, um die Parameter der wichtigsten Komponenten der gesamten Maschine einzustellen, um den Betrieb dieser Maschine in Echtzeit zu überwachen,und Fehler intelligent zu diagnostizieren.
Hauptkonfiguration:
1Die Vakuumkammer ist eine vertikal gebaute Struktur mit einer Vordertür; die Box ist vollständig aus Edelstahl gefertigt; die Abmessungen des inneren Hohlraums sind Φ800mm1200mm.
2. Vakuumsystemkonfiguration: mit Molekularpumpe (oder Diffusionspumpe), Wurzelpumpe, mechanische Pumpen.
3. Tiefkühlsystem mit einer Wasserdampf-Kryopumpe mit schnellem Kreislauf
4. Werkstück-Rack ist ein integriertes gewölbtes Werkstück, das nach Kundenwünschen angepasst werden kann.
5Das Beschichtungssystem ist mit einem oder zwei Sätzen von Hochleistungs-E-Typen mit 270° magnetischer Abbiegung ausgestattet, die in XY-Richtungen elektronisch scannen.Das Hilfsmetallisierungssystem ist mit einer Holl-Ionenquelle ausgestattet..
6. Backen: Digitale Anzeige und automatische Steuerung mit einer Temperaturkontrolle genau ± 1.5.
7Das optische Filmdickenheitsüberwachungssystem kann die Verdunstungsrate der elektronischen Waffe steuern.in dem die Wellenlänge im Bereich von 200-900 nm gesteuert wird .
8. Steuerungssystem: Das Vakuum wird durch einen 10,4 Zoll großen Farb-Touchscreen mit einem programmierbaren Logikcontroller gesteuert.
Spezifikation der Parameter
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Modell |
Löwe-700 |
Löwe-1000 |
Löwe-1100 |
Löwe-1300 |
Löwe-1350 |
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Größe der Kammer |
750 × 800 mm |
1000 × 1100 |
1100 × 1300 |
1300 × 1350 |
1350 × 1500 |
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Beschichtungsfolie |
Optische Widerspiegelungsfolie, AR, Breitbandwiderspiegelungsfolie, Ein-Punktwiderspiegelungsfolie, optischer Filter und dekorative Folie |
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Einrichtung |
4 Stück bogenförmige Befestigungen, einzelne bogenförmige Plattenumdrehung, 3 Stück Plattenplanetenumdrehung und -umdrehung, 12 Wellenumdrehung und -umdrehung (horizontal) |
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Struktur der Vakuumkammer |
vertikale / horizontale (304 Edelstahl), Vakuumsystem nach Position |
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Vakuumsystem |
Schiebeventilpumpe ((Rotationspumpe), Wurzelpumpe, Diffusionspumpe, Wartungspumpe (optional: molekulare Pumpe, Tiefkühlpumpe, Tiefkühlsystem) |
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Heizungssystem |
Erhitzt durch Heizrohr, PID-Steuerung, maximale Temperatur: 350 Grad |
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Inflationssystem |
Massenflussregler und elektrisches Magnetventil |
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Elektrowaffe |
Elektrische Waffe 4 runde Schmelztiegel und ein U-förmiger Schmelztiegel, Hochspannung 4KV-8KV verstellbar. |
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Widerstand Verdunstungsquelle |
2 Gruppen von Widerstandsverdampfungsquelle |
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Ionenquelle |
Leistung 2 kW, maximaler Anodenstrom 6A. Doppelfilamenten, die die Befestigungskraft, Dichte und den Reflektionsindex der Filmschicht erhöhen (Kerr) |
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Kristallfoliendicke-Regler |
Der Kristallfoliendickheitsregler SQC-310 ((Amerika) und die SPS bilden das vollautomatische Pump- und E-Beam-Dampfungssystem. |
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Das ultimative Vakuum |
8×104 sauber und entladen |
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Pumpzeit |
Von der Atmosphäre auf 5×103pa in weniger als 15 Minuten |
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Kontrollverfahren |
manuelle, halbautomatische, vollautomatische / Berührungsschirm & PLC |
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Anmerkung |
Kann nach Kundenwunsch entworfen werden |
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