Ringförmige Elektronenpistolen Elektronenstrahl Verdunstungsbeschichtung Maschine für Kundenbedürfnisse maßgeschneidert
Ringförmige Elektronenpistolen Elektronenstrahl Verdunstungsbeschichtung Maschine für Kundenbedürfnisse maßgeschneidert
Herkunftsort
Guangdong
Markenname
Lion King
Zertifizierung
CE
Produktdetails
Beschichtungssubstrat:
Metall, Glas, Keramik, Kunststoff
Beschichtungsanwendung:
Dekorativ, funktional, schützend
Maschinengröße:
Anpassbar
Rotationsständer:
2 Sätze
Verdampfungsmaterial:
Metall, Legierung, organische Materialien
Kühlsystem:
Wasserkühlung
Beschichtungsmaterial:
Au, Ag, Al, Cu, SiO2 usw.
Beschichtungskammergröße:
Maßgeschneidert
Beschichtungseffizienz:
Hoch
Depositionsquote:
Schnell
Vakuumspiegel:
Hohes Vakuum
Beschichtungsgröße:
Anpassbar
Operation Way:
Touch-Screen
Beschichtungstemperatur:
≤200 ℃
Zeitraum garantieren:
1 Jahr
Betriebsmodus:
Handbuch/automatisch
Beschichtungsabscheidungsrate:
Einstellbar
Hervorheben:
Maschine zum Verdampfen von Elektronenstrahlen
,
mit einer Breite von nicht mehr als 20 mm
,
optical electron gun coating system
Zahlungs- und Versandbedingungen
Min Bestellmenge
1
Lieferzeit
45-60 Arbeitstage
Produktbeschreibung
I. Strukturelle Zusammensetzung
Ringförmiges Elektronengewehrsystem:Ringglanz (Kathode), Anode, Fokussspule, Ablenkungsspule; Die Ringglanz katode emittiert heiße Elektronen, die durch das elektrische Feld beschleunigt und durch das Magnetfeld fokussiert und deflektiert werden,Sie bombardiert das Material innerhalb des Tiegelns.
VakuumsystemDas ultimative Vakuum erreicht in der Regel 10−4 bis 10−6 Pa, wodurch die Kollisionen und Verunreinigungen zwischen Gasphasen verringert werden.
Verdunstungsquelle und Schmelztiegel:Wassergekühlter Kupferguss, um Verdunstung und Reaktion von Gussmaterialien zu verhindern und die Reinheit der Filmschicht zu verbessern; Unterstützt mehrstationsweites Schalten und mehrschichtige Filmbestand.
Substratstadium:Es kann mit Wasser erhitzt/gekühlt werden und kann sich um die Sonne/um seine eigene Achse drehen, um eine gleichmäßige Filmdicke sicherzustellen.
Steuerungssystem:Hochspannungs-Stromversorgung, Strahlsteuerung, Überwachung der Filmdicke (Kristalloszillator), Vakuummessgerät und Automatisierungsprogramm, um die Parameter in geschlossenem Kreislauf zu steuern.
II. Arbeitsprinzip
Erzeugung und Beschleunigung des Elektronenstrahls:Bei Elektrifizierung eines Toroidfilamentes emittiert es heiße Elektronen, die durch ein 5-10-kV-Hochspannungsfeld beschleunigt werden, um eine hohe Energie zu erzielen.
Fokussierung und Ablenkung:Die elektromagnetische Spirale fokussiert und entleert den Elektronenstrahl auf die Oberfläche des Zielmaterials im Inneren des Tiegels, mit einer Energiedichte von 106 bis 107 W/cm2.
Verdunstung und Ablagerung:Die kinetische Energie des Elektronenstrahls wird in thermische Energie umgewandelt, und das Zielmaterial erwärmt sich rasch bis zum Verdunstungspunkt und verdunstet.Gasphasenatome/Moleküle werden unter hohem Vakuum in gerader Linie zum Substrat transportiert und kondensieren, um einen einheitlichen Film zu bilden.
Prozesssteuerung:Echtzeitüberwachung der Ablagerungsgeschwindigkeit und der Filmtiefe, dynamische Anpassung des Strahlstroms und der Leistung zur Gewährleistung der Prozessstabilität.
Iii. Kernmerkmale
Hohe Energiedichte:Die lokale Temperatur kann 3000-6000°C erreichen und es kann Materialien mit hohem Schmelzpunkt wie Wolfram, Molybdän und SiO2 verdampfen.
Extrem geringe Verschmutzung:Wassergekühlte Tiegel verringern die Verschmutzung der Tiegel und die Reinheit der Filmschicht kann über 99,99% erreichen.
Effizienz und Rate:Hohe thermische Effizienz, Ablagerungsgeschwindigkeit 0,1-100 nm/s, Balanceeffizienz und Filmqualität.
Weite Materialanpassungsfähigkeit:Kompatibel mit Metallen, Legierungen, Oxiden, Halbleitern usw., besonders geeignet für feuerfeste Materialien.
Die Filmqualität ist hervorragend:hohe Reinheit, gute Dichte und starke Haftung, die den Anforderungen hochpräziser optischer und elektronischer Geräte entsprechen.
Kostenwirksamkeit:Hohe Materialnutzung, konzentrierter Energieverbrauch auf Zielmaterialien und geringere langfristige Betriebskosten.
Hochgrad der Automatisierung:Die Parameter sind präzise steuerbar und gut wiederholbar, so dass sie sowohl für die wissenschaftliche Forschung als auch für die Massenproduktion geeignet sind.
V. Typische Anwendungen
mit einer Breite von mehr als 20 mmAnti-Reflexionsfilme (AR), hochreflektierende Filme, Filter, Strahlsplitter, für Brillen, Kameras, Lasergeräte und Photovoltaikzellen verwendet.
Halbleiter und Mikroelektronik:Metallelektroden (Al, Cu), dielektrische Schichten (SiO2, Si3N4), Sensorfolien.
Funktionale Beschichtungen:Dekorationsfolien, leitfähige Folien (ITO), korrosions- und verschleißbeständige Beschichtungen für Luftfahrt, Werkzeuge und Unterhaltungselektronik.
Wissenschaftliche Forschung und Kleinproduktion:Materialvorbereitung für Universitäten und Forschungsinstitute sowie maßgeschneiderte Filme für MEMS, biomedizinische Geräte usw.