Elektronenstrahlverdampfungsoptische Beschichtungsgeräte für PVD-Beschichtungsmaschinen

1. Vakuumsystem (Grundgarantie für die Beschichtung) Vakuumkammer Vakuumpumpensatz Vakuummessung und -steuerung.
2. Elektronenpistolsystem (Energieversorgungskern) Elektronenemissionsquelle Fokussierungs- und Ablenkungsvorrichtung Leistungssteuerungsmodul
3. Verdampfungsdeposition (Schlüssel zur Filmbildung) Schmelztiegel; Zielmaterialbefestigungsvorrichtung Überwachung und Steuerung der Filmdicke Kernsensor.
4. Kontrollsystem (Automatisierung und Präzisionssicherung) Hauptsteuereinheit Schließschlusssteuerungsmodul Sicherheitsschutzsystem.
5. Substratbehandlungssystem (Verstärkung der Filmhaftung) Substratunterstützung und Drehmechanismus; Substratheizvorrichtung Ionenabschussvorbehandlungsmodul (optional).
6. Hilfsmittel Kühlsystem; Gassteuerung.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. Die Beschichtungspräzision ist extrem hoch und die Filmschichtqualität hervorragend
2. Es verfügt über eine breite Palette an verwendbaren Materialien

   Eine Vielzahl von Materialien wie verdunstbare Metalle (Au, Ag, Al, Ti), Legierungen (NiCr, TiW), Oxide (SiO2, TiO2, Al2O3), Sulfide (ZnS) und Keramik.

3. Hohe Verdunstungseffizienz und starke Filmhauthaftigkeit
4. Niedrige Verschmutzung und hohe Auslastung der Zielmaterialien
5. Hohe Automatisierungsgrad und bequeme Bedienung

1. Optisches Feld (Kernanwendungsszenarien)
   • Optische Linsen: Widerspiegelungsfilme (z. B. SiO2-TiO2-Mehrschichtfilme), hochreflektierende Filme (z. B. Al+SiO2-Schutzfilme) und Filterfilme (z. B. Infrarotfilterfilme,UV-Schnittfolien) sind auf Linsen beschichtet., Prismen und Spiegel zur Verbesserung der Lichtdurchlässigkeit, Reflexionsfähigkeit oder Spektralselektivität optischer Geräte.
   • Anzeigegeräte: Beschichtung transparenter leitfähiger Filme (z. B. ITO, AZO), antireflektierender Filme und berührungsempfindender Filme auf den Glassubstraten von LCD-, OLED- und Micro-LED-Displays.
   • Lasergeräte: Hochreflexive und antireflexive Filme werden auf der Laserresonanzhöhle und der Endfläche der optischen Faser beschichtet, um die Effizienz der Laserübertragung zu optimieren.
2. Elektronik und Halbleiter
   • Halbleitervorrichtungen: Metallelektroden (wie Au, Al, Ti) und Passivierungsfolien (wie SiO2, Si3N4) werden auf Chips und Wafern beschichtet, um die Leitfähigkeit und Stabilität der Vorrichtungen zu gewährleisten.
   • Elektronische Komponenten: Beschichtung von funktionalen Filmschichten (z. B. NiCr-Widerstandsfilm, Ta2O5-Dielektrofilm) auf Kondensatoren, Widerständen und Sensoren zur Verbesserung der Komponentenleistung;
   • Magnetische Speichergeräte: Beschichtung von Magnetfolien (z. B. CoCrPt-Legierungsfolien) auf Festplattenköpfen und Magnetbändern zur Erhöhung der Speicherkapazität und der Lesen-/Schreibgeschwindigkeit.
3. Luft- und Raumfahrt und nationale Verteidigung
   • Luft- und Raumfahrtkomponenten: Beschichtung von verschleiß-, korrosions- und UV-beständigen Schichten für Flugzeugfenster und Satellitenoptiklinsen;Beschichten Sie den Raketenschützen mit Infrarot-Anti-Reflexionsfilm und Stealthfilm;
   • Ausrüstung für die nationale Verteidigung: Beschichtung mit leistungsfähigen optischen Filmlagen für Laserwaffen und Infrarotdetektoren zur Verbesserung der Umweltausfallfähigkeit und der Kampfleistung der Ausrüstung
4. Andere hochwertige Felder
   • Medizinprodukte: Beschichtung optischer Filmschichten mit guter Biokompatibilität und Desinfektionsbeständigkeit für künstliche Linsen und Endoskoplinsen;
   • Dekorative und funktionelle Beschichtung: Beschichtung von hochwertigen Uhrzahlen und Schmuckstücken mit verschleißbeständigen und antioxidierenden Dekorationsfolien (z. B. TiN-Goldfolie, Cr-Schwarzfolie);Auf Schneidwerkzeugen und Formen werden harte Schutzfolien (z. B. TiN und TiAlN) beschichtet, um ihre Lebensdauer zu verlängern.