Pvd kaplama makinesi için büyük ölçekli elektron ışını buharlaştırma optik kaplama ekipmanları

1. Vakum sistemi (kaplama için temel garanti) Vakum odası Vakum pompa seti Vakum ölçümü ve kontrolü.
2. Elektron silah sistemi (enerji kaynağı çekirdeği) Elektron emisyon kaynağı Odaklama ve saptırma aygıtı Güç kontrol modülü.
3. Buharlaşma çökme sistemi (film oluşumunun anahtarı) Çakmak montajı; Hedef malzeme sabitleme aygıtı Film kalınlığını izlemek ve kontrol etmek Çekirdek sensörü.
4. Kontrol sistemi (otomasyon ve hassasiyet güvencesi) Ana kontrol ünitesi Kapalı döngü kontrol modülü Güvenlik koruma sistemi.
5. Substrat tedavi sistemi (Film yapışkanlığını arttırma) Substrat desteği ve dönen mekanizma; Substrat ısıtma aygıtı İyon bombardıman ön işleme modülü (ihtiyaç duyulmaz).
6. Yardımcı sistem Soğutma sistemi; gaz kontrol sistemi.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. Kaplama hassasiyeti son derece yüksektir ve film katman kalitesi mükemmel
2. Uygulanabilir malzemelerin geniş bir yelpazesine sahiptir.

   Buharlanabilir metaller (Au, Ag, Al, Ti), alaşımlar (NiCr, TiW), oksitler (SiO2, TiO2, Al2O3), sülfitler (ZnS) ve seramik gibi çeşitli malzemeler.

3. Yüksek buharlaşma verimliliği ve güçlü film katmanı yapışması
4. Düşük kirlilik ve hedef malzemelerin yüksek kullanım oranı
5. Yüksek düzeyde otomasyon ve uygun işletim

1. Optik alan (temel uygulama senaryoları)
   • Optik lensler: Yansıtıma karşı filmler (SiO2-TiO2 çok katmanlı filmler gibi), yüksek yansıtıcı filmler (Al + SiO2 koruyucu filmler gibi) ve filtre filmleri (infra kırmızı filtre filmleri gibi),Ultraviyole kesme filmleri) lenslere kaplanmıştır., prizmalar ve aynalar optik cihazların ışık geçirgenliğini, yansıtıcılığını veya spektral seçiciliğini artırmak için.
   • Ekran cihazları: LCD, OLED ve Micro LED ekranların cam substratlarına şeffaf iletken filmler (ITO, AZO gibi), yansıtıcı filmler ve dokunma algılayıcı filmler kaplama.
   • Lazer cihazları: Lazer iletim verimliliğini optimize etmek için lazer rezonans boşluğuna ve optik fiber'in uç yüzüne yüksek yansıma ve yansıma karşıtı filmler kaplanır.
2. Elektronik ve yarı iletkenler alanı
   • Yarım iletken cihazlar: Metal elektrotlar (Au, Al, Ti gibi) ve pasifleştirme filmleri (SiO2, Si3N4 gibi) cihazların iletkenliğini ve istikrarını sağlamak için yongalar ve levhalar üzerine kaplanmıştır.
   • Elektronik bileşenler: Bileşen performansını artırmak için kondansörler, dirençler ve sensörler üzerinde işlevsel film katmanları (NiCr direnç filmi, Ta2O5 dielektrik filmi gibi) kaplama;
   • Manyetik depolama cihazları: depolama kapasitesini ve okuma/yazma hızını artırmak için sabit disk başlarına ve manyetik bantlara manyetik filmler (CoCrPt alaşım filmleri gibi) kaplama.
3. Havacılık ve ulusal savunma alanları
   • Havacılık bileşenleri: Uçak pencereleri ve uydu optik lensleri için aşınmaya, korozyona ve UV'ye dayanıklı film katmanları kaplama;Füze izleyicisini kızılötesi yansıtıcı filmle ve gizli filmle kaplayın.;
   • Ulusal savunma ekipmanları: Ekipmanın çevresel uyumluluğunu ve savaş performansını artırmak için lazer silahları ve kızılötesi dedektörleri için yüksek performanslı optik film katmanları kaplama.
4. Diğer üst düzey alanlar
   • Tıbbi cihazlar: Yapay lensler ve endoskop lensleri için iyi biyokompatibilite ve dezenfeksiyon dirençli optik film katmanları kaplama;
   • Dekoratif ve işlevsel kaplama: Yüksek kaliteli saat çarklarını ve mücevherleri aşınmaya dayanıklı ve oksidasyona karşı dekoratif filmlerle kaplama (TiN altın filmi, Cr siyah filmi gibi);Sert koruyucu filmler (TiN ve TiAlN gibi) kesme aletleri ve kalıplar üzerinde kullanım ömrünü uzatmak için kaplanır.