<
>
Çok yönlü optik kaplama uygulamaları için kompakt yüksek hassasiyetli elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi
Çok yönlü optik kaplama uygulamaları için kompakt yüksek hassasiyetli elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi
Menşe Yeri:Zhaoqing, Guangdong
Marka Adı:Zhongda
Sertifikasyon:CE
Minimum Sipariş Miktarı:1
Teslimat süresi:45-60 iş günü
Ürün detayları
Vurgulamak:
küçük elektron ışınlı buharlaştırma makinesi
,optik kaplama PVD ekipmanı
,Elektron ışın kaplama makinesi
Control System:
Tam Otomatik, Yarı Otomatik, Manuel
Coating Process:
Vakumlu Buharlaşma
Rotation Stand:
2 Takım
Server:
açıklık
Dimensions:
Yaklaşık. 2000mm x 1500mm x 1800mm
Cooling Method:
Su Soğutma
Coating Transparency:
Yüksek
Coating Thickness:
Ayarlanabilir
Chamber Material:
Paslanmaz Çelik veya Karbon Çelik
Pumptype:
Döner kanatlı pompa + difüzyon pompası
Voltage:
380V, 50Hz veya Özel Yapım
Coating Technology:
Buharlaşma
Coating Temperature:
Ayarlanabilir
Evaporation Power Supply:
1 takım
Rotation System:
2 Takım
Ürün Açıklaması
Ayrıntılı özellikler ve özellikler
Elektron ışını buharlaştırma kaplama makineleri
Temel Teknik Spesifikasyonlar
| Parametre kategorisi | Ayrıntılar |
|---|---|
| Altyapı Kapasitesi | Maksimum boyut: 6 inç (150 mm) kadar; 2 "/4" / 6 "wafer / optik bileşenlerle uyumludur; Min boyut: 10 × 10 mm |
| Vakum Performansı | Nihai vakum: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); Pompalama süresi: 5×10−6 Torr'a dakikalar; Sızıntı hızı: 10−3 Pa*L/s (He sızıntı testi) |
| Buharlama Sistemi | Elektron ışını gücü: 250W-10kW; Çukur sayısı/cepleri: 4-8; Destek çubuğu (max φ4mm) ve çukur hammadde (1-15cc) |
| Süreç Kontrolü | Substrat sıcaklığı: RT-500°C (±1°C hassasiyet); Dönüşme hızı: 2-20 rpm; Film kalınlığı monitörü: QCM (0,01 nm/s çözünürlük) |
| Film kalitesi | Ünlülük: ± 1% - ± 3%; Yapışkanlık: ASTM D3359 4B standardına uygun; Depozisyon hızı: 0.1-10 nm/s |
| Uyumluluk | Malzemeler: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (AR / AF / yansıtıcı filmleri destekler) |
| Fiziksel Boyutlar | Ayak izi: 1-3.3×3.0m; Yüksekliği: 2.5-3.5m; Ağırlığı: <800kg (desktop/tabletop modelleri) |
| Güç kaynağı | Tek/Üç fazlı: 220V/380V, 50/60Hz; Güç tüketimi: 1.2kW-10kW |
Ana Avantajları
Kompakt ve Uzay tasarrufu tasarımı
- Korvus HEX-800 standardına sahip masaüstü / modüler yapı, laboratuvar / araştırma ortamları için idealdir
- Inert atmosfer süreçleri için eldiven kutuları ile kolay bir entegrasyon
- Hafif yapı ve aletsiz modül değişimi kurulum ve bakım maliyetlerini azaltır
Yüksek hassasiyetli ve güvenilir kaplama
- Elektron ışını odaklama teknolojisi, ateşe dayanıklı metallerin (Pt, W) ve dielektrik malzemelerin çökmesini sağlar
- 0.01nm/s kalınlık kontrolü film tekdüzeliği ±1% ile (endüstri lideri küçük ölçekli ekipmanlar için)
- Hall iyon kaynağı + Ar plazma ön temizleme film yapışkanlığını (4B sınıfı) ve yoğunluğunu artırır
- Optik bileşen performans gereksinimlerini karşılar (örneğin, % 95'den fazla iletimli AR filmleri)
Çok yönlü ve esnek süreç uyarlaması
- Çeşitli malzemelerle birlikte buharlaşmak için 4-8 havuz/cebe destekler
- Metal, oksit ve organik filmler arasında hızlı geçiş (AF / AR / yansıtıcı / koruyucu kaplamalar)
- 2-6 inçlik substratlarla uyumludur (waferler, lensler, optik lifler)
- 2D/3D bileşenler için özelleştirilebilir armatürler (kubbesi/knudzin/plaka)
Akıllı ve Kullanıcı Dostu İşlem
- Gerçek zamanlı süreç izleme ile PLC + dokunmatik ekran kontrol sistemi
- Hızlı kurulum için önceden programlanmış süreç kitaplıkları
- Enerji verimli kriyo pompası / manyetik süspansiyon moleküler pompası tasarımı, geleneksel sistemlere kıyasla güç tüketimini% 30 oranında azaltır
Araştırma ve Geliştirme ve Küçük Toplu Üretim için Maliyet Verimli
- Düşük başlangıç yatırımı, yüksek hedef kullanım oranı (> 70%) ve minimal malzeme israfı
- Küçük seri üretiminde prototip üretimi için uygundur (yılda 10.000 adet kadar)
- Çok fonksiyonel entegrasyon (elektronik ışın buharlaşması + püskürtme isteğe bağlı) birden fazla cihaza ihtiyaç duyulmasını ortadan kaldırır
Temel İşlevler
Kesinlikle Isıtma ve Buharlama
- Yüksek enerjili elektron ışınları hedef malzemenin yüzeylerini bombalar, erimiş veya buharlaşmış duruma kadar ısıtır
- Konsantre enerji ve yüksek termal verim, ateşe dayanıklı malzemelerin (tungsten, molibden, titanyum, SiO2, TiO2) buharlaşmasını sağlar
- Hedef malzemenin ısıtma kaynağı ile kirlenmesini önler
- Tek katmanlı ve çok katmanlı filmlerin sürekli çöküşü için çok katmanlı malzeme geçişini (2-6 havuz pozisyonu) destekliyor
Filmin kalınlığını kontrol etmek
- Gerçek zamanlı çökme hızı ve kalınlığı izleme için yerleşik kuvars kristal film kalınlığı monitörü
- Ultra ince fonksiyonel filmler için nanometre seviyesine (± 0,1nm) kontrol doğruluğu
- Önceden ayarlanmış depolama parametreleri (elektron ışını gücü, vakum derecesi, depolama hızı) ile programlanabilir kontrol sistemi
- Otomatik kaplama seri film katman tutarlılığını sağlar
Yüksek vakum ortamı garantisi
- Mekanik pompa + moleküler pompa vakum ünitesi boşluğu 10−4~10−6 Pa yüksek vakum ortamına düşürür
- Gaz moleküllerinin dağılmasını ve buharlaşan parçacıkların kirlenmesini azaltır
- Film katmanlarının yüksek saflığa, iyi yoğunluğa ve güçlü yapışkanlığa sahip olmasını sağlar
Küçük Boyutlu İş Parçasına Uyum Verme
- Özellikle küçük iş parçasına dönen iş parçası masası ile tasarlanmıştır
- Substratlar arasında kaplama katmanının tekdüzeliğini iyileştirir
- Millimetreden onlarca milimetreye kadar olan substratlar için uygundur (waferler, optik lensler, yongalar, sensör bileşenleri)
- Yüzey montajı, levha ve küçük parçaların kaplamasını destekler
Hızlı yanıt için mesaj
İlgili Ürünler
Tamamen Otomatik Kontrol ve E-Beam Kaplama Teknolojisi ile Düşük Maliyetli Vakum Optik Kaplama Makinesi
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
Kesin izleme, özel yapılmış oda boyutu ve yüksek saflıkta kaplama malzemeleri ile optik elektron ışını kaplama makinesi
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
Optik lens kaplama makineleri Metal lens kaplama için elektron ışını vakum kaplama makineleri
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
Pvd kaplama makinesi için büyük ölçekli elektron ışını buharlaştırma optik kaplama ekipmanları
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
