Evde
>
Ürünler
>
Optik Elektron Tabancası Kaplama Makinesi
>
Çok yönlü optik kaplama uygulamaları için kompakt yüksek hassasiyetli elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi
|
Çok yönlü optik kaplama uygulamaları için kompakt yüksek hassasiyetli elektron ışını buharlaştırma kaplama makinesi
| Menşe yeri | Guangdong |
| Marka adı | Lion King |
| Sertifika | CE |
Ürün detayları
Kontrol sistemi:
Tam Otomatik, Yarı Otomatik, Manuel
Kaplama işlemi:
Vakumlu Buharlaşma
Döndürme Standı:
2 Takım
Sunucu:
açıklık
Boyutlar:
Yaklaşık. 2000mm x 1500mm x 1800mm
soğutma yöntemi:
Su Soğutma
Kaplama şeffaflığı:
Yüksek
Kaplama kalınlığı:
Ayarlanabilir
Zarf seçeneği/seçenekleri:
Paslanmaz Çelik veya Karbon Çelik
Pompa tipi:
Döner kanatlı pompa + difüzyon pompası
Gerilim:
380V, 50Hz veya Özel Yapım
Kaplama teknolojisi:
Buharlaşma
Kaplama Sıcaklığı:
Ayarlanabilir
Buharlaşma güç kaynağı:
1 takım
Rotasyon sistemi:
2 Takım
Vurgulamak:
küçük elektron ışınlı buharlaştırma makinesi
,optik kaplama PVD ekipmanı
,elektron tabancalı kaplama makinesi
Ödeme ve Kargo Koşulları
Min sipariş miktarı
1
Teslim süresi
45-60 iş günü
Ürün Açıklaması
Elektron ışını buharlaştırma kaplama makineleri
Temel Teknik Spesifikasyonlar
| Parametre kategorisi | Ayrıntılar |
|---|---|
| Altyapı Kapasitesi | Maksimum boyut: 6 inç (150 mm) kadar; 2 "/4" / 6 "wafer / optik bileşenlerle uyumludur; Min boyut: 10 × 10 mm |
| Vakum Performansı | Nihai vakum: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); Pompalama süresi: 5×10−6 Torr'a dakikalar; Sızıntı hızı: 10−3 Pa*L/s (He sızıntı testi) |
| Buharlama Sistemi | Elektron ışını gücü: 250W-10kW; Çukur sayısı/cepleri: 4-8; Destek çubuğu (max φ4mm) ve çukur hammadde (1-15cc) |
| Süreç Kontrolü | Substrat sıcaklığı: RT-500°C (±1°C hassasiyet); Dönüşme hızı: 2-20 rpm; Film kalınlığı monitörü: QCM (0,01 nm/s çözünürlük) |
| Film kalitesi | Ünlülük: ± 1% - ± 3%; Yapışkanlık: ASTM D3359 4B standardına uygun; Depozisyon hızı: 0.1-10 nm/s |
| Uyumluluk | Malzemeler: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (AR / AF / yansıtıcı filmleri destekler) |
| Fiziksel Boyutlar | Ayak izi: 1-3.3×3.0m; Yüksekliği: 2.5-3.5m; Ağırlığı: <800kg (desktop/tabletop modelleri) |
| Güç kaynağı | Tek/Üç fazlı: 220V/380V, 50/60Hz; Güç tüketimi: 1.2kW-10kW |
Ana Avantajları
Kompakt ve Uzay tasarrufu tasarımı
- Korvus HEX-800 standardına sahip masaüstü / modüler yapı, laboratuvar / araştırma ortamları için idealdir
- Inert atmosfer süreçleri için eldiven kutuları ile kolay bir entegrasyon
- Hafif yapı ve aletsiz modül değişimi kurulum ve bakım maliyetlerini azaltır
Yüksek hassasiyetli ve güvenilir kaplama
- Elektron ışını odaklama teknolojisi, ateşe dayanıklı metallerin (Pt, W) ve dielektrik malzemelerin çökmesini sağlar
- 0.01nm/s kalınlık kontrolü film tekdüzeliği ±1% ile (endüstri lideri küçük ölçekli ekipmanlar için)
- Hall iyon kaynağı + Ar plazma ön temizleme film yapışkanlığını (4B sınıfı) ve yoğunluğunu artırır
- Optik bileşen performans gereksinimlerini karşılar (örneğin, % 95'den fazla iletimli AR filmleri)
Çok yönlü ve esnek süreç uyarlaması
- Çeşitli malzemelerle birlikte buharlaşmak için 4-8 havuz/cebe destekler
- Metal, oksit ve organik filmler arasında hızlı geçiş (AF / AR / yansıtıcı / koruyucu kaplamalar)
- 2-6 inçlik substratlarla uyumludur (waferler, lensler, optik lifler)
- 2D/3D bileşenler için özelleştirilebilir armatürler (kubbesi/knudzin/plaka)
Akıllı ve Kullanıcı Dostu İşlem
- Gerçek zamanlı süreç izleme ile PLC + dokunmatik ekran kontrol sistemi
- Hızlı kurulum için önceden programlanmış süreç kitaplıkları
- Enerji verimli kriyo pompası / manyetik süspansiyon moleküler pompası tasarımı, geleneksel sistemlere kıyasla güç tüketimini% 30 oranında azaltır
Araştırma ve Geliştirme ve Küçük Toplu Üretim için Maliyet Verimli
- Düşük başlangıç yatırımı, yüksek hedef kullanım oranı (> 70%) ve minimal malzeme israfı
- Küçük seri üretiminde prototip üretimi için uygundur (yılda 10.000 adet kadar)
- Çok fonksiyonel entegrasyon (elektronik ışın buharlaşması + püskürtme isteğe bağlı) birden fazla cihaza ihtiyaç duyulmasını ortadan kaldırır
Temel İşlevler
Kesinlikle Isıtma ve Buharlama
- Yüksek enerjili elektron ışınları hedef malzemenin yüzeylerini bombalar, erimiş veya buharlaşmış duruma kadar ısıtır
- Konsantre enerji ve yüksek termal verim, ateşe dayanıklı malzemelerin (tungsten, molibden, titanyum, SiO2, TiO2) buharlaşmasını sağlar
- Hedef malzemenin ısıtma kaynağı ile kirlenmesini önler
- Tek katmanlı ve çok katmanlı filmlerin sürekli çöküşü için çok katmanlı malzeme geçişini (2-6 havuz pozisyonu) destekliyor
Filmin kalınlığını kontrol etmek
- Gerçek zamanlı çökme hızı ve kalınlığı izleme için yerleşik kuvars kristal film kalınlığı monitörü
- Ultra ince fonksiyonel filmler için nanometre seviyesine (± 0,1nm) kontrol doğruluğu
- Önceden ayarlanmış depolama parametreleri (elektron ışını gücü, vakum derecesi, depolama hızı) ile programlanabilir kontrol sistemi
- Otomatik kaplama seri film katman tutarlılığını sağlar
Yüksek vakum ortamı garantisi
- Mekanik pompa + moleküler pompa vakum ünitesi boşluğu 10−4~10−6 Pa yüksek vakum ortamına düşürür
- Gaz moleküllerinin dağılmasını ve buharlaşan parçacıkların kirlenmesini azaltır
- Film katmanlarının yüksek saflığa, iyi yoğunluğa ve güçlü yapışkanlığa sahip olmasını sağlar
Küçük Boyutlu İş Parçasına Uyum Verme
- Özellikle küçük iş parçasına dönen iş parçası masası ile tasarlanmıştır
- Substratlar arasında kaplama katmanının tekdüzeliğini iyileştirir
- Millimetreden onlarca milimetreye kadar olan substratlar için uygundur (waferler, optik lensler, yongalar, sensör bileşenleri)
- Yüzey montajı, levha ve küçük parçaların kaplamasını destekler
Önerilen Ürünler
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin
18207198662
Lantang Güney Yolu, Duanzhou Bölgesi, Zhaoqing şehri, Guangdong 526060 Çin
