Optik kaplama ekipmanları
Uygulamalar:
AR/AF
Yüksek yansıtıcı film
Spektroskopik film
Diğer optik filmler
Özellikleri:
6 noktalı kristal osilatör sensörü + film kalınlığı kontrolörü ile donatılmıştır
RF iyon kaynağı
Çift elektron silahı, çok noktalı ve yüzüklü havuçla donatılmış.
Otomatik buharlaşma kontrol sistemi otomatik buharlaşma sürecini gerçekleştirmek için kullanılır
İşçi tutıcısı seçmeli olarak şemsiye tipi veya gezegen tipi ile donatılabilir.
|
Spesifikasyon
|
Vakum odası |
SUS 304, φ1550mmx1800mm ((H) |
|
|
İşçi boyutu |
φ1400mm |
|
|
İşçinin hızı |
0-60rpm (değişken) |
|
|
Film kalınlığını tespit eden cihaz |
6 noktalı kristal osilatör sensörü + film kalınlığı kontrolörü |
|
|
Buharlama kaynağı |
2 adet elektron tabancası seti |
|
|
Tek kaynak |
23cm RF iyon kaynağı |
|
|
Egzoz sistemi |
Mekanik pompa+difüzyon pompası ((veya moleküler pompa) + kriyojenik yakalama pompası |
|
Performans
|
En yüksek basınç |
7.0x10'un altında- 4Baba. |
|
|
Egzoz süresi |
15 dakikalık atmosferik basınç ~1.3x10- Üç.(Pa) |
|
|
Substrat sıcaklığı |
En fazla:350°C |
|
Çalışma koşulları |
Ekipmanın boyutu |
Yaklaşık 5500mm ((W) x 7200mm ((D) x 3700mm ((H) |
|
|
Güç kaynağı |
Üç fazlı güç kaynağı, 380v, 50Hz, yaklaşık 100kVA |
|
|
Soğutma suyu |
Su akışı 11m3/h, sıcaklık 20°C-25°C |
|
|
Hava basıncı |
0,6-0,7MPa'nın üzerinde |
|
|
Ağırlık |
Yaklaşık 11000kg |
1.Kuvars kristal veya optik film kalınlığı kontrol aracı ile donatılmış, otomatik ve hassas film kalınlığı kontrolü gerçekleştirebilir.
2.İyon bombardıman cihazı ile donatılmış, film katmanı ve substrat yüzeyi arasındaki daha iyi yapışkanlık sağlamak ve film katmanın kalitesini iyileştirmek için alt katmanın yüzeyini arındırır.
3.Büyük havuzlu elektron tabancasıyla donatılmış, film malzemesinin yüzeyi pürüzsüzdür ve film katmanı tüm buharlaşma işleminde eşit şekilde dağılır
Programlanabilir denetleyici (PLC), dokunmatik ekran (HMI) insan-makine kontrol arayüzü, çalıştırılması kolay, manuel / tam otomatik kontrol serbestçe geçiş.
Optik Vakum Kaplama Makinesi
Giriş:Bu makine esas olarak şeffaflık arttırılmış film, spektroskopik film, bant geçiş filmi / kesim filmi ve yüksek yansıma filmi gibi çeşitli filmlerin kaplama için kullanılır.100 kat film içeren süper büyük bir film sistemini plakalayabilir., ve çeşitli renklerdeki şeffaflık arttırılmış bir film, kırmızı, sarı, mavi, yeşil veya gökkuşağı rengi olan bir yansıtıcı film
Ana özellikleri:
1Bu makine süper büyük bir havuzlu elektronik silahla donatılmıştır. Tüm buharlaşma sürecinde film yüzeyi düz ve buharlaşma dağılımı eşit.
2Bu makine, film oluşturma hızını ve metalleşme işlemini otomatik olarak kontrol etmek için kuvars kristal film kalınlığı kontrol aracıyla donatılmıştır.
3Bu makine, kaliteli bir film kalınlığı üretmek için yüksek güçlü bir iyon kaynağı ile donatılmıştır.
4Toplam yapı, süreç gereksinimlerini daha iyi karşılamak için rasyonel olarak tasarlanmıştır.
5Vakum işletim sistemi bir kilitle korunur. Difüzyon pompası su kesme ve faz kaybı alarm fonksiyonlarına sahiptir.
6Dokunmatik ekran ve PLC otomatik kontrol tüm makinenin ana bileşenlerinin parametrelerini ayarlamak için kullanılır, bu makinenin gerçek zamanlı çalışmasını izlemek için,ve hataları akıllıca teşhis etmek için.
Ana yapılandırma:
1Vakum odası, ön kapısı olan dikey tipli bir kutu yapısıdır; kutu tamamen paslanmaz çelikten yapılmıştır; iç boşluğun boyutları Φ800mm1200mm'dir.
2. Vakum Sistemi Yapılandırması: Moleküler pompa (ya da difüzyon pompası), Kök pompası, mekanik pompalar.
3Hızlı döngülü su buharı kriyo pompası ile derin soğutma sistemi.
4. İş Parçası Rack, müşteriye göre özelleştirilebilen entegre kemerli bir iş parçasıdır.
5Kaplama sistemi, XY yönlerinde yüksek güçlü E tipi 270° manyetik bükümlü elektronik silah taraması ile bir veya iki set ile donatılmıştır.Yardımcı metalleşme sistemi Holl iyon kaynağı ile donatılmıştır..
6- Pişirme: Dijital olarak görüntülenir ve otomatik olarak kontrol edilir, sıcaklık kontrolünü ±1 doğrulukta yapılır.5.
7Film kalınlığı izleme sistemi elektronik silahın buharlaşma hızını kontrol edebilir.Dalga uzunluğu 200-900nm aralığında kontrol edilir..
8Kontrol Sistemi: Vakum, programlanabilir bir mantık denetleyicisiyle birleştirilen 10.4 inçlik bir renk dokunmatik ekranla kontrol edilir. Vakum ve kaplama işlemi tamamen otomatik olarak kontrol edilir.
Parametreler
|
Model |
Aslan-700 |
Aslan-1000 |
Aslan-1100 |
Aslan-1300 |
Aslan-1350 |
|
Oda Boyutu |
750×800 mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Kaplama filmi tipi |
Optik antirefleksiyon filmi, AR, geniş bant antirefleksiyon, tek nokta antirefleksiyon, optik filtre ve dekoratif film |
||||
|
Dökme |
4 parça yay şeklindeki armatürler, tek yay şeklindeki plaka dönüşü, 3 parça plaka gezegen rotasyonu ve dönüşü, 12 şaft dönümü ve dönüşü (uzak) |
||||
|
Vakum odası yapısı |
dikey / yatay (304 paslanmaz çelik), vakum sistemi post konumlandırılmış |
||||
|
Vakum Sistemi |
kaydırma valfi pompası ((döner pompası), kök pompası, difüzyon pompası, bakım pompası (iletileri: moleküler pompa, derin soğuk pompa, derin soğuk sistemi) |
||||
|
Isıtma Sistemi |
ısıtıcı boru ile ısıtılır, PID kontrolü, maksimum sıcaklık: 350 derece |
||||
|
Enflasyon Sistemi |
Kütle akış kontrolörü ve elektromanyetik valf |
||||
|
Elektrikli silah |
Elektrikli silah 4 yuvarlak şekilli havuç ve U şekilli havuç, yüksek voltaj 4KV-8KV ayarlanabilir. Üçgen dalga, sinüs dalga ve dikdörtgen dalga taraması isteğe bağlıdır. |
||||
|
Direnç Buharlanma Kaynağı |
2 direnç buharlaşma kaynağı grubu |
||||
|
İyon Kaynağı |
Güç 2KW, maksimum anod akımı 6A. Film katmanının yapıştırma kuvvetini, yoğunluğunu ve yansıtma endeksini artıran çift filamentler (Kerr) |
||||
|
Kristal Film Kalınlığı Kontrolörü |
Kristal film kalınlığı kontrolörü SQC-310 ((Amerika) ve PLC tamamen otomatik pompalama ve E ışını buharlaşma sistemini oluşturur. |
||||
|
Son Vakum |
8×104 temiz ve boşaltılmış |
||||
|
Pompa Zamanı |
Atmosferden 5×103pa'ya 15 dakikadan daha az |
||||
|
Kontrol Yöntemi |
El, yarı otomatik, tamamen otomatik / dokunmatik ekran ve PLC |
||||
|
Not: |
Müşterilerin isteğine göre tasarlanabilir |
||||
Herhangi bir zamanda bizimle iletişime geçin