Máquina de revestimento óptico de arma de elétrons para lentes ópticas de vidro mineral, lentes ópticas de polímero

Equipamento de Revestimento Óptico

Aplicações:

AR/AF

Filme de alta refletividade

Filme espectroscópico

Outro filme óptico

Características:

Equipado com sensor de oscilador de cristal de 6 pontos + controlador de espessura de filme

Fonte de íons RF

Equipado com canhões de elétrons duplos, cadinho multiponto e anelar

Sistema automático de controle de evaporação é usado para realizar o processo de evaporação automática

O suporte de trabalho pode ser opcionalmente equipado com tipo guarda-chuva ou tipo planetário

1. Equipado com instrumento de controle de espessura de filme de cristal de quartzo ou filme óptico, pode realizar controle automático e preciso da espessura do filme.

2. Equipado com dispositivo de bombardeamento iônico purifica a superfície do substrato para obter melhor adesão entre a camada de filme e a superfície do substrato e melhorar a qualidade da camada de filme.

3. Equipado com canhão de elétrons de cadinho grande, a superfície do material do filme é lisa e a camada de filme é distribuída uniformemente em todo o processo de evaporação

Adota controlador programável (PLC), interface de controle homem-máquina com tela sensível ao toque (HMI), fácil de operar, comutação livre entre controle manual/totalmente automático.

Máquina de Revestimento a Vácuo Óptico  

Introdução: Esta máquina é usada principalmente para depositar vários filmes, como filme de aprimoramento de transparência, filme espectroscópico, filme de passagem de banda/filme de corte e filme de alta reflexão. Ela pode depositar um sistema de filme super grande com 100 camadas de filme e um filme de aprimoramento de transparência com várias cores, um filme de reflexão com cor vermelha, amarela, azul, verde ou arco-íris.

Principais Características:

1.  Esta máquina é equipada com um canhão de elétrons de cadinho super grande. Em todo o processo de evaporação, a superfície do filme é plana e a distribuição da evaporação é uniforme.

2.  Esta máquina é equipada com um instrumento de controle de espessura de filme de cristal de quartzo para controlar automaticamente a velocidade de formação do filme e o processo de metalização.

3.  Esta máquina é equipada com uma fonte de íons de alta potência para produzir um filme com boa qualidade.

4.  A estrutura geral é projetada racionalmente para atender melhor aos requisitos do processo. O sistema de vácuo é controlado automaticamente por PLC para operação conveniente.

5.  O sistema de operação a vácuo é protegido com um intertravamento. A bomba de difusão possui funções de alarme de corte de água e perda de fase.

6.  Tela sensível ao toque e controle automático por PLC são usados para definir parâmetros dos componentes principais de toda a máquina, monitorar o funcionamento desta máquina em tempo real e diagnosticar falhas de forma inteligente.

Configuração Principal:

1.   A câmara de vácuo é uma estrutura em caixa do tipo vertical com porta frontal; a caixa é feita inteiramente de aço inoxidável; as dimensões da cavidade interna são Φ800mm1200mm.

2.   Configuração do Sistema de Vácuo: com bomba molecular (ou bomba de difusão), bomba Roots, bombas mecânicas.

3.   Sistema de Resfriamento Profundo com uma Bomba Criogênica de Vapor de Água de Ciclo Rápido

4.  O Rack de Peças de Trabalho é uma peça de trabalho integrada em forma de arco, pode ser personalizado de acordo com o cliente.

5.  O sistema de revestimento é equipado com um ou dois conjuntos de canhão de elétrons de deflexão magnética de alta potência tipo e de 270° com varredura nas direções XY. O sistema auxiliar de metalização é equipado com uma fonte de íons Holl.

5.  Cozimento: Exibido digitalmente e controlado automaticamente com uma precisão de controle de temperatura de ±1.5.

7.   O sistema de monitoramento de espessura de filme pode controlar a taxa de evaporação do canhão de elétrons. O sistema de monitoramento de espessura de filme óptico, no qual o comprimento de onda é controlado na faixa de 200-900nm.

8.   Sistema de Controle: O vácuo é controlado por uma tela sensível ao toque colorida de 10,4 polegadas acoplada a um controlador lógico programável. O processo de vácuo e revestimento são controlados totalmente automaticamente.

Especificação de Parâmetro