Thiết bị Phủ Quang học
Ứng dụng:
AR/AF
Màng phản xạ cao
Màng quang phổ
Màng quang học khác
Đặc điểm:
Trang bị cảm biến dao động tinh thể 6 điểm + bộ điều khiển độ dày màng
Nguồn ion RF
Trang bị hai súng điện tử, nồi nung đa điểm và hình vành khuyên
Hệ thống điều khiển bay hơi tự động được sử dụng để thực hiện quy trình bay hơi tự động
Giá đỡ có thể tùy chọn trang bị loại ô hoặc loại hành tinh
|
Thông số kỹ thuật
|
Buồng chân không |
SUS 304, φ1550mmx1800mm(H) |
|
|
Kích thước giá đỡ |
φ1400mm |
|
|
Tốc độ giá đỡ |
0-60 vòng/phút (biến đổi) |
|
|
Thiết bị phát hiện độ dày màng |
Cảm biến dao động tinh thể 6 điểm + bộ điều khiển độ dày màng |
|
|
Nguồn bay hơi |
2 bộ súng điện tử |
|
|
Nguồn ion |
Nguồn ion RF 23cm |
|
|
Hệ thống hút chân không |
Bơm cơ khí + bơm khuếch tán (hoặc bơm phân tử) + bơm bắt giữ lạnh |
|
Hiệu suất
|
Áp suất cuối cùng |
Dưới 7.0x10-4Pa |
|
|
Thời gian hút chân không |
15 phút (áp suất khí quyển ~1.3x10- 3Pa) |
|
|
Nhiệt độ đế |
Tối đa: 350°C |
|
Điều kiện làm việc |
Kích thước thiết bị |
khoảng 5500mm(W)x7200mm(D)x3700mm(H) |
|
|
Nguồn điện |
Nguồn điện 3 pha, 380v, 50Hz, khoảng 100kVA |
|
|
Nước làm mát |
Lưu lượng nước 11m³/h, nhiệt độ 20°C-25°C |
|
|
Áp suất khí |
Trên 0.6-0.7MPa |
|
|
Trọng lượng |
Khoảng 11000kg |
1. Trang bị bộ điều khiển độ dày màng bằng tinh thể thạch anh hoặc quang học, có thể thực hiện điều khiển độ dày màng tự động và chính xác.
2. Trang bị thiết bị bắn phá ion làm sạch bề mặt đế để tăng cường độ bám dính giữa lớp màng và bề mặt đế, đồng thời cải thiện chất lượng lớp màng.
3. Trang bị súng điện tử nồi nung lớn, bề mặt vật liệu màng nhẵn và lớp màng được phân bố đều trong toàn bộ quá trình bay hơi
Sử dụng bộ điều khiển lập trình (PLC), giao diện điều khiển người-máy màn hình cảm ứng (HMI), dễ vận hành, chuyển đổi tự do giữa chế độ thủ công/tự động hoàn toàn.
Máy Phủ Chân Không Quang Học
Giới thiệu: Máy này chủ yếu được sử dụng để mạ các loại màng khác nhau như màng tăng cường độ trong suốt, màng quang phổ, màng dải thông/màng cắt, và màng phản xạ cao. Máy có thể mạ hệ thống màng siêu lớn với 100 lớp màng, và màng tăng cường độ trong suốt với nhiều màu sắc khác nhau, màng phản xạ với màu đỏ, vàng, xanh lam, xanh lục hoặc màu cầu vồng
Các Tính năng Chính:
1. Máy này được trang bị súng điện tử nồi nung siêu lớn. Trong toàn bộ quá trình bay hơi, bề mặt màng phẳng và phân bố bay hơi đồng đều.
2. Máy này được trang bị bộ điều khiển độ dày màng bằng tinh thể thạch anh để tự động kiểm soát tốc độ tạo màng và quy trình kim loại hóa.
3. Máy này được trang bị nguồn ion công suất cao để tạo ra màng có chất lượng tốt.
4. Cấu trúc tổng thể được thiết kế hợp lý để đáp ứng tốt hơn các yêu cầu quy trình. Hệ thống chân không được điều khiển tự động bằng PLC để vận hành thuận tiện.
5. Hệ thống vận hành chân không được bảo vệ bằng khóa liên động. Bơm khuếch tán có chức năng cảnh báo mất nước và mất pha.
6. Sử dụng màn hình cảm ứng và điều khiển tự động PLC để cài đặt các thông số của các bộ phận chính của toàn bộ máy, để giám sát hoạt động của máy trong thời gian thực và để chẩn đoán lỗi thông minh.
Cấu hình Chính:
1. Buồng chân không là cấu trúc dạng hộp thẳng đứng có cửa trước; hộp được làm hoàn toàn bằng thép không gỉ; kích thước khoang bên trong là Φ800mm1200mm.
2. Cấu hình Hệ thống Chân không: với bơm phân tử (hoặc bơm khuếch tán), bơm Roots, bơm cơ khí.
3. Hệ thống Làm lạnh sâu với Bơm hơi nước chu kỳ nhanh
4. Giá đỡ Phôi là giá đỡ hình vòm tích hợp, có thể tùy chỉnh theo khách hàng.
5. Hệ thống phủ được trang bị một hoặc hai bộ súng điện tử lệch từ kiểu e công suất cao quét theo hướng XY. Hệ thống kim loại hóa phụ được trang bị nguồn ion Holl.
5. Nướng: Hiển thị kỹ thuật số và điều khiển tự động với độ chính xác kiểm soát nhiệt độ ±1.5.
7. Hệ thống giám sát độ dày màng có thể kiểm soát tốc độ bay hơi của súng điện tử. Hệ thống giám sát độ dày màng quang học, trong đó bước sóng được kiểm soát trong phạm vi 200-900nm.
8. Hệ thống điều khiển: Chân không được điều khiển bằng màn hình cảm ứng màu 10,4 inch kết hợp với bộ điều khiển logic lập trình. Quy trình chân không và phủ được điều khiển hoàn toàn tự động.
Thông số Kỹ thuật
|
Mẫu |
Lion-700 |
Lion-1000 |
Lion-1100 |
Lion-1300 |
Lion-1350 |
|
Kích thước buồng |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Loại màng phủ |
Màng chống phản xạ quang học, AR, chống phản xạ băng thông rộng, chống phản xạ điểm đơn, bộ lọc quang học và màng trang trí |
||||
|
Cố định |
4 miếng cố định hình cung, đĩa hình cung đơn quay, 3 miếng đĩa quay và xoay hành tinh, 12 trục quay và xoay (ngang) |
||||
|
Cấu trúc buồng chân không |
thẳng đứng / ngang (thép không gỉ 304), hệ thống chân không đặt ở vị trí cột |
||||
|
Hệ thống chân không |
bơm van trượt (bơm quay), bơm roots, bơm khuếch tán, bơm duy trì (tùy chọn: bơm phân tử, bơm lạnh sâu, hệ thống lạnh sâu) |
||||
|
Hệ thống sưởi ấm |
được làm nóng bằng ống sưởi, điều khiển PID, nhiệt độ tối đa: 350 độ |
||||
|
Hệ thống nạp khí |
bộ điều khiển lưu lượng khối & van điện từ |
||||
|
Súng điện tử |
Súng điện tử 4 nồi nung hình tròn và 1 nồi nung hình chữ U, điện áp cao 4KV-8KV có thể điều chỉnh. Quét sóng tam giác, sóng sin và sóng chữ nhật là tùy chọn. |
||||
|
Nguồn bay hơi điện trở |
2 nhóm nguồn bay hơi điện trở |
||||
|
Nguồn ion |
công suất 2KW, dòng anode tối đa 6A. hai sợi đốt tăng cường lực bám dính, mật độ và chỉ số khúc xạ của lớp màng (Kerr) |
||||
|
Bộ điều khiển độ dày màng tinh thể |
bộ điều khiển độ dày màng tinh thể SQC-310 (Mỹ) và PLC tạo thành hệ thống bơm và bay hơi bằng chùm điện tử hoàn toàn tự động. |
||||
|
Chân không cuối cùng |
8×104paclean và không tải |
||||
|
Thời gian bơm |
Từ khí quyển đến 5×103pa dưới 15 phút |
||||
|
Phương pháp điều khiển |
thủ công, bán tự động, hoàn toàn tự động / màn hình cảm ứng & PLC |
||||
|
Ghi chú |
Có thể được thiết kế theo yêu cầu của khách hàng |
||||
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào