|
Mesin Lapisan Optik Senapan Elektron untuk Lensa Optik Kaca Mineral, Lensa Optik Polimer
| Tempat asal | Guangdong |
| Nama merek | Lion King |
| Sertifikasi | CE |
Mesin Lapisan Vakuum PVD Baja Rustless
,Mesin Pelapisan Vakum PVD Layar Sentuh
,Mesin Pelapisan Vakum PVD Ion Multi Arc
Peralatan Pelapisan Optik
Aplikasi:
AR/AF
Lapisan reflektif tinggi
Lapisan spektroskopi
Lapisan optik lainnya
Fitur:
Dilengkapi dengan sensor osilator kristal 6 titik + pengontrol ketebalan film
Sumber ion RF
Dilengkapi dengan dua pistol elektron, wadah multi-titik dan cincin
Sistem kontrol penguapan otomatis digunakan untuk mewujudkan proses penguapan otomatis
Tempat kerja dapat dilengkapi secara opsional dengan tipe payung atau tipe planet
|
Spesifikasi
|
Ruang vakum |
SUS 304, φ1550mmx1800mm(T) |
|
|
Ukuran tempat kerja |
φ1400mm |
|
|
Kecepatan tempat kerja |
0-60rpm(variabel) |
|
|
Perangkat deteksi ketebalan film |
Sensor osilator kristal 6 titik + pengontrol ketebalan film |
|
|
Sumber penguapan |
2 set pistol elektron |
|
|
Sumber ion |
Sumber ion RF 23cm |
|
|
Sistem pembuangan |
Pompa mekanis + pompa difusi (atau pompa molekuler) + pompa penangkap kriogenik |
|
Kinerja
|
Tekanan akhir |
Di bawah 7.0x10-4Pa |
|
|
Waktu pembuangan |
15 menit (tekanan atmosfer~1.3x10- 3Pa) |
|
|
Suhu substrat |
Maksimum:350°C |
|
Kondisi kerja |
Ukuran peralatan |
sekitar 5500mm(L)x7200mm(P)x3700mm(T) |
|
|
Sumber daya |
Pasokan daya 3-fasa, 380v, 50Hz, sekitar 100kVA |
|
|
Air pendingin |
Laju aliran air 11m³/jam, suhu 20°C-25°C |
|
|
Tekanan udara |
Di atas 0.6-0.7MPa |
|
|
Berat |
Sekitar 11000kg |
1. Dilengkapi dengan instrumen kontrol ketebalan film kristal kuarsa atau optik, dapat mewujudkan kontrol ketebalan film otomatis dan presisi.
2. Dilengkapi dengan perangkat bombardir ion memurnikan permukaan substrat untuk membuat adhesi yang lebih baik antara lapisan film dan permukaan substrat serta meningkatkan kualitas lapisan film.
3. Dilengkapi dengan pistol elektron wadah besar, permukaan material film halus dan lapisan film terdistribusi merata di seluruh proses penguapan
Mengadopsi pengontrol terprogram (PLC), antarmuka kontrol manusia-mesin layar sentuh (HMI), mudah dioperasikan, peralihan kontrol manual/otomatis penuh secara bebas.
Mesin Pelapisan Vakum Optik
Pendahuluan: Mesin ini terutama digunakan untuk melapisi berbagai film seperti film peningkatan transparansi, film spektroskopi, film pita lulus/film potong, dan film reflektif tinggi. Mesin ini dapat melapisi sistem film super besar dengan 100 lapis film, dan film peningkatan transparansi dengan berbagai warna, film reflektif dengan warna merah, kuning, biru, hijau atau pelangi
Fitur Utama:
1. Mesin ini dilengkapi dengan pistol elektron wadah super besar. Di seluruh proses penguapan, permukaan film rata dan distribusi penguapan merata.
2. Mesin ini dilengkapi dengan instrumen kontrol ketebalan film kristal kuarsa untuk mengontrol kecepatan pembentukan film dan proses metalisasi secara otomatis.
3. Mesin ini dilengkapi dengan sumber ion berdaya tinggi untuk menghasilkan ketebalan film dengan kualitas baik.
4. Struktur keseluruhan dirancang secara rasional untuk lebih memenuhi persyaratan proses. Sistem vakum dikontrol secara otomatis oleh PLC untuk pengoperasian yang nyaman.
5. Sistem operasi vakum dilindungi dengan interlock. Pompa difusi memiliki fungsi alarm pemutusan air dan kehilangan fasa.
6. Layar sentuh dan kontrol otomatis PLC digunakan untuk mengatur parameter komponen utama seluruh mesin, untuk memantau pengoperasian mesin ini secara real time, dan untuk mendiagnosis kesalahan secara cerdas.
Konfigurasi Utama:
1. Ruang vakum adalah struktur kotak tipe vertikal dengan pintu depan; kotak sepenuhnya terbuat dari baja tahan karat; dimensi rongga internal adalah Φ800mm1200mm.
2. Konfigurasi Sistem Vakum: dengan pompa molekuler (atau pompa difusi), pompa Roots, pompa mekanis.
3. Sistem Pendinginan Dalam dengan Pompa Uap Air Siklus Cepat
4. Rak Benda Kerja adalah benda kerja berbentuk lengkung terintegrasi, dapat disesuaikan sesuai pelanggan.
5. Sistem pelapisan dilengkapi dengan satu atau dua set pistol elektron defleksi magnetik tipe e berdaya tinggi 270° yang memindai dalam arah XY. Sistem metalisasi bantu dilengkapi dengan sumber ion Holl.
6. Pemanasan: Ditampilkan secara digital dan dikontrol secara otomatis dengan presisi kontrol suhu ±1.5.
7. Sistem pemantauan ketebalan film dapat mengontrol laju penguapan pistol elektron. Sistem pemantauan ketebalan film optik, di mana panjang gelombang dikontrol dalam rentang 200-900nm.
8. Sistem Kontrol: Vakum dikontrol oleh layar sentuh warna 10,4 inci yang digabungkan dengan pengontrol logika terprogram. Proses vakum dan pelapisan dikontrol sepenuhnya secara otomatis.
Spesifikasi Parameter
|
Model |
Lion-700 |
Lion-1000 |
Lion-1100 |
Lion-1300 |
Lion-1350 |
|
Ukuran Ruang |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
Jenis Film Pelapis |
Film antirefleksi optik, AR, antirefleksi broadband, antirefleksi titik tunggal, filter optik dan film dekoratif |
||||
|
Perkakas |
4 buah perkakas berbentuk busur, revolusi pelat berbentuk busur tunggal, 3 buah pelat rotasi dan revolusi planet, 12 poros rotasi dan revolusi (horizontal) |
||||
|
Struktur Ruang Vakum |
vertikal / horizontal (baja tahan karat 304), sistem vakum diposisikan di tiang |
||||
|
Sistem Vakum |
pompa katup geser (pompa putar), pompa roots, pompa difusi, pompa pemeliharaan (opsional: pompa molekuler, pompa dingin dalam, sistem dingin dalam) |
||||
|
Sistem Pemanasan |
dipanaskan oleh tabung pemanas, kontrol PID, suhu maks: 350 derajat |
||||
|
Sistem Inflasi |
pengontrol aliran massa & katup elektromagnetik |
||||
|
Pistol Elektrik |
Pistol elektrik 4 wadah berbentuk bulat dan 1 wadah berbentuk U, tegangan tinggi 4KV-8KV dapat disesuaikan. Pemindaian gelombang segitiga, gelombang sinus, dan gelombang persegi bersifat opsional. |
||||
|
Sumber Penguapan Resistansi |
2 grup sumber penguapan resistansi |
||||
|
Sumber Ion |
daya 2KW, arus anoda maks 6A. filamen ganda yang meningkatkan gaya lampiran, kepadatan, dan indeks bias lapisan film (Kerr) |
||||
|
Pengontrol Ketebalan Film Kristal |
pengontrol ketebalan film kristal SQC-310 (Amerika) dan PLC membentuk sistem penguapan E-beam dan pemompaan otomatis penuh. |
||||
|
Vakum Akhir |
8×104pabersih dan tidak dimuat |
||||
|
Waktu Pompa |
Dari atmosfer ke 5×103pa kurang dari 15 menit |
||||
|
Metode Kontrol |
manual, semi-otomatis, otomatis penuh / layar sentuh & PLC |
||||
|
Catatan |
Dapat dirancang sesuai permintaan pelanggan |
||||
Hubungi kami kapan saja
