Peralatan pelapis pvd dengan presisi tinggi

1. Sistem vakum (Jaminan dasar untuk pelapisan) Ruang vakum Set pompa vakum Pengukuran dan kontrol vakum.
2. Sistem senapan elektron (Inti pasokan energi) Sumber emisi elektron Perangkat fokus dan defleksi Modul kontrol daya.
3. Sistem deposisi penguapan (Kunci pembentukan film) Rakitan wadah; Perangkat pemasangan bahan target Pemantauan dan kontrol ketebalan film Sensor inti.
4. Sistem Kontrol (Otomatisasi dan Jaminan Presisi) Unit kontrol utama Modul kontrol loop tertutup Sistem perlindungan keselamatan.
5. Sistem perawatan substrat (Meningkatkan Adhesi Film) Mekanisme pendukung dan rotasi substrat; Perangkat pemanas substrat Modul pra-perlakuan pemboman ion (opsional).
6. Sistem tambahan Sistem pendingin; Sistem kontrol gas.

Prinsip inti dari mesin pelapis penguapan berkas elektron presisi tinggi adalah proses fisik "mengubah energi berkas elektron menjadi energi termal bahan target untuk mencapai penguapan bahan - transfer fase gas - deposisi substrat".

1. Presisi pelapisan sangat tinggi dan kualitas lapisan film sangat baik
2. Memiliki berbagai bahan yang dapat diterapkan

   Berbagai bahan seperti logam yang dapat diuapkan (Au, Ag, Al, Ti), paduan (NiCr, TiW), oksida (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), sulfida (ZnS), dan keramik.

3. Efisiensi penguapan tinggi dan adhesi lapisan film yang kuat
4. Polusi rendah dan tingkat pemanfaatan bahan target yang tinggi
5. Tingkat otomatisasi yang tinggi dan pengoperasian yang mudah

1. Bidang optik (Skenario aplikasi inti)
   • Lensa optik: Film anti-refleksi (seperti film multilayer SiO₂-TiO₂), film refleksi tinggi (seperti film pelindung Al+SiO₂), dan film filter (seperti film filter inframerah, film pemutus ultraviolet) dilapisi pada lensa, prisma, dan cermin untuk meningkatkan transmisi cahaya, reflektansi, atau selektivitas spektral dari perangkat optik.
   • Perangkat tampilan: Pelapisan film konduktif transparan (seperti ITO, AZO), film anti-reflektif, dan film penginderaan sentuh pada substrat kaca LCD, OLED, dan tampilan Micro LED.
   • Perangkat laser: Film refleksi tinggi dan anti-refleksi dilapisi pada rongga resonansi laser dan ujung serat optik untuk mengoptimalkan efisiensi transmisi laser.
2. Bidang elektronik dan semikonduktor
   • Perangkat semikonduktor: Elektroda logam (seperti Au, Al, Ti) dan film pasivasi (seperti SiO₂, Si₃N₄) dilapisi pada chip dan wafer untuk memastikan konduktivitas dan stabilitas perangkat.
   • Komponen elektronik: Pelapisan lapisan film fungsional (seperti film resistansi NiCr, film dielektrik Ta₂O₅) pada kapasitor, resistor, dan sensor untuk meningkatkan kinerja komponen;
   • Perangkat penyimpanan magnetik: Pelapisan film magnetik (seperti film paduan CoCrPt) pada kepala hard disk dan pita magnetik untuk meningkatkan kapasitas penyimpanan dan kecepatan baca/tulis.
3. Bidang dirgantara dan pertahanan nasional
   • Komponen dirgantara: Pelapisan lapisan film tahan aus, tahan korosi, dan tahan UV untuk jendela pesawat dan lensa optik satelit; Lapisi pencari rudal dengan film anti-refleksi inframerah dan film siluman;
   • Peralatan pertahanan nasional: Pelapisan lapisan film optik berkinerja tinggi untuk senjata laser dan detektor inframerah untuk meningkatkan kemampuan beradaptasi lingkungan dan kinerja tempur peralatan.
4. Bidang kelas atas lainnya
   • Perangkat medis: Pelapisan lapisan film optik dengan biokompatibilitas yang baik dan ketahanan disinfeksi untuk lensa buatan dan lensa endoskopi;
   • Pelapisan dekoratif dan fungsional: Pelapisan pelat jam tangan kelas atas dan perhiasan dengan film dekoratif tahan aus dan anti-oksidasi (seperti film emas TiN, film hitam Cr); Film pelindung keras (seperti TiN dan TiAlN) dilapisi pada alat potong dan cetakan untuk memperpanjang masa pakai mereka.