고 정밀 전자 빔 증발 코팅 기계 pvd 코팅 장비

1. 진공 시스템 (코팅의 기본 보장) 진공 챔버 진공 펌프 세트 진공 측정 및 제어.
2. 전자총 시스템 (에너지 공급 핵심) 전자 방출원 초점 및 편향 장치 전원 제어 모듈.
3. 증착 시스템 (필름 형성에 핵심) 도가니 어셈블리; 타겟 재료 고정 장치 필름 두께 모니터링 및 제어 핵심 센서.
4. 제어 시스템 (자동화 및 정밀 보장) 주 제어 장치 폐쇄 루프 제어 모듈 안전 보호 시스템.
5. 기판 처리 시스템 (필름 접착력 향상) 기판 지지 및 회전 메커니즘; 기판 가열 장치 이온 충격 전처리 모듈 (선택 사항).
6. 보조 시스템 냉각 시스템; 가스 제어 시스템.

고정밀 전자빔 증착 코팅기의 핵심 원리는 "전자빔의 에너지를 타겟 재료의 열 에너지로 변환하여 재료 증발 - 기상 전달 - 기판 증착"의 물리적 과정입니다.

1. 코팅 정밀도가 매우 높고 필름층 품질이 우수합니다.
2. 다양한 재료에 적용 가능합니다.

   증발 가능한 금속(Au, Ag, Al, Ti), 합금(NiCr, TiW), 산화물(SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), 황화물(ZnS), 세라믹 등 다양한 재료.

3. 높은 증발 효율과 강한 필름층 접착력
4. 낮은 오염과 높은 타겟 재료 활용률
5. 높은 자동화 정도와 편리한 작동

1. 광학 분야 (핵심 응용 시나리오)
   • 광학 렌즈: 반사 방지 필름(예: SiO₂-TiO₂ 다층 필름), 고반사 필름(예: Al+SiO₂ 보호 필름), 필터 필름(예: 적외선 필터 필름, 자외선 차단 필름)은 렌즈, 프리즘, 거울에 코팅되어 광학 장치의 투과율, 반사율 또는 스펙트럼 선택성을 향상시킵니다.
   • 디스플레이 장치: LCD, OLED, Micro LED 디스플레이의 유리 기판에 투명 전도성 필름(예: ITO, AZO), 반사 방지 필름 및 터치 감지 필름을 코팅합니다.
   • 레이저 장치: 레이저 공진 캐비티와 광섬유의 단면에 고반사 및 반사 방지 필름을 코팅하여 레이저 전송 효율을 최적화합니다.
2. 전자 및 반도체 분야
   • 반도체 장치: 칩 및 웨이퍼에 금속 전극(예: Au, Al, Ti) 및 패시베이션 필름(예: SiO₂, Si₃N₄)을 코팅하여 장치의 전도성과 안정성을 보장합니다.
   • 전자 부품: 커패시터, 저항기 및 센서에 기능성 필름층(예: NiCr 저항 필름, Ta₂O₅ 유전체 필름)을 코팅하여 부품 성능을 향상시킵니다.
   • 자기 저장 장치: 하드 디스크 헤드 및 자기 테이프에 자기 필름(예: CoCrPt 합금 필름)을 코팅하여 저장 용량 및 읽기/쓰기 속도를 향상시킵니다.
3. 항공 우주 및 국방 분야
   • 항공 우주 부품: 항공기 창문 및 위성 광학 렌즈에 내마모성, 내식성 및 UV 저항성 필름층을 코팅합니다. 미사일 탐색기에 적외선 반사 방지 필름 및 스텔스 필름을 코팅합니다.
   • 국방 장비: 레이저 무기 및 적외선 감지기에 고성능 광학 필름층을 코팅하여 장비의 환경 적응성 및 전투 성능을 향상시킵니다.
4. 기타 고급 분야
   • 의료 기기: 인공 렌즈 및 내시경 렌즈에 생체 적합성 및 소독 저항성이 우수한 광학 필름층을 코팅합니다.
   • 장식 및 기능성 코팅: 고급 시계 다이얼 및 보석에 내마모성 및 산화 방지 장식 필름(예: TiN 금 필름, Cr 흑색 필름)을 코팅합니다. 절삭 공구 및 금형에 경질 보호 필름(예: TiN 및 TiAlN)을 코팅하여 수명을 연장합니다.