Elektronenstraal verdamping coating machine pvd coating apparatuur met hoge precisie

1. Vacuümsysteem (Basisgarantie voor coating) Vacuümkamer Vacuümpomp set Vacuümmeting en -regeling.
2. Elektronengunsysteem (Energievoorzieningskern) Elektronenemissiebron Focus- en afbuiginrichting Vermogensregelmodule.
3. Verdampingsdepositiesysteem (Sleutel tot filmvorming) Tiegelassemblage; Fixeerinrichting voor doelmateriaal Film dikte monitoring en controle Kernsensor.
4. Regelsysteem (Automatisering en Precisieborging) Hoofdbesturingseenheid Gesloten-lus regelmodule Veiligheidsbeschermingssysteem.
5. Substraatbehandelingssysteem (Verbetering van filmhechting) Substraatondersteuning en roterend mechanisme; Substraatverwarmingsapparaat Ion bombardement voorbehandelingsmodule (optioneel).
6. Hulpsysteem Koelsysteem; Gasregelsysteem.

Het kernprincipe van de hoogprecisie elektronenbundelverdampingscoatingmachine is het fysische proces van "het omzetten van de energie van de elektronenbundel in de thermische energie van het doelmateriaal om materiaalverdamping - gasfase-overdracht - substraatdepositie te bereiken".

1. De coatingprecisie is extreem hoog en de filmlaagkwaliteit is uitstekend
2. Het heeft een breed scala aan toepasbare materialen

   Een verscheidenheid aan materialen zoals verdampbare metalen (Au, Ag, Al, Ti), legeringen (NiCr, TiW), oxiden (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), sulfiden (ZnS) en keramiek.

3. Hoge verdampingsefficiëntie en sterke filmlaaghechting
4. Lage vervuiling en hoge benuttingsgraad van doelmaterialen
5. Hoge mate van automatisering en gemakkelijke bediening

1. Optisch veld (Kern toepassingsscenario's)
   • Optische lenzen: Antireflectiefilms (zoals SiO₂-TiO₂ meerlaagse films), hoogreflectiefilms (zoals Al+SiO₂ beschermende films) en filterfilms (zoals infraroodfilterfilms, ultraviolet-afsnijfilms) worden op lenzen, prisma's en spiegels aangebracht om de lichtdoorlatendheid, reflectie of spectrale selectiviteit van optische apparaten te verbeteren.
   • Weergaveapparaten: Coating van transparante geleidende films (zoals ITO, AZO), antireflectiefilms en aanraakgevoelige films op de glazen substraten van LCD-, OLED- en Micro LED-displays.
   • Laserapparaten: Hoogreflectie- en antireflectiefilms worden op de laserresonantieholte en het eindvlak van de optische vezel aangebracht om de laseroverdrachtsefficiëntie te optimaliseren.
2. Elektronica- en halfgeleiderveld
   • Halfgeleiderapparaten: Metalen elektroden (zoals Au, Al, Ti) en passiveringsfilms (zoals SiO₂, Si₃N₄) worden op chips en wafers aangebracht om de geleidbaarheid en stabiliteit van de apparaten te garanderen.
   • Elektronische componenten: Coating van functionele filmlagen (zoals NiCr-weerstandsfilm, Ta₂O₅-diëlektrische film) op condensatoren, weerstanden en sensoren om de prestaties van componenten te verbeteren;
   • Magnetische opslagapparaten: Coating van magnetische films (zoals CoCrPt-legeringsfilms) op harde schijfkoppen en magnetische tapes om de opslagcapaciteit en de lees-/schrijfsnelheid te verbeteren.
3. Lucht- en ruimtevaart- en defensiegebieden
   • Lucht- en ruimtevaartcomponenten: Coating van slijtvaste, corrosiebestendige en UV-bestendige filmlagen voor vliegtuigramen en satellietoptische lenzen; Breng de raketzoeker aan met infrarood antireflectiefilm en stealthfilm;
   • Defensie-uitrusting: Coating van hoogwaardige optische filmlagen voor laserwapens en infrarooddetectoren om de omgevingsaanpassing en gevechtsprestaties van de apparatuur te verbeteren.
4. Andere high-end gebieden
   • Medische apparaten: Coating van optische filmlagen met goede biocompatibiliteit en ontsmettingsbestendigheid voor kunstlenzen en endoscooplenzen;
   • Decoratieve en functionele coating: Coating van high-end horlogeschijven en sieraden met slijtvaste en anti-oxidatie decoratieve films (zoals TiN-goudfilm, Cr-zwarte film); Harde beschermende films (zoals TiN en TiAlN) worden op snijgereedschappen en mallen aangebracht om hun levensduur te verlengen.