उच्च परिशुद्धता इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण कोटिंग मशीन का मुख्य सिद्धांत "सामग्री वाष्पीकरण - गैस-चरण स्थानांतरण - सब्सट्रेट जमाव प्राप्त करने के लिए इलेक्ट्रॉन बीम की ऊर्जा को लक्ष्य सामग्री की थर्मल ऊर्जा में परिवर्तित करना" की भौतिक प्रक्रिया है।
विभिन्न प्रकार की सामग्रियाँ जैसे वाष्पीकरणीय धातुएँ (Au, Ag, Al, Ti), मिश्र धातुएँ (NiCr, TiW), ऑक्साइड (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), सल्फाइड (ZnS), और सिरेमिक।
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