Máy sơn bay điện tử độ chính xác cao

1. Hệ thống chân không (Đảm bảo cơ bản cho việc phủ) Buồng chân không Bộ bơm chân không Đo và điều khiển chân không.
2. Hệ thống súng điện tử (Cốt lõi cung cấp năng lượng) Nguồn phát xạ electron Thiết bị tập trung và lệch hướng Mô-đun điều khiển nguồn.
3. Hệ thống lắng đọng bay hơi (Chìa khóa để hình thành màng) Cụm chén nung; Thiết bị cố định vật liệu đích Cảm biến cốt lõi theo dõi và kiểm soát độ dày màng.
4. Hệ thống điều khiển (Tự động hóa và đảm bảo độ chính xác) Bộ điều khiển chính Mô-đun điều khiển vòng kín Hệ thống bảo vệ an toàn.
5. Hệ thống xử lý đế (Tăng cường độ bám dính của màng) Cơ chế hỗ trợ và xoay đế; Thiết bị gia nhiệt đế Mô-đun tiền xử lý bắn phá ion (tùy chọn).
6. Hệ thống phụ trợ Hệ thống làm mát; Hệ thống điều khiển khí.

Nguyên tắc cốt lõi của máy phủ bay hơi chùm electron có độ chính xác cao là quá trình vật lý "chuyển đổi năng lượng của chùm electron thành năng lượng nhiệt của vật liệu đích để đạt được sự bay hơi vật liệu - chuyển pha khí - lắng đọng đế".

1. Độ chính xác phủ cực cao và chất lượng lớp màng tuyệt vời
2. Nó có nhiều loại vật liệu áp dụng

   Một loạt các vật liệu như kim loại có thể bay hơi (Au, Ag, Al, Ti), hợp kim (NiCr, TiW), oxit (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), sunfua (ZnS) và gốm.

3. Hiệu quả bay hơi cao và độ bám dính lớp màng mạnh
4. Ô nhiễm thấp và tỷ lệ sử dụng vật liệu đích cao
5. Mức độ tự động hóa cao và vận hành thuận tiện

1. Lĩnh vực quang học (Các tình huống ứng dụng cốt lõi)
   • Thấu kính quang học: Màng chống phản xạ (chẳng hạn như màng nhiều lớp SiO₂-TiO₂), màng phản xạ cao (chẳng hạn như màng bảo vệ Al+SiO₂) và màng lọc (chẳng hạn như màng lọc hồng ngoại, màng cắt tia cực tím) được phủ trên thấu kính, lăng kính và gương để tăng cường độ truyền ánh sáng, độ phản xạ hoặc tính chọn lọc quang phổ của các thiết bị quang học.
   • Thiết bị hiển thị: Phủ các màng dẫn điện trong suốt (chẳng hạn như ITO, AZO), màng chống phản xạ và màng cảm ứng trên các đế kính của màn hình LCD, OLED và Micro LED.
   • Thiết bị laser: Màng phản xạ cao và chống phản xạ được phủ trên khoang cộng hưởng laser và mặt cuối của sợi quang để tối ưu hóa hiệu quả truyền laser.
2. Lĩnh vực điện tử và bán dẫn
   • Thiết bị bán dẫn: Điện cực kim loại (chẳng hạn như Au, Al, Ti) và màng thụ động (chẳng hạn như SiO₂, Si₃N₄) được phủ trên chip và tấm wafer để đảm bảo độ dẫn điện và độ ổn định của thiết bị.
   • Linh kiện điện tử: Phủ các lớp màng chức năng (chẳng hạn như màng điện trở NiCr, màng điện môi Ta₂O₅) trên tụ điện, điện trở và cảm biến để tăng cường hiệu suất linh kiện;
   • Thiết bị lưu trữ từ tính: Phủ các màng từ tính (chẳng hạn như màng hợp kim CoCrPt) trên đầu đĩa cứng và băng từ để tăng cường dung lượng lưu trữ và tốc độ đọc/ghi.
3. Lĩnh vực hàng không vũ trụ và quốc phòng
   • Linh kiện hàng không vũ trụ: Phủ các lớp màng chống mài mòn, chống ăn mòn và chống tia cực tím cho cửa sổ máy bay và thấu kính quang học vệ tinh; Phủ tên lửa tìm kiếm bằng màng chống phản xạ hồng ngoại và màng tàng hình;
   • Thiết bị quốc phòng: Phủ các lớp màng quang học hiệu suất cao cho vũ khí laser và máy dò hồng ngoại để tăng cường khả năng thích ứng với môi trường và hiệu suất chiến đấu của thiết bị.
4. Các lĩnh vực cao cấp khác
   • Thiết bị y tế: Phủ các lớp màng quang học có khả năng tương thích sinh học tốt và khả năng chống khử trùng cho thấu kính nhân tạo và thấu kính nội soi;
   • Lớp phủ trang trí và chức năng: Phủ mặt đồng hồ và đồ trang sức cao cấp bằng màng trang trí chống mài mòn và chống oxy hóa (chẳng hạn như màng vàng TiN, màng đen Cr); Màng bảo vệ cứng (chẳng hạn như TiN và TiAlN) được phủ trên dụng cụ cắt và khuôn để kéo dài tuổi thọ của chúng.