Высокоточная установка для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения, оборудование для нанесения PVD-покрытий

1. Вакуумная система (Основная гарантия покрытия) Вакуумная камера Набор вакуумных насосов Измерение и управление вакуумом
2. Система электронного пистолета (ядро энергоснабжения) Источник излучения электронов Устройство фокусировки и отклонения Модуль управления питанием.
3. Система отложения испарения (ключ к образованию пленки) Сборка плавильного котла; Устройство фиксации материала-мишени Мониторинг толщины пленки и управление Центром датчика.
4. Система управления (автоматизация и обеспечение точности) Главный блок управления Модуль управления с замкнутым контуром Система безопасности.
5. Система обработки субстрата (улучшение сцепления пленки) Поддержка субстрата и вращающийся механизм; устройство нагрева субстрата Модуль предварительной обработки ионной бомбардировки (необязательно).
6. Помощная система Система охлаждения; система управления газом.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. Точность покрытия чрезвычайно высока, а качество слоя пленки отличное
2. Он имеет широкий спектр применяемых материалов

   Различные материалы, такие как испаряющиеся металлы (Au, Ag, Al, Ti), сплавы (NiCr, TiW), оксиды (SiO2, TiO2, Al2O3), сульфиды (ZnS) и керамика.

3. Высокая эффективность испарения и сильное сцепление слоя пленки
4. Низкое загрязнение и высокий уровень использования целевых материалов
5. Высокая степень автоматизации и удобная эксплуатация

1. Оптическое поле (основные сценарии применения)
   • Оптические линзы: антиотражательные пленки (такие как многослойные пленки SiO2-TiO2), высокоотражательные пленки (такие как защитные пленки Al+SiO2) и фильтрующие пленки (такие как инфракрасные фильтрующие пленки,Ультрафиолетовые фильмы) покрываются линзами., призмы и зеркала для повышения световой проницаемости, отражательности или спектральной селективности оптических устройств.
   • Дисплейные устройства: покрытие прозрачными проводящими пленками (например, ITO, AZO), антиотражательными пленками и сенсорными пленками на стеклянных подложках LCD, OLED и Micro LED дисплеев.
   • Лазерные устройства: высокоотражающие и антиотражающие пленки покрываются лазерной резонансной полостью и конечным лицом оптического волокна для оптимизации эффективности передачи лазера.
2. Электроника и полупроводники
   • Полупроводниковые устройства: Металлические электроды (такие как Au, Al, Ti) и пассивационные пленки (такие как SiO2, Si3N4) покрываются чипами и пластинами для обеспечения проводимости и стабильности устройств.
   • Электронные компоненты: покрытие функциональными слоями пленки (например, пленкой с сопротивлением NiCr, диэлектрической пленкой Ta2O5) на конденсаторах, резисторах и датчиках для повышения производительности компонента;
   • Магнитные устройства хранения: покрытие магнитных пленок (таких как пленки из сплава CoCrPt) на головках жестких дисков и магнитных лентах для увеличения емкости хранения и скорости чтения/записи.
3. Аэрокосмическая и национальная оборона
   • Аэрокосмические компоненты: покрытие износостойкими, коррозионностойкими и ультрафиолетоустойчивыми слоями пленки для окон самолетов и спутниковых оптических линз;Покрыть ракетный искатель инфракрасной антиотражательной пленкой и скрытой пленкой;
   • Оборудование национальной обороны: покрытие высокопроизводительными оптическими пленками для лазерного оружия и инфракрасных детекторов для повышения адаптивности к окружающей среде и боевых характеристик оборудования.
4. Другие высокотехнологичные отрасли
   • Медицинские изделия: покрытие оптическими пленочными слоями с хорошей биосовместимостью и устойчивостью к дезинфекции для искусственных линз и линз эндоскопа;
   • Декоративное и функциональное покрытие: покрытие высококачественных циферблатах часов и ювелирных изделий износостойкими и антиоксидантными декоративными пленками (например, пленкой из золота TiN, черной пленкой Cr);Жесткие защитные пленки (такие как TiN и TiAlN) покрываются режущими инструментами и формами для продления их срока службы.