เครื่องเคลือบอิเล็กตรอนเบย์ระเหยความแม่นยําสูง เครื่องเคลือบ pvd

1. ระบบสุญญากาศ (การรับประกันพื้นฐานสำหรับการเคลือบ) ห้องสุญญากาศ ชุดปั๊มสุญญากาศ การวัดและควบคุมสุญญากาศ
2. ระบบปืนอิเล็กตรอน (แกนกลางของการจ่ายพลังงาน) แหล่งกำเนิดการปล่อยอิเล็กตรอน อุปกรณ์โฟกัสและเบี่ยงเบน โมดูลควบคุมพลังงาน
3. ระบบการระเหยและการสะสม (กุญแจสำคัญในการก่อตัวของฟิล์ม) ชุดเบ้าหลอม; อุปกรณ์ยึดวัสดุเป้าหมาย การตรวจสอบและควบคุมความหนาของฟิล์ม เซ็นเซอร์หลัก
4. ระบบควบคุม (การประกันระบบอัตโนมัติและความแม่นยำ) หน่วยควบคุมหลัก โมดูลควบคุมแบบวงปิด ระบบป้องกันความปลอดภัย
5. ระบบการบำบัดพื้นผิว (การเพิ่มการยึดเกาะของฟิล์ม) กลไกการรองรับและหมุนพื้นผิว; อุปกรณ์ให้ความร้อนพื้นผิว โมดูลปรับสภาพล่วงหน้าด้วยการระดมยิงไอออน (อุปกรณ์เสริม)
6. ระบบเสริม ระบบระบายความร้อน; ระบบควบคุมก๊าซ

หลักการสำคัญของเครื่องเคลือบระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนที่มีความแม่นยำสูงคือกระบวนการทางกายภาพของ "การแปลงพลังงานของลำแสงอิเล็กตรอนเป็นพลังงานความร้อนของวัสดุเป้าหมายเพื่อให้เกิดการระเหยของวัสดุ - การถ่ายโอนเฟสแก๊ส - การสะสมพื้นผิว"

1. ความแม่นยำในการเคลือบสูงมากและคุณภาพของชั้นฟิล์มยอดเยี่ยม
2. มีวัสดุที่ใช้งานได้หลากหลาย

   วัสดุหลากหลายชนิด เช่น โลหะที่ระเหยได้ (Au, Ag, Al, Ti), โลหะผสม (NiCr, TiW), ออกไซด์ (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), ซัลไฟด์ (ZnS) และเซรามิก

3. ประสิทธิภาพการระเหยสูงและการยึดเกาะของชั้นฟิล์มแข็งแรง
4. มลพิษต่ำและอัตราการใช้ประโยชน์ของวัสดุเป้าหมายสูง
5. ระบบอัตโนมัติในระดับสูงและการใช้งานที่สะดวก

1. สาขาออปติคัล (สถานการณ์การใช้งานหลัก)
   • เลนส์ออปติคัล: ฟิล์มป้องกันการสะท้อน (เช่น ฟิล์มหลายชั้น SiO₂-TiO₂), ฟิล์มสะท้อนแสงสูง (เช่น ฟิล์มป้องกัน Al+SiO₂) และฟิล์มกรองแสง (เช่น ฟิล์มกรองแสงอินฟราเรด, ฟิล์มตัดแสงอัลตราไวโอเลต) เคลือบบนเลนส์ ปริซึม และกระจก เพื่อเพิ่มการส่งผ่านแสง การสะท้อนแสง หรือการเลือกสเปกตรัมของอุปกรณ์ออปติคัล
   • อุปกรณ์แสดงผล: เคลือบฟิล์มนำไฟฟ้าโปร่งใส (เช่น ITO, AZO), ฟิล์มป้องกันการสะท้อน และฟิล์มตรวจจับการสัมผัสบนพื้นผิวกระจกของจอ LCD, OLED และ Micro LED
   • อุปกรณ์เลเซอร์: ฟิล์มสะท้อนแสงสูงและป้องกันการสะท้อนเคลือบบนโพรงเรโซแนนซ์เลเซอร์และปลายด้านหน้าของไฟเบอร์ออปติกเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการส่งผ่านเลเซอร์
2. สาขาอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์
   • อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์: ขั้วไฟฟ้าโลหะ (เช่น Au, Al, Ti) และฟิล์มพาสซิเวชัน (เช่น SiO₂, Si₃N₄) เคลือบบนชิปและเวเฟอร์เพื่อให้แน่ใจว่ามีการนำไฟฟ้าและความเสถียรของอุปกรณ์
   • ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์: เคลือบชั้นฟิล์มฟังก์ชัน (เช่น ฟิล์มต้านทาน NiCr, ฟิล์มไดอิเล็กทริก Ta₂O₅) บนตัวเก็บประจุ ตัวต้านทาน และเซ็นเซอร์เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพของส่วนประกอบ
   • อุปกรณ์จัดเก็บข้อมูลแม่เหล็ก: เคลือบฟิล์มแม่เหล็ก (เช่น ฟิล์มโลหะผสม CoCrPt) บนหัวฮาร์ดดิสก์และเทปแม่เหล็กเพื่อเพิ่มความจุในการจัดเก็บและความเร็วในการอ่าน/เขียน
3. สาขาการบินและอวกาศและการป้องกันประเทศ
   • ส่วนประกอบการบินและอวกาศ: เคลือบชั้นฟิล์มทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน และทนต่อรังสียูวีสำหรับหน้าต่างเครื่องบินและเลนส์ออปติคัลของดาวเทียม เคลือบหัวรบมิสไซล์ด้วยฟิล์มป้องกันการสะท้อนอินฟราเรดและฟิล์มล่องหน
   • อุปกรณ์ป้องกันประเทศ: เคลือบชั้นฟิล์มออปติคัลประสิทธิภาพสูงสำหรับอาวุธเลเซอร์และเครื่องตรวจจับอินฟราเรดเพื่อเพิ่มความสามารถในการปรับตัวเข้ากับสภาพแวดล้อมและประสิทธิภาพการต่อสู้ของอุปกรณ์
4. สาขาอื่นๆ ระดับไฮเอนด์
   • อุปกรณ์ทางการแพทย์: เคลือบชั้นฟิล์มออปติคัลที่มีความเข้ากันได้ทางชีวภาพที่ดีและความต้านทานต่อการฆ่าเชื้อโรคสำหรับเลนส์เทียมและเลนส์เอนโดสโคป
   • การเคลือบตกแต่งและใช้งานได้: เคลือบหน้าปัดนาฬิกาและเครื่องประดับระดับไฮเอนด์ด้วยฟิล์มตกแต่งที่ทนต่อการสึกหรอและป้องกันการเกิดออกซิเดชัน (เช่น ฟิล์มทอง TiN, ฟิล์มดำ Cr); ฟิล์มป้องกันแข็ง (เช่น TiN และ TiAlN) เคลือบบนเครื่องมือตัดและแม่พิมพ์เพื่อยืดอายุการใช้งาน