| ปั๊มโมเลกุล | ปั๊มโมเลกุล 6 ชุด |
| ปั๊มสไลด์วาล์ว | 150L/S จำนวน 2 ชุด มี 4 ยี่ห้อให้เลือก |
| ปั๊มราก | รุ่น ZJP-1200 จำนวน 1 ชุด |
| ระบบการเคลือบ | อีบีม : รุ่น E240. ถ้วยใส่ตัวอย่างเส้นผ่านศูนย์กลาง 240 มม. (จุดฝังเข็ม 5+1 จุด), การหมุนเขย่าเบา ๆ, การหมุนช้าแบบลูกสูบอัตโนมัติ พร้อมการแสดงตำแหน่ง |
| แหล่งกำเนิดไอออน | แหล่งกำเนิดไอออน Hall หนึ่งชุด (รวมถึงแหล่งกำเนิดและแหล่งจ่ายไฟควบคุม) |
| เครื่องวัดความหนา | ควบคุมด้วยคริสตัล 310 ด้วยหัวควบคุมเดียว |
| บมจ | มิตซูบิชิ |
| แรงดันสุญญากาศ | จากบรรยากาศถึง 5*10⁻²Pa ≤ 6 นาที (ไม่มีโหลด แห้ง ห้องสะอาด) |
| ขนาดห้อง | φ2100*1650มม. (ขนาดอื่นๆ: φ1600*1600มม., 600*800มม. เป็นต้น) |
ติดต่อเราตลอดเวลา