| پمپ مولکولی | 6 مجموعه پمپ مولکولی |
| پمپ دریچه کشویی | 2 مجموعه از 150L / S، 4 مارک در دسترس برای انتخاب |
| پمپ ریشه | 1 مجموعه مدل ZJP-1200 |
| سیستم پوشش | E-Beam: مدل E240. کشش قطر 240mm (5 + 1 نقطه طب سوزنی) ، چرخش دوچرخه سواری، چرخش آهسته خودکار، با نمایش موقعیت |
| منبع یون | یک مجموعه از منابع یون هال (از جمله منبع و منبع برق کنترل) |
| متر ضخامت | 310 کنترل شده با کریستال با یک سر کنترل |
| PLC | میتسوبیشی |
| فشار خلاء | از اتمسفر تا 5*10−2Pa ≤ 6 دقیقه (بدون بار، اتاق خشک و تمیز) |
| اندازه اتاق | φ2100*1650mm (دیگر اندازه ها: φ1600*1600mm، 600*800mm و غیره) |
در هر زمان با ما تماس بگیرید