| Молекулярный насос | 6 комплектов молекулярного насоса |
| Насос для клапанов сдвига | 2 комплекта 150L/S, 4 марки на выбор |
| Корневой насос | 1 комплект модели ZJP-1200 |
| Система покрытия | E-Beam: E240 модель. 240 мм диаметром тигли (5 + 1 акупунктов), ходьба вращение, автоматическое поперечное медленное вращение, с отображением положения |
| Ионный источник | Один набор источника ионов Холла (включая источник и источник питания управления) |
| Толщинометр | 310 с кристаллическим управлением с одной управляющей головой |
| ПЛК | Мицубиши |
| Вакуумное давление | Из атмосферы до 5*10−2Pa ≤ 6 минут (без нагрузки, сухой, чистый зал) |
| Размер камеры | φ2100*1650 мм (другие размеры: φ1600*1600 мм, 600*800 мм и т.д.) |
СОТРАНИВАЙСЯ С НАМИ в любое время