| আণবিক পাম্প | আণবিক পাম্পের 6 সেট |
| স্লাইড ভালভ পাম্প | 150L/S এর 2 সেট, পছন্দের জন্য 4টি ব্র্যান্ড উপলব্ধ |
| রুট পাম্প | 1 সেট ZJP-1200 মডেল |
| আবরণ সিস্টেম | ই-বিম: E240 মডেল। 240 মিমি ব্যাস ক্রুসিবল (5+1 একুপয়েন্ট), জগ রোটেশন, স্বয়ংক্রিয় রিসিপ্রোকেটিং স্লো রোটেশন, অবস্থান প্রদর্শন সহ |
| আয়ন উৎস | হল আয়ন উৎসের এক সেট (উৎস এবং নিয়ন্ত্রণ পাওয়ার সাপ্লাই সহ) |
| পুরুত্ব মিটার | একটি একক নিয়ন্ত্রণ মাথা দিয়ে 310 ক্রিস্টাল-নিয়ন্ত্রিত |
| পিএলসি | মিতসুবিশি |
| ভ্যাকুয়াম চাপ | বায়ুমণ্ডল থেকে 5*10⁻²Pa ≤ 6 মিনিট (কোন লোড, শুকনো, পরিষ্কার ঘর) |
| চেম্বারের আকার | φ2100*1650mm (অন্যান্য আকার: φ1600*1600mm, 600*800mm ইত্যাদি) |
যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন