বাড়ি
>
পণ্য
>
অপটিক্যাল ইলেকট্রন বিম লেপ মেশিন
>
বহুমুখী অপটিক্যাল লেপ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য কমপ্যাক্ট হাই-প্রিসিশন ইলেকট্রন রেম বাষ্পীভবন লেপ মেশিন
|
বহুমুখী অপটিক্যাল লেপ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য কমপ্যাক্ট হাই-প্রিসিশন ইলেকট্রন রেম বাষ্পীভবন লেপ মেশিন
| উৎপত্তি স্থল | ঝাওকিং, গুয়াংডং |
| পরিচিতিমুলক নাম | Zhongda |
| সাক্ষ্যদান | CE |
পণ্যের বিবরণ
নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা:
সম্পূর্ণ অটো, সেমি অটো, ম্যানুয়াল
আবরণ প্রক্রিয়া:
ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন
ঘূর্ণন স্ট্যান্ড:
2 সেট
সার্ভার:
খোলামেলা
মাত্রা:
প্রায় 2000 মিমি x 1500 মিমি x 1800 মিমি
শীতল করার পদ্ধতি:
জল শীতল
লেপ স্বচ্ছতা:
উচ্চ
আবরণ বেধ:
সামঞ্জস্যযোগ্য
চেম্বার উপাদান:
স্টেইনলেস স্টিল বা কার্বন ইস্পাত
পাম্পটাইপ:
রোটারি ভ্যান পাম্প + ডিফিউশন পাম্প
ভোল্টেজ:
380V, 50Hz বা কাস্টম মেড
লেপ প্রযুক্তি:
বাষ্পীভবন
আবরণ তাপমাত্রা:
সামঞ্জস্যযোগ্য
বাষ্পীভবন বিদ্যুৎ সরবরাহ:
1 সেট
ঘূর্ণন সিস্টেম:
2 সেট
বিশেষভাবে তুলে ধরা:
ছোট ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীকরণ মেশিন
,অপটিক্যাল লেপ পিভিডি সরঞ্জাম
,ইলেকট্রন বিম কোটিং মেশিন
পেমেন্ট ও শিপিংয়ের শর্তাবলী
ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ
1
ডেলিভারি সময়
45-60 কাজের দিন
পণ্যের বিবরণ
ক্ষুদ্র ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন লেপ মেশিন
মূল প্রযুক্তিগত বিবরণী
| প্যারামিটার বিভাগ | বিস্তারিত |
|---|---|
| সাবস্ট্র্যাট ক্যাপাসিটি | সর্বাধিক আকারঃ ৬ ইঞ্চি (১৫০ মিমি) পর্যন্ত; ২.৪ "/৬" ওয়েফার/অপটিক্যাল উপাদানগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; সর্বনিম্ন আকারঃ ১০×১০ মিমি |
| ভ্যাকুয়াম পারফরম্যান্স | চূড়ান্ত ভ্যাকুয়ামঃ ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); পাম্পিং সময়ঃ মিনিট 5×10−6 Torr; ফুটো হারঃ 10−3 Pa*L/s (He ফুটো পরীক্ষা) |
| বাষ্পীভবন ব্যবস্থা | ইলেকট্রন রশ্মি শক্তিঃ 250W-10kW; ক্রাইগলস / পকেট সংখ্যাঃ 4-8; সমর্থন রড (সর্বোচ্চ φ4mm) & ক্রাইগলস (1-15cc) কাঁচামাল |
| প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ | Substrate তাপমাত্রাঃ RT-500°C (±1°C নির্ভুলতা); ঘূর্ণন গতিঃ 2-20 rpm; ফিল্ম বেধ মনিটরঃ QCM (0.01 nm/s রেজোলিউশন) |
| ফিল্মের গুণমান | অভিন্নতাঃ ±1%-±3%; আঠালোতাঃ ASTM D3359 4B মান পূরণ করে; জমাট বাঁধার হারঃ 0.1-10 nm/s |
| সামঞ্জস্য | উপাদানঃ Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (AR/AF/reflective films সমর্থন করে) |
| শারীরিক মাত্রা | পদচিহ্নঃ ১-৩.৩×৩.০ মিটার; উচ্চতাঃ ২.৫-৩.৫ মিটার; ওজনঃ <৮০০ কেজি (ডেস্কটপ/টেবিলটপ মডেল) |
| পাওয়ার সাপ্লাই | একক / তিন-ফেজঃ 220V / 380V, 50/60Hz; শক্তি খরচঃ 1.2kW-10kW |
মূল সুবিধা
কমপ্যাক্ট ও স্পেস সেভিং ডিজাইন
- ডেস্কটপ/মডুলার কাঠামো Korvus HEX-800 মান সঙ্গে, পরীক্ষাগার/গবেষণা সেটিংসের জন্য আদর্শ
- ইনার্ট বায়ুমণ্ডল প্রক্রিয়ার জন্য গ্লোভবক্সগুলির সাথে সহজ একীকরণ
- হালকা ওজন নির্মাণ এবং সরঞ্জাম মুক্ত মডিউল প্রতিস্থাপন ইনস্টলেশন এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচ হ্রাস
উচ্চ নির্ভুলতা ও নির্ভরযোগ্য লেপ
- ইলেকট্রন রশ্মি ফোকাস প্রযুক্তি অগ্নি প্রতিরোধী ধাতু (পিটি, ডাব্লু) এবং dielectric উপকরণ জমা করতে সক্ষম
- 0.01nm/s ফিল্ম অভিন্নতা ± 1% (ছোট আকারের সরঞ্জামগুলির জন্য শিল্পের শীর্ষস্থানীয়) সহ বেধ নিয়ন্ত্রণ
- হল আইওন সোর্স + আর প্লাজমা প্রাক-পরিচ্ছন্নতা ফিল্ম আঠালো (4B গ্রেড) এবং ঘনত্ব বৃদ্ধি করে
- অপটিক্যাল কম্পোনেন্ট পারফরম্যান্সের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে (উদাহরণস্বরূপ, >95% ট্রান্সমিট্যান্স সহ AR ফিল্ম)
বহুমুখী এবং নমনীয় প্রক্রিয়া অভিযোজন
- মাল্টি-ম্যাটেরিয়াল কো-ইভেপোরেশনের জন্য 4-8 টি ক্রুজিল / পকেট সমর্থন করে
- ধাতু, অক্সাইড এবং জৈব ফিল্মগুলির মধ্যে দ্রুত স্যুইচ করুন (এএফ / এআর / প্রতিফলক / প্রতিরক্ষামূলক লেপ)
- ২-৬ ইঞ্চি স্তর (ওয়েফার, লেন্স, অপটিক্যাল ফাইবার) এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ
- 2D/3D উপাদানগুলির জন্য কাস্টমাইজযোগ্য ফিক্সচার (ডোম/কনডজিন/প্লেট)
বুদ্ধিমান এবং ব্যবহারকারী-বান্ধব অপারেশন
- রিয়েল টাইমে প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ সহ পিএলসি + টাচস্ক্রিন কন্ট্রোল সিস্টেম
- দ্রুত সেটআপের জন্য প্রাক-প্রোগ্রামকৃত প্রক্রিয়া লাইব্রেরি
- এনার্জি-সঞ্চয়ী ক্রিওপাম্প / চৌম্বকীয় সাসপেনশন মোলিকুলার পাম্প ডিজাইন ঐতিহ্যগত সিস্টেমের তুলনায় 30% দ্বারা শক্তি খরচ হ্রাস করে
গবেষণা ও উন্নয়ন এবং ছোট-লট উৎপাদন জন্য খরচ-কার্যকর
- উচ্চ লক্ষ্যমাত্রা ব্যবহারের হার (> 70%) এবং ন্যূনতম উপাদান বর্জ্য সহ কম প্রাথমিক বিনিয়োগ
- প্রোটোটাইপিংয়ের জন্য ছোট-লট উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত (বছরে 10,000 টুকরা পর্যন্ত)
- মাল্টি-ফাংশনাল ইন্টিগ্রেশন (ই-রশ্মি বাষ্পীভবন + স্পটারিং ঐচ্ছিক) একাধিক ডিভাইসের প্রয়োজন দূর করে
মূল কাজ
সুনির্দিষ্ট গরম এবং বাষ্পীভবন
- উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন বিম লক্ষ্য উপাদান পৃষ্ঠ বোমা, গলিত বা বাষ্পীভূত অবস্থায় গরম
- ঘনীভূত শক্তি এবং উচ্চ তাপীয় দক্ষতা অগ্নি প্রতিরোধী উপকরণগুলি বাষ্পীভূত করতে সক্ষম করে (টংস্টেন, মলিবডেনাম, টাইটানিয়াম, SiO2, TiO2)
- গরম উত্স দ্বারা লক্ষ্য উপাদান দূষণ এড়ায়
- এক-স্তর এবং বহু-স্তরীয় ফিল্মগুলির অবিচ্ছিন্ন জমা দেওয়ার জন্য মাল্টি-টার্গেট উপাদান স্যুইচিং (2-6 টিগুলার অবস্থান) সমর্থন করে
সুনির্দিষ্ট ফিল্ম বেধ নিয়ন্ত্রণ
- রিয়েল-টাইম ডিপোজিশন রেট এবং বেধ পর্যবেক্ষণের জন্য অন্তর্নির্মিত কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল ফিল্ম বেধ মনিটর
- অতি পাতলা ফাংশনাল ফিল্মের জন্য ন্যানোমিটার স্তরের (±0.1nm) নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা
- পূর্বনির্ধারিত জমাট প্যারামিটার সহ প্রোগ্রামযোগ্য নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা (ইলেকট্রন বিম পাওয়ার, ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি, জমাট হার)
- স্বয়ংক্রিয় লেপ ব্যাচের ফিল্ম স্তর ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে
উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশের গ্যারান্টি
- যান্ত্রিক পাম্প + আণবিক পাম্প ভ্যাকুয়াম ইউনিট 10−4 ~ 10−6 Pa উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে গহ্বর হ্রাস করে
- গ্যাস অণুর ছড়িয়ে পড়া এবং বাষ্পীভূত কণার দূষণ হ্রাস করে
- ফিল্ম স্তর উচ্চ বিশুদ্ধতা, ভাল ঘনত্ব এবং শক্তিশালী আঠালো আছে নিশ্চিত
ছোট আকারের ওয়ার্কপিসের অভিযোজন
- বিশেষভাবে ঘূর্ণনশীল ওয়ার্কপিস টেবিল সহ ছোট ওয়ার্কপিসের জন্য ডিজাইন করা
- সাবস্ট্র্যাট জুড়ে লেপ স্তর অভিন্নতা উন্নত করে
- মিলিমিটার থেকে দশ মিলিমিটার পর্যন্ত স্তরগুলির জন্য উপযুক্ত (ওয়েফার, অপটিক্যাল লেন্স, চিপ, সেন্সর উপাদান)
- পৃষ্ঠ মাউন্ট, শীট, এবং ছোট অংশ আবরণ সমর্থন করে
প্রস্তাবিত পণ্য
যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন
+8613751829733
লান্তাং সাউথ রোড, দুয়ানঝু এলাকা, ঝাওকিং শহর, গুয়াংডং ৫২৬০৬০ চীন
