Lion King Vacuum Technology Co., Ltd
ইমেইল: sales@lionpvd.com টেলি: 86--18207198662
বাড়ি > পণ্য > অপটিক্যাল ইলেকট্রন বন্দুক লেপ মেশিন >
বহুমুখী অপটিক্যাল লেপ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য কমপ্যাক্ট হাই-প্রিসিশন ইলেকট্রন রেম বাষ্পীভবন লেপ মেশিন
  • বহুমুখী অপটিক্যাল লেপ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য কমপ্যাক্ট হাই-প্রিসিশন ইলেকট্রন রেম বাষ্পীভবন লেপ মেশিন

বহুমুখী অপটিক্যাল লেপ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য কমপ্যাক্ট হাই-প্রিসিশন ইলেকট্রন রেম বাষ্পীভবন লেপ মেশিন

উৎপত্তি স্থল গুয়াংডং
পরিচিতিমুলক নাম Lion King
সাক্ষ্যদান CE
পণ্যের বিবরণ
নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা:
সম্পূর্ণ অটো, সেমি অটো, ম্যানুয়াল
আবরণ প্রক্রিয়া:
ভ্যাকুয়াম বাষ্পীভবন
ঘূর্ণন স্ট্যান্ড:
2 সেট
সার্ভার:
খোলামেলা
মাত্রা:
প্রায় 2000 মিমি x 1500 মিমি x 1800 মিমি
শীতল করার পদ্ধতি:
জল শীতল
লেপ স্বচ্ছতা:
উচ্চ
আবরণ বেধ:
সামঞ্জস্যযোগ্য
চেম্বার উপাদান:
স্টেইনলেস স্টিল বা কার্বন ইস্পাত
পাম্পটাইপ:
রোটারি ভ্যান পাম্প + ডিফিউশন পাম্প
ভোল্টেজ:
380V, 50Hz বা কাস্টম মেড
লেপ প্রযুক্তি:
বাষ্পীভবন
আবরণ তাপমাত্রা:
সামঞ্জস্যযোগ্য
বাষ্পীভবন বিদ্যুৎ সরবরাহ:
1 সেট
ঘূর্ণন সিস্টেম:
2 সেট
বিশেষভাবে তুলে ধরা: 

ছোট ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীকরণ মেশিন

,

অপটিক্যাল লেপ পিভিডি সরঞ্জাম

,

ইলেকট্রন বন্দুক লেপ মেশিন

পেমেন্ট ও শিপিংয়ের শর্তাবলী
ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ
1
ডেলিভারি সময়
45-60 কাজের দিন
পণ্যের বিবরণ
ক্ষুদ্র ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন লেপ মেশিন
মূল প্রযুক্তিগত বিবরণী
প্যারামিটার বিভাগ বিস্তারিত
সাবস্ট্র্যাট ক্যাপাসিটি সর্বাধিক আকারঃ ৬ ইঞ্চি (১৫০ মিমি) পর্যন্ত; ২.৪ "/৬" ওয়েফার/অপটিক্যাল উপাদানগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; সর্বনিম্ন আকারঃ ১০×১০ মিমি
ভ্যাকুয়াম পারফরম্যান্স চূড়ান্ত ভ্যাকুয়ামঃ ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); পাম্পিং সময়ঃ মিনিট 5×10−6 Torr; ফুটো হারঃ 10−3 Pa*L/s (He ফুটো পরীক্ষা)
বাষ্পীভবন ব্যবস্থা ইলেকট্রন রশ্মি শক্তিঃ 250W-10kW; ক্রাইগলস / পকেট সংখ্যাঃ 4-8; সমর্থন রড (সর্বোচ্চ φ4mm) & ক্রাইগলস (1-15cc) কাঁচামাল
প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ Substrate তাপমাত্রাঃ RT-500°C (±1°C নির্ভুলতা); ঘূর্ণন গতিঃ 2-20 rpm; ফিল্ম বেধ মনিটরঃ QCM (0.01 nm/s রেজোলিউশন)
ফিল্মের গুণমান অভিন্নতাঃ ±1%-±3%; আঠালোতাঃ ASTM D3359 4B মান পূরণ করে; জমাট বাঁধার হারঃ 0.1-10 nm/s
সামঞ্জস্য উপাদানঃ Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (AR/AF/reflective films সমর্থন করে)
শারীরিক মাত্রা পদচিহ্নঃ ১-৩.৩×৩.০ মিটার; উচ্চতাঃ ২.৫-৩.৫ মিটার; ওজনঃ <৮০০ কেজি (ডেস্কটপ/টেবিলটপ মডেল)
পাওয়ার সাপ্লাই একক / তিন-ফেজঃ 220V / 380V, 50/60Hz; শক্তি খরচঃ 1.2kW-10kW
মূল সুবিধা
কমপ্যাক্ট ও স্পেস সেভিং ডিজাইন
  • ডেস্কটপ/মডুলার কাঠামো Korvus HEX-800 মান সঙ্গে, পরীক্ষাগার/গবেষণা সেটিংসের জন্য আদর্শ
  • ইনার্ট বায়ুমণ্ডল প্রক্রিয়ার জন্য গ্লোভবক্সগুলির সাথে সহজ একীকরণ
  • হালকা ওজন নির্মাণ এবং সরঞ্জাম মুক্ত মডিউল প্রতিস্থাপন ইনস্টলেশন এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচ হ্রাস
উচ্চ নির্ভুলতা ও নির্ভরযোগ্য লেপ
  • ইলেকট্রন রশ্মি ফোকাস প্রযুক্তি অগ্নি প্রতিরোধী ধাতু (পিটি, ডাব্লু) এবং dielectric উপকরণ জমা করতে সক্ষম
  • 0.01nm/s ফিল্ম অভিন্নতা ± 1% (ছোট আকারের সরঞ্জামগুলির জন্য শিল্পের শীর্ষস্থানীয়) সহ বেধ নিয়ন্ত্রণ
  • হল আইওন সোর্স + আর প্লাজমা প্রাক-পরিচ্ছন্নতা ফিল্ম আঠালো (4B গ্রেড) এবং ঘনত্ব বৃদ্ধি করে
  • অপটিক্যাল কম্পোনেন্ট পারফরম্যান্সের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে (উদাহরণস্বরূপ, >95% ট্রান্সমিট্যান্স সহ AR ফিল্ম)
বহুমুখী এবং নমনীয় প্রক্রিয়া অভিযোজন
  • মাল্টি-ম্যাটেরিয়াল কো-ইভেপোরেশনের জন্য 4-8 টি ক্রুজিল / পকেট সমর্থন করে
  • ধাতু, অক্সাইড এবং জৈব ফিল্মগুলির মধ্যে দ্রুত স্যুইচ করুন (এএফ / এআর / প্রতিফলক / প্রতিরক্ষামূলক লেপ)
  • ২-৬ ইঞ্চি স্তর (ওয়েফার, লেন্স, অপটিক্যাল ফাইবার) এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ
  • 2D/3D উপাদানগুলির জন্য কাস্টমাইজযোগ্য ফিক্সচার (ডোম/কনডজিন/প্লেট)
বুদ্ধিমান এবং ব্যবহারকারী-বান্ধব অপারেশন
  • রিয়েল টাইমে প্রক্রিয়া পর্যবেক্ষণ সহ পিএলসি + টাচস্ক্রিন কন্ট্রোল সিস্টেম
  • দ্রুত সেটআপের জন্য প্রাক-প্রোগ্রামকৃত প্রক্রিয়া লাইব্রেরি
  • এনার্জি-সঞ্চয়ী ক্রিওপাম্প / চৌম্বকীয় সাসপেনশন মোলিকুলার পাম্প ডিজাইন ঐতিহ্যগত সিস্টেমের তুলনায় 30% দ্বারা শক্তি খরচ হ্রাস করে
গবেষণা ও উন্নয়ন এবং ছোট-লট উৎপাদন জন্য খরচ-কার্যকর
  • উচ্চ লক্ষ্যমাত্রা ব্যবহারের হার (> 70%) এবং ন্যূনতম উপাদান বর্জ্য সহ কম প্রাথমিক বিনিয়োগ
  • প্রোটোটাইপিংয়ের জন্য ছোট-লট উত্পাদনের জন্য উপযুক্ত (বছরে 10,000 টুকরা পর্যন্ত)
  • মাল্টি-ফাংশনাল ইন্টিগ্রেশন (ই-রশ্মি বাষ্পীভবন + স্পটারিং ঐচ্ছিক) একাধিক ডিভাইসের প্রয়োজন দূর করে
মূল কাজ
সুনির্দিষ্ট গরম এবং বাষ্পীভবন
  • উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন বিম লক্ষ্য উপাদান পৃষ্ঠ বোমা, গলিত বা বাষ্পীভূত অবস্থায় গরম
  • ঘনীভূত শক্তি এবং উচ্চ তাপীয় দক্ষতা অগ্নি প্রতিরোধী উপকরণগুলি বাষ্পীভূত করতে সক্ষম করে (টংস্টেন, মলিবডেনাম, টাইটানিয়াম, SiO2, TiO2)
  • গরম উত্স দ্বারা লক্ষ্য উপাদান দূষণ এড়ায়
  • এক-স্তর এবং বহু-স্তরীয় ফিল্মগুলির অবিচ্ছিন্ন জমা দেওয়ার জন্য মাল্টি-টার্গেট উপাদান স্যুইচিং (2-6 টিগুলার অবস্থান) সমর্থন করে
সুনির্দিষ্ট ফিল্ম বেধ নিয়ন্ত্রণ
  • রিয়েল-টাইম ডিপোজিশন রেট এবং বেধ পর্যবেক্ষণের জন্য অন্তর্নির্মিত কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল ফিল্ম বেধ মনিটর
  • অতি পাতলা ফাংশনাল ফিল্মের জন্য ন্যানোমিটার স্তরের (±0.1nm) নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা
  • পূর্বনির্ধারিত জমাট প্যারামিটার সহ প্রোগ্রামযোগ্য নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা (ইলেকট্রন বিম পাওয়ার, ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি, জমাট হার)
  • স্বয়ংক্রিয় লেপ ব্যাচের ফিল্ম স্তর ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে
উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশের গ্যারান্টি
  • যান্ত্রিক পাম্প + আণবিক পাম্প ভ্যাকুয়াম ইউনিট 10−4 ~ 10−6 Pa উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে গহ্বর হ্রাস করে
  • গ্যাস অণুর ছড়িয়ে পড়া এবং বাষ্পীভূত কণার দূষণ হ্রাস করে
  • ফিল্ম স্তর উচ্চ বিশুদ্ধতা, ভাল ঘনত্ব এবং শক্তিশালী আঠালো আছে নিশ্চিত
ছোট আকারের ওয়ার্কপিসের অভিযোজন
  • বিশেষভাবে ঘূর্ণনশীল ওয়ার্কপিস টেবিল সহ ছোট ওয়ার্কপিসের জন্য ডিজাইন করা
  • সাবস্ট্র্যাট জুড়ে লেপ স্তর অভিন্নতা উন্নত করে
  • মিলিমিটার থেকে দশ মিলিমিটার পর্যন্ত স্তরগুলির জন্য উপযুক্ত (ওয়েফার, অপটিক্যাল লেন্স, চিপ, সেন্সর উপাদান)
  • পৃষ্ঠ মাউন্ট, শীট, এবং ছোট অংশ আবরণ সমর্থন করে

প্রস্তাবিত পণ্য

যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন

18207198662
লান্তাং সাউথ রোড, দুয়ানঝু এলাকা, ঝাওকিং শহর, গুয়াংডং ৫২৬০৬০ চীন
আপনার তদন্ত সরাসরি আমাদের কাছে প্রেরণ করুন