| প্যারামিটার বিভাগ | বিস্তারিত |
|---|---|
| সাবস্ট্র্যাট ক্যাপাসিটি | সর্বাধিক আকারঃ ৬ ইঞ্চি (১৫০ মিমি) পর্যন্ত; ২.৪ "/৬" ওয়েফার/অপটিক্যাল উপাদানগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; সর্বনিম্ন আকারঃ ১০×১০ মিমি |
| ভ্যাকুয়াম পারফরম্যান্স | চূড়ান্ত ভ্যাকুয়ামঃ ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); পাম্পিং সময়ঃ মিনিট 5×10−6 Torr; ফুটো হারঃ 10−3 Pa*L/s (He ফুটো পরীক্ষা) |
| বাষ্পীভবন ব্যবস্থা | ইলেকট্রন রশ্মি শক্তিঃ 250W-10kW; ক্রাইগলস / পকেট সংখ্যাঃ 4-8; সমর্থন রড (সর্বোচ্চ φ4mm) & ক্রাইগলস (1-15cc) কাঁচামাল |
| প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ | Substrate তাপমাত্রাঃ RT-500°C (±1°C নির্ভুলতা); ঘূর্ণন গতিঃ 2-20 rpm; ফিল্ম বেধ মনিটরঃ QCM (0.01 nm/s রেজোলিউশন) |
| ফিল্মের গুণমান | অভিন্নতাঃ ±1%-±3%; আঠালোতাঃ ASTM D3359 4B মান পূরণ করে; জমাট বাঁধার হারঃ 0.1-10 nm/s |
| সামঞ্জস্য | উপাদানঃ Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (AR/AF/reflective films সমর্থন করে) |
| শারীরিক মাত্রা | পদচিহ্নঃ ১-৩.৩×৩.০ মিটার; উচ্চতাঃ ২.৫-৩.৫ মিটার; ওজনঃ <৮০০ কেজি (ডেস্কটপ/টেবিলটপ মডেল) |
| পাওয়ার সাপ্লাই | একক / তিন-ফেজঃ 220V / 380V, 50/60Hz; শক্তি খরচঃ 1.2kW-10kW |
যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন