ماشین پوشش تبخیر پرتو الکترون با دقت بالا برای کاربردهای پوشش نوری متنوع
دستگاه تبخیر پرتو الکترونی کوچک
,تجهیزات PVD پوشش اپتیکی
,ماشین پوشش پرتو الکترون
| دسته بندی پارامتر | جزئیات |
|---|---|
| ظرفیت سوبسترات | حداکثر اندازه: تا 6 اینچ (150 میلی متر) ؛ سازگار با 2 "/4"/6" وافرهای / اجزای نوری؛ حداقل اندازه: 10 × 10mm |
| عملکرد خلاء | خلاء نهایی: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa) ؛ زمان پمپاژ: دقیقه تا 5×10−6 Torr؛ نرخ نشت: 10−3 Pa*L/s (آزمایش نشت) |
| سیستم تبخیر | قدرت پرتو الکترون: 250W-10kW؛ تعداد مهره ها/کیسه ها: 4-8; میله پشتیبانی (حداکثر φ4mm) و مواد اولیه مهره (1-15cc) |
| کنترل فرآیند | دمای بستر: RT-500°C (دقت ±1°C) سرعت چرخش: 2-20 rpm مانیتور ضخامت فیلم: QCM (0.01 nm/s) |
| کیفیت فیلم | یکسانی: ±1%-±3%؛ چسبندگی: مطابق با استاندارد ASTM D3359 4B؛ سرعت رسوب: 0.1-10 nm/s |
| سازگاری | مواد: Au، Ag، Pt، W، SiO2، TiO2، MgF2، YF3، ZrO2 |
| ابعاد فیزیکی | اثر پا: 1-3-3 × 3.0m؛ ارتفاع: 2.5 - 3.5m؛ وزن: <800kg (مدل های دسکتاپ / میز) |
| منبع برق | واحد/سه فاز: 220V/380V، 50/60Hz؛ مصرف برق: 1.2kW-10kW |
- ساختار میز کار / ماژولار با استاندارد Korvus HEX-800 ، ایده آل برای محیط آزمایشگاه / تحقیق
- ادغام آسان با جعبه دستکش برای فرآیندهای اتمسفر بی اثر
- ساخت سبک و جایگزینی ماژول بدون ابزار هزینه های نصب و نگهداری را کاهش می دهد
- تکنولوژی تمرکز پرتو الکترون امکان رسوب فلزات آتش شکن (Pt، W) و مواد دی الکتریک را فراهم می کند
- 0.01nm/s کنترل ضخامت با یکنواخت فیلم ± 1٪ (پیشگام صنعت برای تجهیزات کوچک)
- منبع یون هال + پیش تمیز کردن پلاسما Ar چسبندگی فیلم (درجه 4B) و تراکم را افزایش می دهد
- اجزای نوری را که نیاز به عملکرد دارند (به عنوان مثال، فیلم های AR با انتقال بیش از 95٪)
- پشتیبانی از 4-8 مهتاب/کیف برای چند ماده ای هم تبخیر
- تغییر سریع بین فلز، اکسید و فیلم های آلی (AF / AR / پوشش های بازتاب دهنده / محافظ)
- سازگار با زیربناهای 2 تا 6 اینچ (وفر، لنز، فیبر نوری)
- لوازم تخصیصی (گنبدی/knudzin/plate) برای قطعات 2D/3D
- سیستم کنترل PLC + صفحه لمسی با نظارت بر فرآیند در زمان واقعی
- کتابخانه های فرآیند پیش برنامه ریزی شده برای تنظیم سریع
- طراحی پمپ مولکولی کریوپمپ / تعلیق مغناطیسی با بهره وری انرژی مصرف برق را در مقایسه با سیستم های سنتی 30٪ کاهش می دهد
- سرمایه گذاری اولیه کم با نرخ استفاده هدف بالا (>70٪) و حداقل اتلاف مواد
- مناسب برای ساخت نمونه های اولیه برای تولید دسته های کوچک (تا 10،000 قطعه در سال)
- یکپارچه سازی چند عملکردی (تبخیر شعاع الکتریکی + اسپتر کردن اختیاری) نیاز به دستگاه های متعدد را از بین می برد
- پرتوهای الکترونی با انرژی بالا، سطوح مواد هدف را بمباران می کنند، به حالت ذوب یا تبخیر گرم می کنند
- انرژی متمرکز و بهره وری حرارتی بالا باعث تبخیر مواد آتش گیر (تولفستم، مولیبدنوم، تیتانیوم، SiO2، TiO2) می شود
- جلوگیری از آلودگی مواد مورد نظر توسط منبع گرمایش
- پشتیبانی از تغییر مواد چند هدف (2-6 موقعیت خروجی) برای سپرده گذاری مداوم فیلم های تک لایه و چند لایه
- مانیتور ضخامت فیلم کریستال کوارتز برای نظارت بر سرعت رسوب و ضخامت در زمان واقعی
- دقت کنترل به سطح نانومتر (± 0.1nm) برای فیلم های کاربردی فوق نازک
- سیستم کنترل قابل برنامه ریزی با پارامترهای پیش تعیین شده رسوب (قدرت پرتو الکترون، درجه خلاء، سرعت رسوب)
- پوشش خودکار ثبات لایه فیلم دسته را تضمین می کند
- پمپ مکانیکی + واحد خلاء پمپ مولکولی حفره را به محیط خلاء بالا 10-4 ~ 10-6 Pa کاهش می دهد
- پراکندگی مولکول گاز و آلودگی ذرات تبخیر را کاهش می دهد
- تضمین می کند که لایه های فیلم دارای خلوص بالا، تراکم خوب و چسبندگی قوی باشند
- برای قطعات کوچک با میز چرخنده قطعات
- بهبود یکسانی لایه پوشش در سراسر زیربناها
- مناسب برای سبسترها از میلی متر تا ده ها میلی متر (ویرها، لنزهای نوری، تراشه ها، اجزای سنسور)
- پشتیبانی از پوشش سطح، ورق و قطعات کوچک
ماشین پوشش نوری خلاء با کنترل کاملا اتوماتیک و تکنولوژی پوشش E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
دستگاه پوشش پرتو الکترونی نوری با نظارت دقیق، اندازه اتاق سفارشی و مواد پوشش خالص
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
ماشین آلات پوشش لنزهای نوری پوشش قطب الکترون پوشش خلاء برای پوشش لنزهای فلزی
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
تجهیزات پوشش نوری برای ماشین پوشش pvd
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
