| اجزا | مشخصات |
|---|---|
| اتاق خلاء | φ800×H900mm |
| روش گرم کردن | بالا، سمت، پایین (اختیاری) |
| سیستم خلاء بالا | پمپ مولکولی، پمپ پخش، پمپ کریوجنیک (اختیاری) |
| سیستم خلاء کم | پمپ خشک، پمپ مستقیم، پمپ ریشه، پمپ چرخدار (اختیاری) |
| سیستم کنترل | کنترل کاملا اتوماتیک صفحه لمسی کامپیوتر صنعتی |
| مانیتور ضخامت فیلم کریستالی | اينفيكون XTC-3، SQC310، شانگهاي MXC-3B |
| منبع یون | منبع یون RF، منبع یون هال، منبع یون کافمن، منبع یون کاتود توخالی (اختیاری) |
| چرخش قطعه کار | نگهدارنده پارامبر، نگهدارنده رول (اختیاری) |
| تفنگ الکتروني | تک، دو، چند موقعیت (اختیاری) |
| واحد کریوجنیک | چند تامین کننده (اختیاری) |
| سیستم سنجش | سنسور چرخشی تک، 6 نقطه و 12 نقطه ای (اختیاری) |
| فشار نهایی | ≤8.0×10−5Pa (اتاق خلاء تمیز در دمای عادی، بدون نمونه و مواد پوشش) |
| سیستم مانع بخار | بلوک واحد، بلوک دو موضعی و بلوک چند موضعی (اختیاری) |
| حفظ فشار خلاء | دریچه بالا را ببندید، درجه خلاء ≤9×10−2Pa پس از 1 ساعت |
| منبع برق مورد نیاز | برق سه فاز، 380 ولت، 50 هرتز |
| نیاز به فشار آب | 0.3-0.4Mpa |
| وزن تجهیزات | 3T-4T |
| نیاز به فشار هوا | 0.6-0.8Mpa |
در هر زمان با ما تماس بگیرید