| Składnik | Specyfikacja |
|---|---|
| Komora próżniowa | φ800 × H900 mm |
| Metoda podgrzewania | Górna, boczna, dolna (nieobowiązkowa) |
| System wysokiej próżni | Pompa molekularna, pompa dyfuzyjna, pompa kriogeniczna (nieobowiązkowa) |
| System niskiej próżni | Pompy suche, bezpośrednie, korzeniowe, obrotowe (nieobowiązkowe) |
| System sterowania | Komputer przemysłowy z ekranem dotykowym w pełni automatyczny |
| Monitor grubości folii kryształowej | Inficon XTC-3, SQC310, Shanghai MXC-3B |
| Źródło jonowe | Źródło jonów RF, Źródło jonów Hall, Źródło jonów Kaufmana, Źródło jonów katodowych (nieobowiązkowe) |
| Obrót obróbki | Podkładki do parasoli, podkładki do rolków (nieobowiązkowe) |
| Elektrowa broń | Jednorazowe, podwójne, wielo-pozycyjne (nieobowiązkowe) |
| Jednostka kriogeniczna | Wielu dostawców (nieobowiązkowe) |
| System sondy | Jednorazowy, 6-punktowy i 12-punktowy czujnik obrotowy (nieobowiązkowy) |
| Największa presja | ≤ 8,0×10−5Pa (czysta komora próżniowa w temperaturze normalnej, wolna od materiału próbkowego i powłoki) |
| System bariery pary | Blok jednostkowy, blok dwupozycyjny i blok rotacyjny wielopozycyjny (nieobowiązkowe) |
| Utrzymanie ciśnienia próżni | Zamknij zawór wysoki, stopień próżni ≤9×10−2Pa po 1 godzinie |
| Wymagane zasilanie | Elektryczność trójfazowa, 380V, 50HZ |
| Potrzebne ciśnienie wody | 0.3-0.4Mpa |
| Waga sprzętu | 3T-4T |
| Wymagane ciśnienie powietrza | 00,6-0,8Mpa |
Skontaktuj się z nami w każdej chwili