| مكون | المواصفات |
|---|---|
| غرفة الفراغ | φ800 × H900mm |
| طريقة التسخين | أعلى، جانب، أسفل (اختياري) |
| نظام الفراغ العالي | مضخة جزيئية، مضخة انتشار، مضخة كريوجينية (اختياري) |
| نظام الفراغ المنخفض | مضخة جافة، مضخة مباشرة، مضخة جذور، مضخة فان الدوارة (اختياري) |
| نظام التحكم | جهاز كمبيوتر صناعي الشاشة اللمسية التحكم الآلي بالكامل |
| مراقبة سمك الفيلم البلور | إنفيكون XTC-3، SQC310، شنغهاي MXC-3B |
| مصدر الأيونات | مصدر الأيونات الراديوية، مصدر أيونات هول، مصدر أيونات كافمان، مصدر أيونات الكاثود المجوف (اختياري) |
| تناوب القطعة | حامل قطعة العمل المظلة، حامل قطعة العمل المتحركة (اختياري) |
| سلاح الإلكترون | واحد، مزدوج، متعددة المواقف (اختياري) |
| وحدة التبريد | العديد من الموردين (اختياري) |
| نظام المسبار | أجهزة استشعار دوارة واحدة و 6 نقاط و 12 نقطة (اختياري) |
| الضغط النهائي | ≤8.0×10−5Pa (غرفة فراغ نظيفة عند درجة حرارة طبيعية، خالية من العينة ومواد الطلاء) |
| نظام حاجز البخار | كتلة الوحدة، كتلة وضعين وكتلة دوارة متعددة المواقف (اختياري) |
| الحفاظ على ضغط الفراغ | إغلاق الصمام العالي، درجة الفراغ ≤9 × 10−2Pa بعد ساعة واحدة |
| إمدادات الطاقة المطلوبة | الكهرباء ثلاثية المراحل، 380 فولت، 50 هرتز |
| ضغط المياه مطلوب | 0.3-0.4Mpa |
| وزن المعدات | 3T-4T |
| ضغط الهواء مطلوب | 0.6-0.8Mpa |
اتصل بنا في أي وقت