<
>
آلة طلاء تبخير شعاع الإلكترونات الدقيقة عالية للطبقات متعددة الطرق للطلاء البصري
آلة طلاء تبخير شعاع الإلكترونات الدقيقة عالية للطبقات متعددة الطرق للطلاء البصري
مكان المنشأ:تشاوتشينغ، قوانغدونغ
اسم العلامة التجارية:Zhongda
شهادة:CE
الحد الأدنى لكمية الطلب:1
موعد التسليم:45-60 أيام العمل
تفاصيل المنتج
إبراز:
آلة تبخير شعاع الإلكترونات الصغيرة
,معدات PVD للطلاء البصري
,آلة طلاء شعاع الإلكترون
Control System:
أوتوماتيكي بالكامل، نصف أوتوماتيكي، يدوي
Coating Process:
التبخر الفراغي
Rotation Stand:
2 مجموعات
Server:
openresty
Dimensions:
تقريبا. 2000 مم × 1500 مم × 1800 مم
Cooling Method:
تبريد المياه
Coating Transparency:
عالي
Coating Thickness:
قابل للتعديل
Chamber Material:
الفولاذ المقاوم للصدأ أو الفولاذ الكربوني
Pumptype:
مضخة دوارة دوارة + مضخة انتشار
Voltage:
380 فولت، 50 هرتز أو حسب الطلب
Coating Technology:
تبخر
Coating Temperature:
قابل للتعديل
Evaporation Power Supply:
1 مجموعة
Rotation System:
2 مجموعات
وصف المنتج
مواصفات مفصلة وخصائص
أجهزة طلاء البخاريات ذات الأشعة الإلكترونية الصغيرة
المواصفات التقنية الأساسية
| فئة المعلمات | تفاصيل |
|---|---|
| قدرة الهيكل الرئيسي | الحجم الأقصى: يصل إلى 6 بوصات (150 مم) ؛ متوافق مع رقائق 2 "/4" / 6" / المكونات البصرية ؛ الحجم الأدنى: 10 × 10 مم |
| أداء الفراغ | الفراغ النهائي: ≤ 1 × 10−6 تور (1.3 × 10−4 با) ؛ وقت الضخ: دقائق إلى 5 × 10−6 تور؛ معدل التسرب: 10−3 با* لتر / ثانية (اختبار التسرب) |
| نظام التبخر | قوة شعاع الإلكترون: 250W-10kW ؛ عدد الخرسانة / الجيبات: 4-8 ؛ العصا الداعمة (max φ4mm) ومواد خام الخرسانة (1-15cc) |
| التحكم في العملية | درجة حرارة الركيزة: RT-500 °C (دقة ± 1 °C) ؛ سرعة الدوران: 2-20 دورة في الدقيقة؛ جهاز مراقبة سمك الفيلم: QCM (0.01 nm/s) |
| جودة الفيلم | توحيد: ± 1٪ - ± 3٪ ؛ الالتصاق: يلبي معيار ASTM D3359 4B ؛ معدل الترسب: 0.1-10 نانومتر / ثانية |
| التوافق | المواد: Au، Ag، Pt، W، SiO2، TiO2، MgF2، YF3، ZrO2 (دعم AR/AF/أفلام عاكسة) |
| الأبعاد المادية | البصمة: 1-3 × 3.0m ؛ الطول: 2.5 - 3.5m ؛ الوزن: < 800kg (نماذج سطح المكتب / سطح الطاولة) |
| إمدادات الطاقة | واحد / ثلاثي المراحل: 220V / 380V ، 50/60Hz ؛ استهلاك الطاقة: 1.2kW-10kW |
المزايا الرئيسية
التصميم المدمج والذي يوفر المساحة
- هيكل سطح المكتب / وحدات مع معيار كورفوس HEX-800 ، مثالية لتحديد المختبرات / البحوث
- التكامل السهل مع صناديق القفازات لعمليات الغلاف الجوي الخامل
- البناء الخفيف واستبدال الوحدة الخالية من الأدوات يقلل من تكاليف التثبيت والصيانة
طلاء دقيق وموثوق به
- تكنولوجيا التركيز على شعاع الإلكترونات تمكن ترسب المعادن الصلبة (Pt ، W) والمواد الكهربائية
- 0.01nm/s التحكم في سمك الفيلم مع توحيد الفيلم ± 1% (الرائدة في الصناعة للمعدات الصغيرة)
- مصدر أيون هول + Ar البلازما التنظيف المسبق يعزز صلابة الفيلم (درجة 4B) والكثافة
- تلبي متطلبات أداء المكونات البصرية (على سبيل المثال، أفلام AR مع> 95٪ من النقل)
تكييف العمليات المتعددة الاستخدامات والمرنة
- يدعم 4-8 صنبور / جيوب للتبخر المشترك متعدد المواد
- التبديل السريع بين الألواح المعدنية والأكسيدية والعضوية (AF / AR / الطلاء العاكس / الوقائي)
- متوافق مع أجزاء 2-6 بوصة (أقراص، عدسات، ألياف بصرية)
- مصابيح قابلة للتخصيص (قبة/knudzin/لوحة) لمكونات 2D/3D
تشغيل ذكي وسهل الاستخدام
- نظام تحكم PLC + الشاشة اللمسية مع مراقبة العملية في الوقت الحقيقي
- مكتبات العمليات المبرمجة مسبقاً لتنظيم سريع
- إن تصميم مضخة الكريوم / مضخة جزيئية معلقة مغناطيسية فعالة الطاقة يقلل من استهلاك الطاقة بنسبة 30٪ مقارنة بالنظم التقليدية
فعالية من حيث التكلفة للبحث والتطوير والإنتاج في مجموعات صغيرة
- انخفاض الاستثمار الأولي مع ارتفاع معدل الاستخدام المستهدف (> 70٪) والحد الأدنى من نفايات المواد
- مناسبة لتصنيع النماذج الأولية إلى التصنيع في مجموعات صغيرة (حتى 10000 قطعة / سنة)
- التكامل متعدد الوظائف (تبخير شعاع الكتروني + التبخير الاختياري) يلغي الحاجة إلى أجهزة متعددة
المهام الأساسية
تسخين ودقة والتبخر
- أشعة الكترونات عالية الطاقة تطلق النار على سطح المادة المستهدفة، وتسخينها إلى حالة ذابلة أو تبخر
- طاقة مركزة وكفاءة حرارية عالية تمكن تبخير المواد الحارقة (التونغستن، الموليبدينوم، التيتانيوم، SiO2، TiO2)
- يتجنب تلوث المواد المستهدفة من مصدر التدفئة
- يدعم تبديل المواد متعددة الأهداف (وضعيات التخمر 2-6) لإيداع الأفلام من طبقة واحدة ومتعددة الطبقات بشكل مستمر
تحكم دقيق في سمك الفيلم
- جهاز مراقبة سمك فيلم الكريستال الكوارتز المدمج لمراقبة معدل التركيب والسمك في الوقت الحقيقي
- دقة التحكم إلى مستوى نانومتر (± 0.1nm) للأفلام الوظيفية الرقيقة للغاية
- نظام تحكم قابل للبرمجة مع معايير ترسب مسبقة (قوة شعاع الإلكترونات، درجة الفراغ، معدل ترسب)
- الطلاء الآلي يضمن اتساق طبقة الفيلم
ضمان بيئة فراغ عالية
- المضخة الميكانيكية + وحدة فراغ المضخة الجزيئية تقلل من التجويف إلى 10−4 ~ 10−6 Pa بيئة فراغ عالية
- يقلل من تشتيت جزيئات الغاز وتلوث الجسيمات المتبخرة
- يضمن طبقات الفيلم وجود نقاء عالية، كثافة جيدة والتماسك القوي
تكييف القطعة الصغيرة
- مصممة خصيصًا لقطع العمل الصغيرة مع طاولة قطعة العمل الدوارة
- يحسن من توحيد طبقة الطلاء عبر الركائز
- مناسبة للأسطوانات التي تتراوح من مليمتر إلى عشرات المليمترات (الصفائح، العدسات البصرية، الشرائح، مكونات أجهزة الاستشعار)
- يدعم طلاء سطح التثبيت ، ورقة ، وأجزاء صغيرة
رسالة للرد السريع
المنتجات ذات الصلة