Guangdong Zhongda Vacuum Equipment Co., Ltd.
+8613751829733

آلة طلاء تبخير شعاع الإلكترونات الدقيقة عالية للطبقات متعددة الطرق للطلاء البصري

آلة طلاء تبخير شعاع الإلكترونات الدقيقة عالية للطبقات متعددة الطرق للطلاء البصري
مكان المنشأ:تشاوتشينغ، قوانغدونغ
اسم العلامة التجارية:Zhongda
شهادة:CE
الحد الأدنى لكمية الطلب:1
موعد التسليم:45-60 أيام العمل
تفاصيل المنتج
إبراز:

آلة تبخير شعاع الإلكترونات الصغيرة

,

معدات PVD للطلاء البصري

,

آلة طلاء شعاع الإلكترون

Control System: أوتوماتيكي بالكامل، نصف أوتوماتيكي، يدوي
Coating Process: التبخر الفراغي
Rotation Stand: 2 مجموعات
Server: openresty
Dimensions: تقريبا. 2000 مم × 1500 مم × 1800 مم
Cooling Method: تبريد المياه
Coating Transparency: عالي
Coating Thickness: قابل للتعديل
Chamber Material: الفولاذ المقاوم للصدأ أو الفولاذ الكربوني
Pumptype: مضخة دوارة دوارة + مضخة انتشار
Voltage: 380 فولت، 50 هرتز أو حسب الطلب
Coating Technology: تبخر
Coating Temperature: قابل للتعديل
Evaporation Power Supply: 1 مجموعة
Rotation System: 2 مجموعات
وصف المنتج
مواصفات مفصلة وخصائص
أجهزة طلاء البخاريات ذات الأشعة الإلكترونية الصغيرة
المواصفات التقنية الأساسية
فئة المعلمات تفاصيل
قدرة الهيكل الرئيسي الحجم الأقصى: يصل إلى 6 بوصات (150 مم) ؛ متوافق مع رقائق 2 "/4" / 6" / المكونات البصرية ؛ الحجم الأدنى: 10 × 10 مم
أداء الفراغ الفراغ النهائي: ≤ 1 × 10−6 تور (1.3 × 10−4 با) ؛ وقت الضخ: دقائق إلى 5 × 10−6 تور؛ معدل التسرب: 10−3 با* لتر / ثانية (اختبار التسرب)
نظام التبخر قوة شعاع الإلكترون: 250W-10kW ؛ عدد الخرسانة / الجيبات: 4-8 ؛ العصا الداعمة (max φ4mm) ومواد خام الخرسانة (1-15cc)
التحكم في العملية درجة حرارة الركيزة: RT-500 °C (دقة ± 1 °C) ؛ سرعة الدوران: 2-20 دورة في الدقيقة؛ جهاز مراقبة سمك الفيلم: QCM (0.01 nm/s)
جودة الفيلم توحيد: ± 1٪ - ± 3٪ ؛ الالتصاق: يلبي معيار ASTM D3359 4B ؛ معدل الترسب: 0.1-10 نانومتر / ثانية
التوافق المواد: Au، Ag، Pt، W، SiO2، TiO2، MgF2، YF3، ZrO2 (دعم AR/AF/أفلام عاكسة)
الأبعاد المادية البصمة: 1-3 × 3.0m ؛ الطول: 2.5 - 3.5m ؛ الوزن: < 800kg (نماذج سطح المكتب / سطح الطاولة)
إمدادات الطاقة واحد / ثلاثي المراحل: 220V / 380V ، 50/60Hz ؛ استهلاك الطاقة: 1.2kW-10kW
المزايا الرئيسية
التصميم المدمج والذي يوفر المساحة
  • هيكل سطح المكتب / وحدات مع معيار كورفوس HEX-800 ، مثالية لتحديد المختبرات / البحوث
  • التكامل السهل مع صناديق القفازات لعمليات الغلاف الجوي الخامل
  • البناء الخفيف واستبدال الوحدة الخالية من الأدوات يقلل من تكاليف التثبيت والصيانة
طلاء دقيق وموثوق به
  • تكنولوجيا التركيز على شعاع الإلكترونات تمكن ترسب المعادن الصلبة (Pt ، W) والمواد الكهربائية
  • 0.01nm/s التحكم في سمك الفيلم مع توحيد الفيلم ± 1% (الرائدة في الصناعة للمعدات الصغيرة)
  • مصدر أيون هول + Ar البلازما التنظيف المسبق يعزز صلابة الفيلم (درجة 4B) والكثافة
  • تلبي متطلبات أداء المكونات البصرية (على سبيل المثال، أفلام AR مع> 95٪ من النقل)
تكييف العمليات المتعددة الاستخدامات والمرنة
  • يدعم 4-8 صنبور / جيوب للتبخر المشترك متعدد المواد
  • التبديل السريع بين الألواح المعدنية والأكسيدية والعضوية (AF / AR / الطلاء العاكس / الوقائي)
  • متوافق مع أجزاء 2-6 بوصة (أقراص، عدسات، ألياف بصرية)
  • مصابيح قابلة للتخصيص (قبة/knudzin/لوحة) لمكونات 2D/3D
تشغيل ذكي وسهل الاستخدام
  • نظام تحكم PLC + الشاشة اللمسية مع مراقبة العملية في الوقت الحقيقي
  • مكتبات العمليات المبرمجة مسبقاً لتنظيم سريع
  • إن تصميم مضخة الكريوم / مضخة جزيئية معلقة مغناطيسية فعالة الطاقة يقلل من استهلاك الطاقة بنسبة 30٪ مقارنة بالنظم التقليدية
فعالية من حيث التكلفة للبحث والتطوير والإنتاج في مجموعات صغيرة
  • انخفاض الاستثمار الأولي مع ارتفاع معدل الاستخدام المستهدف (> 70٪) والحد الأدنى من نفايات المواد
  • مناسبة لتصنيع النماذج الأولية إلى التصنيع في مجموعات صغيرة (حتى 10000 قطعة / سنة)
  • التكامل متعدد الوظائف (تبخير شعاع الكتروني + التبخير الاختياري) يلغي الحاجة إلى أجهزة متعددة
المهام الأساسية
تسخين ودقة والتبخر
  • أشعة الكترونات عالية الطاقة تطلق النار على سطح المادة المستهدفة، وتسخينها إلى حالة ذابلة أو تبخر
  • طاقة مركزة وكفاءة حرارية عالية تمكن تبخير المواد الحارقة (التونغستن، الموليبدينوم، التيتانيوم، SiO2، TiO2)
  • يتجنب تلوث المواد المستهدفة من مصدر التدفئة
  • يدعم تبديل المواد متعددة الأهداف (وضعيات التخمر 2-6) لإيداع الأفلام من طبقة واحدة ومتعددة الطبقات بشكل مستمر
تحكم دقيق في سمك الفيلم
  • جهاز مراقبة سمك فيلم الكريستال الكوارتز المدمج لمراقبة معدل التركيب والسمك في الوقت الحقيقي
  • دقة التحكم إلى مستوى نانومتر (± 0.1nm) للأفلام الوظيفية الرقيقة للغاية
  • نظام تحكم قابل للبرمجة مع معايير ترسب مسبقة (قوة شعاع الإلكترونات، درجة الفراغ، معدل ترسب)
  • الطلاء الآلي يضمن اتساق طبقة الفيلم
ضمان بيئة فراغ عالية
  • المضخة الميكانيكية + وحدة فراغ المضخة الجزيئية تقلل من التجويف إلى 10−4 ~ 10−6 Pa بيئة فراغ عالية
  • يقلل من تشتيت جزيئات الغاز وتلوث الجسيمات المتبخرة
  • يضمن طبقات الفيلم وجود نقاء عالية، كثافة جيدة والتماسك القوي
تكييف القطعة الصغيرة
  • مصممة خصيصًا لقطع العمل الصغيرة مع طاولة قطعة العمل الدوارة
  • يحسن من توحيد طبقة الطلاء عبر الركائز
  • مناسبة للأسطوانات التي تتراوح من مليمتر إلى عشرات المليمترات (الصفائح، العدسات البصرية، الشرائح، مكونات أجهزة الاستشعار)
  • يدعم طلاء سطح التثبيت ، ورقة ، وأجزاء صغيرة
رسالة للرد السريع
المنتجات ذات الصلة