| فئة المعلمات | تفاصيل |
|---|---|
| قدرة الهيكل الرئيسي | الحجم الأقصى: يصل إلى 6 بوصات (150 مم) ؛ متوافق مع رقائق 2 "/4" / 6" / المكونات البصرية ؛ الحجم الأدنى: 10 × 10 مم |
| أداء الفراغ | الفراغ النهائي: ≤ 1 × 10−6 تور (1.3 × 10−4 با) ؛ وقت الضخ: دقائق إلى 5 × 10−6 تور؛ معدل التسرب: 10−3 با* لتر / ثانية (اختبار التسرب) |
| نظام التبخر | قوة شعاع الإلكترون: 250W-10kW ؛ عدد الخرسانة / الجيبات: 4-8 ؛ العصا الداعمة (max φ4mm) ومواد خام الخرسانة (1-15cc) |
| التحكم في العملية | درجة حرارة الركيزة: RT-500 °C (دقة ± 1 °C) ؛ سرعة الدوران: 2-20 دورة في الدقيقة؛ جهاز مراقبة سمك الفيلم: QCM (0.01 nm/s) |
| جودة الفيلم | توحيد: ± 1٪ - ± 3٪ ؛ الالتصاق: يلبي معيار ASTM D3359 4B ؛ معدل الترسب: 0.1-10 نانومتر / ثانية |
| التوافق | المواد: Au، Ag، Pt، W، SiO2، TiO2، MgF2، YF3، ZrO2 (دعم AR/AF/أفلام عاكسة) |
| الأبعاد المادية | البصمة: 1-3 × 3.0m ؛ الطول: 2.5 - 3.5m ؛ الوزن: < 800kg (نماذج سطح المكتب / سطح الطاولة) |
| إمدادات الطاقة | واحد / ثلاثي المراحل: 220V / 380V ، 50/60Hz ؛ استهلاك الطاقة: 1.2kW-10kW |
اتصل بنا في أي وقت