汎用的な光学コーティングアプリケーションのためのコンパクト高精度電子ビーム蒸発コーティングマシン
小型電子ビーム蒸発機
,光学コーティングのPVD機器
,電子ビームコーティングマシン
| パラメータカテゴリ | 詳細 |
|---|---|
| 基板容量 | 最大サイズ:最大6インチ (150mm); 2"/4"/6"のウエファー/光学部品と互換性;最小サイズ: 10×10mm |
| バキューム性能 | 究極真空: ≤ 1×10−6 Torr (1.3×10−4 Pa); ポンプ時間: 5×10−6 Torr まで数分; 漏れ率: 10−3 Pa*L/s (漏れテスト) |
| 蒸発システム | 電子ビーム電源: 250W〜10kW; ティグブル/ポケット数: 4-8; サポート棒 (最大 φ4mm) & ティグブル (1-15cc) の原料 |
| プロセス制御 | 基板温度:RT-500°C (±1°C精度);回転速度:2-20rpm;フィルム厚さモニター:QCM (0.01nm/s解像度) |
| フィルム品質 | 均一性: ±1%~±3% 粘着性:ASTM D3359 4B規格を満たす 沉着速度:0.1~10 nm/s |
| 互換性 | 材料: Au, Ag, Pt, W, SiO2, TiO2, MgF2, YF3, ZrO2 (AR/AF/反射フィルムに対応する) |
| 物理 的 な 尺度 | 足跡: 1-3.3×3.0m; 高さ: 2.5-3.5m; 体重: <800kg (デスクトップ/テーブルトップモデル) |
| 電源 | 単相/三相: 220V/380V,50/60Hz; 電力消費: 1.2kW-10kW |
- Korvus HEX-800 標準のデスクトップ/モジュール構造,実験室/研究環境に最適
- 慣性大気処理のための手袋箱と簡単に統合
- 軽量構造と工具のないモジュール交換により,設置と保守コストが削減されます
- 電子ビームフォーカス技術により,耐火性金属 (Pt,W) と介電性材料の堆積が可能
- 0.01nm/s 厚さ制御 フィルム均一性 ±1% (小規模機器では業界トップ)
- ハールイオン源 + Ar プラズマ前浄化によりフィルム粘着性 (4B グレード) と密度が向上します
- オプティカルコンポーネントの性能要件を満たす (例えば,<95%の伝達率を持つARフィルム)
- 多材料共蒸発のための4-8つのチュービル/ポケットをサポートする
- メタル,オキシド,有機フィルム (AF/AR/反射性/保護性コーティング) の間の迅速な切り替え
- 2~6インチの基板と互換性がある (ウエファー,レンズ,光ファイバー)
- 2D/3Dコンポーネントのためのカスタマイズ可能な固定装置 (ドーム/knudzin/プレート)
- PLC+タッチスクリーン制御システム リアルタイムプロセスモニタリング
- 早く設定するための事前プログラムされたプロセスライブラリ
- エネルギー効率の良い冷却ポンプ/磁気懸垂分子ポンプ設計は,従来のシステムと比較して 30% の電力消費を削減します
- 初期投資が低く,目標利用率が高く (>70%) 材料廃棄量が最小
- 試作品作成や小量生産に適している (年間最大10,000枚)
- 多機能統合 (eビーム蒸発 + 噴射オプション) は複数の装置の必要性を排除します
- 高エネルギー電子束は標的材料の表面を爆撃し,溶けた状態または蒸発状態まで加熱する
- 集中したエネルギーと高熱効率により,耐火材料 (トルフスタン,モリブデン,チタン,SiO2,TiO2) の蒸発が可能になります.
- 目標材料の加熱源による汚染を回避する
- 単層フィルムと多層フィルムの連続沉積のために,複数のターゲット材料の切り替え (2-6のピグブル位置) をサポートする
- 積立率と厚さモニタリングのための内蔵クォーツ結晶フィルム厚さモニタ
- 超薄型機能フィルムのナノメートルレベル (±0.1nm) の制御精度
- 前もって設定された堆積パラメータ (電子束の電量,真空度,堆積速度) を備えたプログラム可能な制御システム
- 自動コーティングは,バッチフィルム層の一貫性を保証します.
- メカニカルポンプ + 分子ポンプ真空ユニット 10−4~10−6 Pa 高真空環境に空洞を減らす
- 蒸発した粒子のガス分子散乱と汚染を減らす
- フィルム層の高純度,高密度,強い粘着性を確保する
- 特殊設計で,回転式作業台付き小作業部品用に設計されたもの
- 基板間のコーティング層の均一性を向上させる
- ミリメートルから数十ミリメートルまでの基板 (ウエファー,光学レンズ,チップ,センサー部品) に適しています
- 表面のマウント,シート,小部品のコーティングをサポート
完全自動制御とEビームコーティング技術を持つ低コストの真空光学コーティングマシン
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
正確なモニタリング、カスタムメイドのチャンバーサイズ、高純度のコーティング材料を備えた光学式電子ビームコーティング機
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
オプティカルレンズコーティング機械 電子ビーム真空コーティング 金属レンズコーティング用
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
大規模な電子ビーム蒸発光学コーティング機器
I. Core Structure Vacuum system (Basic guarantee for coating) Vacuum chamber Vacuum pump set Vacuum measurement and control. Electron beam system (Energy supply core) Electron emission source Focusing and deflection device Power control module. Evaporation deposition System (Key to film formation) ...
