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光学薄膜用高真空電子ビーム蒸着装置
| 起源の場所 | 広東 |
| ブランド名 | Lion King |
| 証明 | CE |
高真空電子ビーム蒸着機
,光学薄膜蒸着装置
,電子銃光学薄膜コーティングシステム
梱包と配送
ライオン・キング電子ビーム光学コーティングマシン
テクノロジーの概要
電子ビーム光学コーティングマシンは,精密光学製造の分野におけるコア機器です.それは,高エネルギー電子ビームを溶かして,蒸発,溶融点が高い光学材料を電離化する蒸発した材料を基板の表面に堆積し,超薄で均質で高性能な光学フィルムを形成する.これらのフィルムは反射フィルムなどの光学部品に広く使用されています光学,電子機器,航空宇宙,半導体などの産業のデバイスにとって不可欠です.
作業原理
真空環境の創造
コーティングプロセスは,高真空室で行われます.この環境は2つの重要な目的を持っています.
蒸発した材料が空気と反応したり,ガス分子によって散らばったりするのを防ぎ,フィルムの純度を保証します.
蒸発した原子/分子とガス分子との衝突を軽減し,蒸気がスムーズに基板に到達し密度の高いフィルムを形成します.
電子ビーム生成と加速
電子銃は熱電離子放出によって電子を生成する.電子は高電圧の電場によって加速され,高い運動エネルギーを得ます.
ターゲット材料の加熱と蒸発
高エネルギーの電子束は磁気レンズで焦点化され 標的材料の表面に導かれる電子の運動エネルギーは,標的との衝突時に熱エネルギーに変換されます.蒸発温度まで迅速に熱します (アルミニウムなどの2000°C以上の溶融点を持つ材料の場合でも).原子からなる高密度の蒸気に蒸発する分子やイオンです
蒸気堆積とフィルム形成
蒸発した物質の粒子は 真空室で直線で移動し 回転基板の表面に堆積されます.粒子が蓄積すると,特定の構造と光学特性を持つ薄膜を形成する.
現地監視と制御
コーティング過程では,クォーツ結晶マイクロバランスまたは光学モニタリングシステムが使用され,フィルムの厚さと屈折率をリアルタイムで追跡します.制御ユニットにデータをフィードバックしますフィルムが設計要件を満たすように,電子ビームパワー,基板温度,堆積速度などのパラメータを調整する.
主要 な 利点
高溶融点材料の高蒸発効率
電子ビームは標的を直接熱し 溶融点が3千°C以上の材料を蒸発させます
高度フィルム純度
真空環境と非接触式加熱により,フィルム内の不純物が最小限に抑えられます.
精密 な 厚さ 制御
インシチューモニタリングシステムと調整可能な電子ビーム電力は,多層光学フィルムの要件を満たす,フィルム厚さ制御精度が ±0.1 nm までできるようにする.
幅広い材料の互換性
酸化物,フッ化物 金属,そして陶器でさえも 互換性があり 応用範囲を広げています
高い貯蓄率
堆積速度は1~10nm/sに達し,大批量光学部品の生産効率を向上させる.
応用産業
光通信
光ファイバーと光結合器の薄膜のコーティングにより,光伝達時の信号損失が少なくなります.
消費電子機器
スマートフォン/ノートPCのスクリーンの反射フィルム (AR) カメラモジュール用の赤外線 (IR) カットオフフィルター
航空宇宙・防衛
衛星光学望遠鏡のための高反射フィルム.航空機のフロントガラスのための防氷と防霧光学フィルム.
半導体と光電子
マイクロチップ用の介電膜 光発光二極管のための薄膜コーティング
