معدات طلاء تبخير شعاع الإلكترونات عالية الفراغ للطلاء البصري

التعبئة والتسليم

تفاصيل التعبئة

غطاء فيلم بلاستيكي وصندوق خشبي مكعب عالي حاوية التعبئة الصادرة القياسية للحاوية الفولاذ المقاوم للصدأ CICEL آلة طلاء الفراغ متعدد القوس PVD

ميناء الإرسال

غوانغدونغ

وحدات البيع

البند الفردي

حجم الحزمة الفردية

80×25×25 سم

الوزن الإجمالي

10.000 كيلوغرام

أمثلة على التعبئة

ملك الأسدآلة الطلاء البصري للشعاع الإلكتروني

لمحة عامة عن التكنولوجيا

آلة الطلاء البصري للشعاع الإلكتروني هي معدات أساسية في مجال التصنيع البصري الدقيق.والمواد البصرية ذات نقطة انصهار عالية، ثم يضع المواد المتبخرة على سطح الركائز لتشكيل أفلام بصرية رقيقة للغاية ومتساوية وعالية الأداء.هذه الأفلام تستخدم على نطاق واسع في المكونات البصرية مثل الأفلام المضادة للإنعكاس، الأفلام عالية الانعكاس، وأفلام المرشح، وأفلام الاستقطاب، والتي هي ضرورية للأجهزة في الصناعات مثل البصريات والإلكترونيات والفضاء والموصلات النصفية.

مبدأ العمل

خلق بيئة فراغ

يتم تنفيذ عملية الطلاء بأكملها في غرفة عالية الفراغ. هذه البيئة تخدم غرضين حيويين:

يمنع المادة المتبخرة من التفاعل مع الهواء أو أن تشتت من قبل جزيئات الغاز ، مما يضمن نقاء الفيلم.

يقلل من الاصطدام بين الذرات / الجزيئات المتبخرة و جزيئات الغاز ، مما يسمح للبخار بالوصول إلى الروك بسلاسة وتشكيل فيلم كثيف.

توليد شعاع الإلكترونات والتسارع

يولد بندقية الإلكترون الإلكترونات من خلال الانبعاثات الحرارية. ثم يتم تسريع الإلكترونات بواسطة مجال كهربائي عالي الجهد للحصول على طاقة حركية عالية.

تسخين المادة المستهدفة والتبخر

يتم تركيز شعاع الإلكترونات عالي الطاقة بواسطة عدسة مغناطيسية ويتم توجيهه إلى سطح المادة المستهدفة.يتم تحويل الطاقة الحركية للإلكترونات إلى طاقة حرارية عند التصادم مع الهدف، وتسخين المادة بسرعة إلى درجة حرارة التبخر (حتى بالنسبة للمواد ذات نقاط الانصهار فوق 2000 درجة مئوية ، مثل الألومينا.ثم تتبخر المادة إلى بخار عالي الكثافة يتكون من ذرات، جزيئات، أو أيونات.

ترسب البخار وتشكيل فيلم

تتحرك جزيئات المادة المتبخرة في خط مستقيم في غرفة الفراغ وترسب على سطح الركيزة الدوارةأنها تشكل فيلم رقيق مع بنية محددة وخصائص بصرية.

مراقبة ومراقبة في الموقع

أثناء عملية الطلاء ، يتم استخدام نظام توازن الكريستال الكوارتز أو نظام مراقبة بصرية لتتبع سمك الفيلم ومؤشر الانكسار في الوقت الحقيقي.النظام يعيد البيانات إلى وحدة التحكم، الذي يضبط معايير مثل قوة شعاع الإلكترونات، ودرجة حرارة الركيزة، ومعدل الترسب لضمان استيفاء الفيلم لمتطلبات التصميم.

المزايا الرئيسية

كفاءة التبخر العالية للمواد ذات نقطة الذوبان العالية

أشعة الإلكترونات تدفئ الهدف مباشرة ، مما يسمح بالتبخر للمواد ذات نقاط الانصهار > 3000 درجة مئوية.

نقاء الفيلم العالي

بيئة الفراغ والتسخين بدون اتصال تقلل من الشوائب في الفيلم

تحكم دقيق في السماكة

تسمح أنظمة المراقبة في الموقع وطاقة شعاع الإلكترون القابلة للتعديل بدقة التحكم في سمك الفيلم تصل إلى ± 0.1 نانومتر ، مما يلبي متطلبات الأفلام البصرية متعددة الطبقات.

تطابق المواد على نطاق واسع

متوافق مع الأكسيدات، فلوريدات المعادن، وحتى السيراميك، وتوسيع نطاق التطبيقات.

نسبة الودائع العالية

يمكن أن تصل معدلات الترسب إلى 1 × 10 نانومتر في الثانية ، مما يحسن كفاءة الإنتاج للمكونات البصرية الكبيرة.

الصناعات التطبيقية

الاتصالات البصرية

طلاء أفلام رقيقة للألياف الضوئية والربطات الضوئية، مما يضمن انخفاض خسارة الإشارة أثناء نقل الضوء.

إلكترونيات المستهلك

أشرطة مضادة للانعكاس (AR) لشاشات الهواتف الذكية / أجهزة الكمبيوتر المحمولة. فلاتر قطع الأشعة تحت الحمراء (IR) لوحدات الكاميرا.

الطيران والفضاء والدفاع

أفلام عالية الانعكاس للتلسكوبات البصرية الأقمار الصناعية.أفلام البصرية المضادة للتجمد والضد الضباب للزجاج الأمامي للطائرات.

أشباه الموصلات والإلكترونيات

أشرطة كهربائية للشرائح الدقيقة.طلاء الأشرطة الرقيقة للديودات المصدرة للضوء