تجهیزات پوشش برقی با خلاء بالا برای پوشش نوری
دستگاه پوشش پرتو الکترون با خلاء بالا
,تجهیزات تبخیر پوشش نوری
,سیستم پوشش نوری پرتو الکترونی
بسته بندی و تحویل
Lion Kingدستگاه پوشش نوری پرتو الکترونی
مروری بر فناوری
دستگاه پوشش نوری پرتو الکترونی یک تجهیزات اصلی در زمینه تولید نوری دقیق است. این دستگاه از پرتوهای الکترونی با انرژی بالا برای ذوب، تبخیر و یونیزه کردن مواد نوری با نقطه ذوب بالا استفاده می کند، سپس مواد تبخیر شده را روی سطح زیرلایه ها رسوب می دهد تا فیلم های نوری فوق العاده نازک، یکنواخت و با عملکرد بالا ایجاد کند. این فیلم ها به طور گسترده در اجزای نوری مانند فیلم های ضد انعکاس، فیلم های بازتابنده بالا، فیلم های فیلتر و فیلم های قطبش استفاده می شوند که برای دستگاه هایی در صنایعی مانند اپتیک، الکترونیک، هوافضا و نیمه هادی ها ضروری هستند.
اصل کار
ایجاد محیط خلاء
کل فرآیند پوشش در یک محفظه با خلاء بالا انجام می شود. این محیط دو هدف مهم را دنبال می کند:
جلوگیری از واکنش ماده تبخیر شده با هوا یا پراکنده شدن توسط مولکول های گاز، اطمینان از خلوص فیلم.
کاهش برخورد بین اتم ها/مولکول های تبخیر شده و مولکول های گاز، اجازه می دهد تا بخار به آرامی به زیرلایه برسد و یک فیلم متراکم تشکیل دهد.
تولید و شتاب پرتو الکترونی
یک تفنگ الکترونی الکترون ها را از طریق انتشار حرارتی تولید می کند. سپس الکترون ها توسط یک میدان الکتریکی با ولتاژ بالا شتاب می گیرند تا انرژی جنبشی بالایی به دست آورند.
گرمایش و تبخیر مواد هدف
پرتو الکترونی با انرژی بالا توسط یک لنز مغناطیسی متمرکز شده و به سطح ماده هدف هدایت می شود. انرژی جنبشی الکترون ها پس از برخورد با هدف به انرژی حرارتی تبدیل می شود و به سرعت ماده را تا دمای تبخیر آن گرم می کند (حتی برای موادی با نقطه ذوب بالای 2000 درجه سانتیگراد، مانند آلومینا). سپس ماده به یک بخار با چگالی بالا متشکل از اتم ها، مولکول ها یا یون ها تبخیر می شود.
رسوب بخار و تشکیل فیلم
ذرات ماده تبخیر شده در یک خط مستقیم در محفظه خلاء حرکت می کنند و روی سطح زیرلایه چرخان رسوب می کنند. با تجمع ذرات، آنها یک فیلم نازک با ساختار و خواص نوری خاص تشکیل می دهند.
نظارت و کنترل در محل
در طول فرآیند پوشش، از یک ترازوی میکرو کریستال کوارتز یا سیستم نظارت نوری برای ردیابی بلادرنگ ضخامت فیلم و ضریب شکست استفاده می شود. سیستم داده ها را به واحد کنترل بازخورد می دهد، که پارامترهایی مانند توان پرتو الکترونی، دمای زیرلایه و سرعت رسوب را تنظیم می کند تا اطمینان حاصل شود که فیلم الزامات طراحی را برآورده می کند.
مزایای کلیدی
راندمان تبخیر بالا برای مواد با نقطه ذوب بالا
پرتوهای الکترونی مستقیماً هدف را گرم می کنند و امکان تبخیر مواد با نقطه ذوب > 3000 درجه سانتیگراد را فراهم می کنند.
خلوص بالای فیلم
محیط خلاء و گرمایش غیر تماسی، ناخالصی ها را در فیلم به حداقل می رساند.
کنترل دقیق ضخامت
سیستم های نظارت در محل و توان پرتو الکترونی قابل تنظیم، امکان کنترل ضخامت فیلم تا ±0.1 نانومتر را فراهم می کند که الزامات فیلم های نوری چند لایه را برآورده می کند.
سازگاری گسترده مواد
سازگار با اکسیدها، فلورایدها، فلزات و حتی سرامیک ها، گسترش دامنه کاربردها.
سرعت رسوب بالا
سرعت رسوب می تواند به 1 تا 10 نانومتر بر ثانیه برسد و راندمان تولید را برای اجزای نوری با حجم زیاد بهبود بخشد.
صنایع کاربردی
ارتباطات نوری
پوشش فیلم های نازک برای فیبرهای نوری و کوپلرهای نوری، اطمینان از تلفات سیگنال کم در طول انتقال نور.
الکترونیک مصرفی
فیلم های ضد انعکاس (AR) برای صفحه نمایش گوشی های هوشمند/لپ تاپ. فیلترهای مادون قرمز (IR) برای ماژول های دوربین.
هوافضا و دفاع
فیلم های بازتابنده بالا برای تلسکوپ های نوری ماهواره ای. فیلم های نوری ضد یخ و ضد مه برای شیشه جلوی هواپیما.
نیمه هادی ها و اپتوالکترونیک
فیلم های دی الکتریک برای ریزتراشه ها. پوشش های فیلم نازک برای دیودهای ساطع کننده نور.
ماشین پوشش نوری خلاء با کنترل کاملا اتوماتیک و تکنولوژی پوشش E-Beam
Low Cost Vacuum E-Beam PVD Machine Optical Coating Machine with Fully Auto Control Product Overview Model: ZD-2150GX Vacuum Optical Coating Machine The optical vacuum coating machine is suitable for coating precision optical films including AR, superhard AR, BBAR film, high reflection film, UV/IR ...
دستگاه پوشش پرتو الکترونی نوری با نظارت دقیق، اندازه اتاق سفارشی و مواد پوشش خالص
Optical Electron Beam Coating Machine Advanced vacuum coating equipment providing precise monitoring and adaptability for various optical component coatings with superior performance characteristics. Core Characteristics Compared with conventional resistance heating and small electronic beam coating ...
ماشین پوشش تبخیر پرتو الکترون با دقت بالا برای کاربردهای پوشش نوری متنوع
Small Electron Beam Evaporation Coating Machines Core Technical Specifications Parameter Category Details Substrate Capacity Max size: Up to 6-inch (150mm); Compatible with 2"/4"/6" wafers/optical components; Min size: 10×10mm Vacuum Performance Ultimate vacuum: ≤ 1×10⁻⁶ Torr (1.3×10⁻⁴ Pa); Pumping ...
ماشین آلات پوشش لنزهای نوری پوشش قطب الکترون پوشش خلاء برای پوشش لنزهای فلزی
warranty 1 Year machine type Spray Booths, Painting Equipment, Pre-treatment Equipment, Conveying Equipment, Drying Oven, Curing oven, Coating Equipment type Coating Production Line voltage 380V or Customizable coating Vacuum Coating core components PLC, Pressure vessel, Gear, Pump, vacuum machine ...
