Equipo de revestimiento de evaporación de haz de electrones de alto vacío para revestimiento óptico

Embalaje y entrega

Detalles del embalaje

Capa de película de plástico y caja de madera de alto cubo contenedor de embalaje estándar de exportación para la máquina de recubrimiento de vacío PVD de iones multiarco de barrera de acero inoxidable CICEL

Puerto de expedición

En la región de Guangdong

Vendiendo unidades

Artículo único

Tamaño del envase único

80X25X25 cm

Peso bruto único

10.000 KG

Ejemplos de envases

El Rey LeónMáquina de recubrimiento óptico de haz de electrones

Descripción general de la tecnología

La máquina de recubrimiento óptico de haz de electrones es un equipo básico en el campo de la fabricación óptica de precisión. Utiliza haces de electrones de alta energía para derretir, evaporar,y materiales ópticos de alto punto de fusión ionizantes, luego deposita los materiales vaporizados en la superficie de los sustratos para formar películas ópticas ultrafinas, uniformes y de alto rendimiento.Estas películas se utilizan ampliamente en componentes ópticos como películas antirreflexión, películas de alto reflejo, películas de filtro y películas de polarización, que son esenciales para dispositivos en industrias como óptica, electrónica, aeroespacial y semiconductores.

Principio de trabajo

Creación de un ambiente de vacío

Todo el proceso de recubrimiento se lleva a cabo en una cámara de alto vacío.

Evita que el material vaporizado reaccione con el aire o que las moléculas de gas lo dispersen, asegurando la pureza de la película.

Reduce la colisión entre átomos/moléculas vaporizadas y moléculas de gas, permitiendo que el vapor llegue al sustrato sin problemas y forme una película densa.

Generación y aceleración del haz de electrones

Una pistola de electrones genera electrones a través de la emisión termiónica. Los electrones son acelerados por un campo eléctrico de alto voltaje para obtener alta energía cinética.

Calificación y evaporación del material objetivo

El haz de electrones de alta energía es enfocado por una lente magnética y dirigido a la superficie del material objetivo.La energía cinética de los electrones se convierte en energía térmica al chocar con el objetivo, calentando rápidamente el material hasta su temperatura de evaporación (incluso para materiales con puntos de fusión superiores a 2000°C, como la alumina.El material luego se vaporiza en un vapor de alta densidad compuesto de átomos, moléculas o iones.

Deposición de vapor y formación de película

Las partículas de material vaporizado se mueven en línea recta en la cámara de vacío y se depositan en la superficie del sustrato giratorio.Forman una película delgada con una estructura específica y propiedades ópticas.

Monitoreo y control in situ

Durante el proceso de recubrimiento, se utiliza un microbalance de cristal de cuarzo o un sistema de monitoreo óptico para rastrear en tiempo real el grosor de la película y el índice de refracción.El sistema envía datos a la unidad de control, que ajusta parámetros como la potencia del haz de electrones, la temperatura del sustrato y la velocidad de deposición para garantizar que la película cumpla con los requisitos de diseño.

Ventajas clave

Alta eficiencia de evaporación para materiales con alto punto de fusión

Los haces de electrones calientan directamente el objetivo, lo que permite la evaporación de materiales con puntos de fusión > 3000 ° C.

Alta pureza de la película

El ambiente de vacío y el calentamiento sin contacto minimizan las impurezas en la película.

Control preciso del grosor

Los sistemas de monitoreo in situ y la potencia del haz de electrones ajustable permiten una precisión de control del grosor de la película de hasta ± 0,1 nm, cumpliendo con los requisitos de las películas ópticas de múltiples capas.

Compatibilidad de los materiales en general

Compatible con óxidos, fluoruros metálicos e incluso cerámicas, ampliando el rango de aplicaciones.

Alta tasa de deposición

Las tasas de deposición pueden alcanzar 1 ‰ 10 nm / s, mejorando la eficiencia de producción para componentes ópticos de grandes lotes.

Industrias aplicadas

Comunicación óptica

Revestimiento de películas delgadas para fibras ópticas y acopladores ópticos, garantizando una baja pérdida de señal durante la transmisión de luz.

Electrónica de consumo

Películas antirreflexión (AR) para pantallas de teléfonos inteligentes/ordenadores portátiles.Filtros de corte infrarrojos (IR) para módulos de cámara.

Aeroespacial y Defensa

Películas ópticas de alto reflejo para telescopios ópticos por satélite.Películas ópticas anticongelantes y antiniebla para parabrisas de aeronaves.

Semiconductores y optoelectrónica

Películas dieléctricas para microchips. Revestimientos de película fina para diodos emisores de luz.