อุปกรณ์เคลือบอิเล็กตรอนเบย์ระเหยระยะว่างสูง สําหรับเคลือบออทคอม

บรรจุภัณฑ์และการจัดส่ง

รายละเอียดบรรจุภัณฑ์

ฟิล์มพลาสติกคลุม & กล่องไม้ส่งออกมาตรฐานตู้คอนเทนเนอร์ลูกบาศก์สูงสำหรับเครื่องเคลือบสูญญากาศ PVD ไอออนหลายอาร์คสแตนเลส CICEL

ท่าเรือขนส่ง

กวางตุ้ง

หน่วยขาย

สินค้าเดี่ยว

ขนาดบรรจุภัณฑ์เดี่ยว

80X25X25 ซม.

น้ำหนักรวมเดี่ยว

10.000 กก.

ตัวอย่างบรรจุภัณฑ์

Lion Kingเครื่องเคลือบแสงอิเล็กตรอนบีม

ภาพรวมเทคโนโลยี

เครื่องเคลือบแสงอิเล็กตรอนบีมเป็นอุปกรณ์หลักในด้านการผลิตออปติคอลแม่นยำ ใช้ลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูงในการหลอม ระเหย และทำให้เป็นไอออนของวัสดุออปติคอลที่มีจุดหลอมเหลวสูง จากนั้นนำวัสดุที่ระเหยไปสะสมบนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์เพื่อสร้างฟิล์มแสงบางเฉียบ สม่ำเสมอ และมีประสิทธิภาพสูง ฟิล์มเหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในส่วนประกอบออปติคอล เช่น ฟิล์มป้องกันการสะท้อน ฟิล์มสะท้อนแสงสูง ฟิล์มกรองแสง และฟิล์มโพลาไรซ์ ซึ่งจำเป็นสำหรับอุปกรณ์ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น ออปติก อิเล็กทรอนิกส์ การบินและอวกาศ และเซมิคอนดักเตอร์

หลักการทำงาน

การสร้างสภาพแวดล้อมสูญญากาศ

กระบวนการเคลือบทั้งหมดดำเนินการในห้องสูญญากาศสูง สภาพแวดล้อมนี้มีวัตถุประสงค์สำคัญสองประการ:

ป้องกันไม่ให้วัสดุที่ระเหยทำปฏิกิริยากับอากาศหรือถูกกระจายโดยโมเลกุลของก๊าซ ทำให้มั่นใจได้ถึงความบริสุทธิ์ของฟิล์ม

ลดการชนกันระหว่างอะตอม/โมเลกุลที่ระเหยกับโมเลกุลของก๊าซ ทำให้ไอระเหยไปถึงวัสดุพิมพ์ได้อย่างราบรื่นและสร้างฟิล์มหนาแน่น

การสร้างและการเร่งลำแสงอิเล็กตรอน

ปืนอิเล็กตรอนสร้างอิเล็กตรอนผ่านการปล่อยความร้อน อิเล็กตรอนจะถูกเร่งโดยสนามไฟฟ้าแรงสูงเพื่อให้ได้พลังงานจลน์สูง

การให้ความร้อนและการระเหยของวัสดุเป้าหมาย

ลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูงถูกโฟกัสโดยเลนส์แม่เหล็กและนำไปยังพื้นผิวของวัสดุเป้าหมาย พลังงานจลน์ของอิเล็กตรอนจะถูกแปลงเป็นพลังงานความร้อนเมื่อชนกับเป้าหมาย ทำให้วัสดุร้อนขึ้นอย่างรวดเร็วถึงอุณหภูมิการระเหย (แม้สำหรับวัสดุที่มีจุดหลอมเหลวสูงกว่า 2000°C เช่น อลูมินา วัสดุจะระเหยกลายเป็นไอความหนาแน่นสูงซึ่งประกอบด้วยอะตอม โมเลกุล หรือไอออน

การสะสมไอระเหยและการก่อตัวของฟิล์ม

อนุภาควัสดุที่ระเหยจะเคลื่อนที่เป็นเส้นตรงในห้องสูญญากาศและถูกสะสมบนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์ที่หมุน เมื่ออนุภาคสะสม พวกมันจะสร้างฟิล์มบางที่มีโครงสร้างและคุณสมบัติทางแสงเฉพาะ

การตรวจสอบและการควบคุมในสถานที่

ในระหว่างกระบวนการเคลือบ จะใช้เครื่องชั่งจุลภาคคริสตัลควอตซ์หรือระบบตรวจสอบด้วยแสงเพื่อติดตามความหนาของฟิล์มและดัชนีการหักเหของแสงแบบเรียลไทม์ ระบบจะส่งข้อมูลกลับไปยังหน่วยควบคุม ซึ่งจะปรับพารามิเตอร์ เช่น กำลังไฟของลำแสงอิเล็กตรอน อุณหภูมิของวัสดุพิมพ์ และอัตราการสะสม เพื่อให้แน่ใจว่าฟิล์มตรงตามข้อกำหนดการออกแบบ

ข้อดีหลัก

ประสิทธิภาพการระเหยสูงสำหรับวัสดุที่มีจุดหลอมเหลวสูง

ลำแสงอิเล็กตรอนให้ความร้อนโดยตรงกับเป้าหมาย ทำให้สามารถระเหยวัสดุที่มีจุดหลอมเหลว > 3000°C ได้

ความบริสุทธิ์ของฟิล์มสูง

สภาพแวดล้อมสูญญากาศและการให้ความร้อนแบบไม่สัมผัสช่วยลดสิ่งเจือปนในฟิล์ม

การควบคุมความหนาที่แม่นยำ

ระบบตรวจสอบในสถานที่และกำลังไฟของลำแสงอิเล็กตรอนที่ปรับได้ช่วยให้ความแม่นยำในการควบคุมความหนาของฟิล์มสูงถึง ±0.1 nm ซึ่งตรงตามข้อกำหนดของฟิล์มออปติคอลหลายชั้น

ความเข้ากันได้ของวัสดุที่หลากหลาย

เข้ากันได้กับออกไซด์ ฟลูออไรด์ โลหะ และแม้แต่เซรามิก ทำให้ขยายช่วงการใช้งาน

อัตราการสะสมสูง

อัตราการสะสมสามารถเข้าถึง 1–10 nm/s ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตสำหรับส่วนประกอบออปติคอลจำนวนมาก

อุตสาหกรรมที่นำไปใช้

การสื่อสารด้วยแสง

การเคลือบฟิล์มบางสำหรับใยแก้วนำแสงและตัวเชื่อมต่อออปติคอล ทำให้มั่นใจได้ว่าการสูญเสียสัญญาณต่ำในระหว่างการส่งผ่านแสง

อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค

ฟิล์มป้องกันการสะท้อน (AR) สำหรับหน้าจอสมาร์ทโฟน/แล็ปท็อป ตัวกรองอินฟราเรด (IR) สำหรับโมดูลกล้อง

การบินและอวกาศและการป้องกันประเทศ

ฟิล์มสะท้อนแสงสูงสำหรับกล้องโทรทรรศน์ออปติคอลของดาวเทียม ฟิล์มออปติคอลป้องกันน้ำแข็งและป้องกันหมอกสำหรับกระจกหน้ารถของเครื่องบิน

เซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์

ฟิล์มไดอิเล็กทริกสำหรับไมโครชิป การเคลือบฟิล์มบางสำหรับไดโอดเปล่งแสง