Оборудование для высоковакуумного испарения электронного луча для оптического покрытия

Упаковка и доставка

Подробная информация об упаковке

Пластиковая пленка и деревянная коробка высокий кубический экспортный стандартный упаковочный контейнер для CICEL нержавеющей стали Барьерный многостворчатый ионный ПВД вакуумный покрытие

Порт отправления

Гуандун

Продажа единиц

Единая статья

Размер одной упаковки

80х25х25 см

Единая валовая масса

10.000 кг

Примеры упаковки

Король ЛевМашина для оптического покрытия электронными лучами

Обзор технологий

Электронный луч оптического покрытия является основным оборудованием в области точности оптического производства. Он использует высокоэнергетические электронные лучи для плавления, испарения,и ионизирующие оптические материалы с высокой температурой плавления, затем откладывает испаренные материалы на поверхность подложки, образуя сверхтонкие, равномерные и высокопроизводительные оптические пленки.Эти пленки широко используются в оптических компонентах, таких как антиотражательные пленки, высокоотражающие пленки, фильтрующие пленки и поляризационные пленки, которые необходимы для устройств в таких отраслях промышленности, как оптика, электроника, аэрокосмическая промышленность и полупроводники.

Рабочий принцип

Создание вакуумной среды

Весь процесс покрытия осуществляется в высоковакуумной камере.

Предотвращает реакцию испаренного материала с воздухом или его рассеивание молекулами газа, обеспечивая чистоту пленки.

Уменьшает столкновение между испаренными атомами/молекулами и молекулами газа, позволяя парам плавно достигать субстрата и формировать плотную пленку.

Производство и ускорение электронного луча

Электронная пушка генерирует электроны посредством термионического излучения, которые затем ускоряются высоковольтным электрическим полем для получения высокой кинетической энергии.

Нагрев и испарение цели материала

Электронный луч высокой энергии фокусируется магнитной линзой и направляется на поверхность объекта.Кинетическая энергия электронов превращается в тепловую энергию при столкновении с целью., быстро нагревая материал до температуры его испарения (даже для материалов с температурой плавления выше 2000°C, таких как алюминиевый спирт.Затем материал испаряется в высокоплотный пар, состоящий из атомов., молекулы, или ионы.

Отложение пара и образование пленки

Выпариваемые частицы материала движутся по прямой в вакуумной камере и оседают на поверхности вращающейся подложки.образуют тонкую пленку с определенной структурой и оптическими свойствами.

Наблюдение и контроль на месте

Во время процесса покрытия используется микробаланс кварцевого кристалла или система оптического мониторинга для отслеживания толщины пленки и показателя преломления в режиме реального времени.Система передает данные обратно в блок управления, который регулирует такие параметры, как мощность электронного луча, температура субстрата и скорость осаждения, чтобы обеспечить соответствие пленки требованиям к конструкции.

Ключевые преимущества

Высокая эффективность испарения для материалов с высокой температурой плавления

Электронные лучи напрямую нагревают цель, что позволяет испарять материалы с температурой плавления > 3000 ° C.

Высокая чистота пленки

Вакуумная среда и бесконтактное нагревание минимизируют примеси в пленке.

Точный контроль толщины

Системы мониторинга на месте и регулируемая мощность электронного луча позволяют контролировать толщину пленки с точностью до ± 0,1 нм, что соответствует требованиям многослойных оптических пленк.

Широкая совместимость материалов

Совместима с оксидами, фторидами металлов и даже керамикой, расширяя диапазон применения.

Высокий уровень отложения

Скорость осаждения может достигать 1 ‰ 10 нм/с, что повышает эффективность производства для больших партий оптических компонентов.

Прикладная промышленность

Оптическая связь

Покрытие тонкими пленками для оптических волокон и оптических соединителей, обеспечивающих низкую потерю сигнала при передаче света.

Потребительская электроника

Антиотражательные пленки для экранов смартфонов/ноутбуков.Инфракрасные фильтры для модулей камер.

Аэрокосмическая и оборонная промышленность

Высокоотражающие пленки для спутниковых оптических телескопов.Оптические пленки для противозамерзания и противотумана для лобовых стекол самолетов.

Полупроводники и оптоэлектроника

Диэлектрические пленки для микрочипов. Покрытия тонкой пленкой для светодиодов.