Установка вакуумного напыления PVD с электронно-лучевой пушкой для нанесения покрытий на оптические линзы

Упаковка и доставка

Детали упаковки

Пластиковая пленка и деревянная коробка, экспортный стандартный упаковочный контейнер для вакуумной машины для нанесения многодугового ионного PVD покрытия CICEL из нержавеющей стали

Порт отправки

Гуандун

Единицы продажи

Один предмет

Размер одной упаковки

80X25X25 см

Общий вес одной упаковки

10,000 кг

Примеры упаковки

Lion KingМашина для нанесения оптических покрытий электронным лучом

Обзор технологии

Машина для нанесения оптических покрытий электронным лучом является основным оборудованием в области прецизионного оптического производства. Она использует высокоэнергетические электронные лучи для плавления, испарения и ионизации оптических материалов с высокой температурой плавления, а затем осаждает испаренные материалы на поверхность подложек для формирования ультратонких, однородных и высокопроизводительных оптических пленок. Эти пленки широко используются в оптических компонентах, таких как антиотражающие пленки, высокоотражающие пленки, фильтрующие пленки и поляризационные пленки, которые необходимы для устройств в таких отраслях, как оптика, электроника, аэрокосмическая промышленность и полупроводники.

Принцип работы

Создание вакуумной среды

Весь процесс нанесения покрытия выполняется в вакуумной камере высокого вакуума. Эта среда служит двум критическим целям:

Предотвращает реакцию испаренного материала с воздухом или рассеивание молекулами газа, обеспечивая чистоту пленки.

Уменьшает столкновение между испаренными атомами/молекулами и молекулами газа, позволяя пару плавно достигать подложки и формировать плотную пленку.

Генерация и ускорение электронного луча

Электронная пушка генерирует электроны посредством термоэлектронной эмиссии. Затем электроны ускоряются высоковольтным электрическим полем для получения высокой кинетической энергии.

Нагрев и испарение целевого материала

Высокоэнергетический электронный луч фокусируется магнитной линзой и направляется на поверхность целевого материала. Кинетическая энергия электронов преобразуется в тепловую энергию при столкновении с мишенью, быстро нагревая материал до температуры его испарения (даже для материалов с температурой плавления выше 2000°C, таких как оксид алюминия. Затем материал испаряется в пар высокой плотности, состоящий из атомов, молекул или ионов.

Осаждение пара и образование пленки

Частицы испаренного материала движутся по прямой линии в вакуумной камере и осаждаются на поверхность вращающейся подложки. По мере накопления частиц они образуют тонкую пленку с определенной структурой и оптическими свойствами.

Мониторинг и контроль in-situ

Во время процесса нанесения покрытия для отслеживания толщины пленки и показателя преломления в реальном времени используется кварцевый кристаллический микробаланс или система оптического мониторинга. Система передает данные в блок управления, который регулирует такие параметры, как мощность электронного луча, температура подложки и скорость осаждения, чтобы гарантировать соответствие пленки проектным требованиям.

Основные преимущества

Высокая эффективность испарения для материалов с высокой температурой плавления

Электронные лучи непосредственно нагревают мишень, обеспечивая испарение материалов с температурой плавления > 3000°C.

Высокая чистота пленки

Вакуумная среда и бесконтактный нагрев минимизируют примеси в пленке.

Точный контроль толщины

Системы мониторинга in-situ и регулируемая мощность электронного луча позволяют контролировать толщину пленки с точностью до ±0,1 нм, что соответствует требованиям многослойных оптических пленок.

Широкая совместимость материалов

Совместимость с оксидами, фторидами, металлами и даже керамикой, расширяющая области применения.

Высокая скорость осаждения

Скорость осаждения может достигать 1–10 нм/с, повышая эффективность производства для оптических компонентов больших партий.

Применяемые отрасли

Оптическая связь

Нанесение тонких пленок для оптических волокон и оптических разветвителей, обеспечивающее низкие потери сигнала при передаче света.

Бытовая электроника

Антиотражающие (AR) пленки для экранов смартфонов/ноутбуков. Инфракрасные (IR) фильтры для модулей камер.

Аэрокосмическая и оборонная промышленность

Высокоотражающие пленки для оптических телескопов спутников. Антиобледенительные и противотуманные оптические пленки для лобовых стекол самолетов.

Полупроводники и оптоэлектроника

Диэлектрические пленки для микрочипов. Тонкопленочные покрытия для светоизлучающих диодов.