Источник испарения и тигиль:Водоохлаждаемый медный тиглитель для предотвращения испарения и реакции тиглительных материалов и повышения чистоты пленочного слоя; Он поддерживает многостанционное переключение и многослойное осаждение пленки.
Стадия субстрата:Он может нагреваться/охлаждаться водой, и может вращаться вокруг солнца/по своей оси, чтобы обеспечить равномерную толщину пленки.
Система управления:Высоковольтный источник питания, управление лучом, мониторинг толщины пленки (кристаллический осциллятор), вакуумный габарит и программа автоматизации, обеспечивающая контроль параметров в замкнутом цикле.
II. Принцип работы
Производство и ускорение электронного пучка:Когда тороидальная нить электрифицируется, она излучает горячие электроны, которые ускоряются 5-10 кВ высоковольтным электрическим полем для достижения высокой энергии.
Сосредоточение и отклонение:Электромагнитная катушка фокусирует и разряжает электронный луч на поверхности целевого материала внутри тигбиля, с плотностью энергии, которая может достигать 106 до 107 Вт/см2.
Испарение и осаждение:Кинетическая энергия электронного пучка преобразуется в тепловую энергию, и объект быстро нагревается до точки испарения и испаряется.Атомы/молекулы газовой фазы транспортируются в прямой линии к субстрату под высоким вакуумом и конденсируются, образуя равномерную пленку..
Контроль процесса:Мониторинг скорости осаждения и толщины пленки в режиме реального времени, динамическое регулирование тока луча и мощности для обеспечения стабильности процесса.
III. Основные особенности
Высокая плотность энергии:Местная температура может достигать 3000-6000°C, и он может испарять материалы с высокой температурой плавления, такие как вольфрам, молибден и SiO2.
Очень низкое загрязнение:Водоохлаждаемые тигли уменьшают загрязнение тигров, а чистота слоя пленки может достигать более 99,99%.
Эффективность и скорость:Высокая тепловая эффективность, скорость осаждения 0,1-100 нм/с, балансирующая эффективность и качество пленки.
Гибкий процесс:Нагрев/ротация субстрата повышает компактность и адгезию слоя пленки.
IV. Преимущества
Широкая адаптивность материалов:Совместимы с металлами, сплавами, оксидами, полупроводниками и т.д., особенно подходят для огнеупорных материалов.
Качество пленки превосходное:высокая чистота, хорошая плотность и сильная адгезия, отвечающие требованиям высокоточных оптических и электронных устройств.
Экономическая эффективность:Высокий уровень использования материалов, энергопотребление сосредоточено на целевых материалах и более низкие долгосрочные эксплуатационные затраты.
Высокая степень автоматизации:Параметры точно контролируются с хорошей повторяемостью, что делает его подходящим как для научных исследований, так и для массового производства.
функциональные покрытия:декоративные пленки, проводящие пленки (ITO), коррозионно-устойчивые и износоустойчивые покрытия, применяемые в аэрокосмической промышленности, инструментах и бытовой электронике.
Научные исследования и мелкомасштабное производство:Подготовка материалов для университетов и научно-исследовательских институтов, а также индивидуальные пленки для MEMS, биомедицинских устройств и т.д.