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円形電子銃 電子ビーム蒸発コーティングマシン 顧客のニーズに合わせる
| 起源の場所 | 広東 |
| ブランド名 | Lion King |
| 証明 | CE |
製品の詳細
コーティング基板:
金属、ガラス、セラミック、プラスチック
コーティングアプリケーション:
装飾的、機能的、保護
機械のサイズ:
カスタマイズ可能
回転スタンド:
2セット
蒸着材料:
金属、合金、有機材料
冷却システム:
水冷
フィルム素材のコーティング:
Au、Ag、Al、Cu、SiO2など
コーティングチャンバーのサイズ:
カスタマイズされた
コーティング効率:
高い
預金率:
速い
真空レベル:
高い真空
コーティングサイズ:
カスタマイズ可能
操作方法:
タッチスクリーン
コーティング温度:
≤200℃
保証期間:
1年
動作モード:
手動/自動
コーティング堆積速度:
調整可能
ハイライト:
電子ビーム蒸発装置
,環状電子銃のコーティング装置
,光電子銃のコーティングシステム
支払いと配送条件
最小注文数量
1
受渡し時間
45-60営業日
製品説明
I. 構造構成
- 環状電子銃システム環状電線 (カソード),アノード,焦点コイル,傾斜コイル.環状カソードは熱い電子を放出し,電場によって加速され,磁場によって焦点と傾斜,精密に水槽内の物質を爆撃します
- バキュームシステム:真空室,機械ポンプ,分子ポンプ/冷凍ポンプ.最終真空は通常10−4〜10−6Paに達し,ガス相衝突と汚染を減らす.
- 蒸発源とピグリブル:水で冷却された銅製のピグビルは,ピグビルの材料の蒸発と反応を防止し,フィルム層の純度を向上させる.多ステーションスイッチと多層フィルム堆積をサポートする.
- 基板段階:水で加熱/冷却され,太陽の周りに/自分の軸で回転して均質な薄膜厚さを確保できます.
- 制御システム:高電圧電源,ビーム制御,フィルム厚さのモニタリング (結晶振動器),真空計と自動化プログラム,パラメータの閉ループ制御を達成する.
II. 作業原則
- 電子ビーム生成と加速:トロイド線が電化されると,熱い電子を放出し,高エネルギーを得るために5〜10kVの高電圧電場によって加速されます.
- 焦点と偏向:電磁コイルは,電子束を焦点化し,電子束を低圧し,エネルギー密度は106〜107W/cm2に達する.
- 蒸発と堆積:電子束の運動エネルギーは熱エネルギーに変換され 対象物質は蒸発点まで急速に熱され 蒸発しますガス相原子/分子は高真空下で基板に直線で輸送され,均質なフィルムを形成するために凝縮されます..
- プロセスの制御:堆積速度とフィルム厚さのリアルタイムモニタリング,流量と電力のダイナミックな調整,プロセスの安定性を確保します.
基本的特徴
- 高エネルギー密度地元の温度は3000~6000°Cに達し,高溶融点の材料,例えばウラン,モリブデン,SiO2を蒸発させることができます.
- 極低汚染:水で冷却されたピグビルは,ピグビルの汚染を軽減し,フィルム層の純度が99.99%を超えることができます.
- 効率と割合:高熱効率,堆積速度0.1-100nm/s,バランス効率とフィルム品質
- 柔軟なプロセス多層スイッチは多層フィルムをサポートする.基板の加熱/回転によりフィルム層のコンパクト性と粘着性が向上する.
IV. 利点
- 材料の適応性金属,合金,酸化物,半導体などと互換性があり,特に耐火材料に適しています.
- フィルム層の質は最高です高度な純度,高密度,強い粘着性があり,高精度の光学装置と電子装置の要件を満たします.
- 費用対効果:材料利用率が高く,エネルギー消費が目標材料に集中し,長期的運用コストが低くなります.
- 高度な自動化パラメータは精密に制御され,重複性が良好で,科学研究と大量生産の両方に適しています.
V. 典型的な用途
- オプティカルフィルム:反射フィルム (AR),高反射フィルム,フィルター,ビームスプリッター,メガネ,カメラ,レーザー装置,太陽光電池に使用される.
- 半導体およびマイクロ電子:金属電極 (Al,Cu),介電層 (SiO2,Si3N4),センサーフィルム
- 機能性コーティング:装飾フィルム,導電フィルム (ITO),耐腐蝕/耐磨コーティング,航空宇宙,道具,消費者電子機器に用いられる.
- 科学研究と小規模生産大学や研究機関のための材料の準備,またMEMS,生物医学機器などのためのカスタマイズされたフィルム
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