|
鉱物ガラス光学レンズ用電子銃光学コーティング機、ポリマー光学レンズ
| 起源の場所 | 広東 |
| ブランド名 | Lion King |
| 証明 | CE |
ステンレス鋼のPVD真空塗装機
,PVD真空コーティングマシン タッチスクリーン
,多弧イオンPVD真空塗装機
オプティカルコーティング機器
応用:
AR/AF
高反射フィルム
スペクトロスコピーフィルム
他の光膜
特徴:
6点の結晶オシレーターセンサー+フィルム厚さコントローラで装備
RFイオン源
二重電子砲,多点式,リング式ピグビルの装備
自動蒸発制御システムは,自動蒸発プロセスを実現するために使用されます.
労働者は,オプションとして傘型または惑星型を装備することができます.
|
仕様
|
真空室 |
SUS 304, φ1550mmx1800mm (H) |
|
|
従業員のサイズ |
φ1400mm |
|
|
保持者の速度 |
0-60rpm (変数) |
|
|
フィルム厚み検出装置 |
6点の結晶振動センサー+フィルム厚さコントローラ |
|
|
蒸発源 |
2セットの電子銃 |
|
|
ロンソース |
23cm RF イオン源 |
|
|
排気システム |
メカニカルポンプ+拡散ポンプ (または分子ポンプ) +冷凍捕集ポンプ |
|
パフォーマンス
|
究極の圧力 |
7.0×10以下-4パパ |
|
|
排気時間 |
15分 (大気圧~1.3×10)- 3つパ) |
|
|
基板の温度 |
最大:350°C |
|
労働条件 |
設備の大きさ |
約5500mm ((W) x7200mm ((D) x3700mm ((H) |
|
|
電源 |
3相電源,380V,50Hz,約100kVA |
|
|
冷却水 |
水流量は11m3/hで温度は20°C-25°C |
|
|
空気圧 |
0.6〜0.7MPa以上 |
|
|
体重 |
約11000kg |
1.クォーツ結晶または光学フィルム厚さ制御装置を装備し,自動で正確なフィルム厚さ制御を実現することができます.
2.イオン爆撃装置を装備し,フィルム層と基板表面の間の粘着性を改善し,フィルム層の質を改善するために基板表面を浄化します.
3.フィルム材料の表面は滑らかで,フィルム層は蒸発プロセス全体に均等に分布
プログラム可能なコントローラー (PLC),タッチスクリーン (HMI) の人間機械制御インターフェースを採用し,操作が簡単で,手動/完全自動制御が自由に切り替える.
光学真空塗装機
紹介:この機械は,主に透明性強化フィルム,スペクトロスコピーフィルム,バンドパスフィルム/カットオフフィルム,および高反射フィルムなどの様々なフィルムを塗装するために使用されます.100層のフィルムで超大型フィルムシステムをプレートすることができます透明性強化フィルムと様々な色,赤,黄色,青,緑または虹色の反射フィルム
主要な特徴:
1この機械は,超大型の電子銃を装備しています. 蒸発プロセス全体では,フィルム表面は平らで,蒸発分布は均等です.
2この機械は,クォーツ結晶フィルム厚さ制御装置を装備し,フィルム形成速度と金属化プロセスを自動的に制御します.
3この機械は,高性能のイオン源を装備し,質の高いフィルム厚さを生産します.
4. 全体の構造は,プロセス要件をより良く満たすために合理的に設計されています. 掃除システムは,便利な操作のためにPLCによって自動的に制御されています.
5吸気管は水切断と相損失アラーム機能を有する.
6触覚画面とPLC自動制御は,本機全体の主要な部品のパラメータを設定するために使用され,リアルタイムでこの機械の実行を監視します.欠陥を賢く診断する.
主な構成:
1真空室は,正面ドアを持つ垂直型箱構造で,箱は完全に不?? 鋼ででき,内部空洞の寸法は Φ800mm1200mmです.
2. 真空システム構成:分子ポンプ (または拡散ポンプ),根ポンプ,機械ポンプ.
3急速循環水蒸気冷却ポンプ
4. ワークピースラックは,顧客に応じてカスタマイズすることができます統合弧形ワークピースです.
5コーティングシステムは,高性能E型270°磁気偏差電子銃の1つまたは2つのセットを装備しています.補助金属化システムは,ホールイオン源で装備されています.
6調理: デジタル表示と自動制御,温度制御精度は ± 1 です.5.
7フィルム厚さの監視システムは電子銃の蒸発速度を制御することができます. 光学フィルム厚さの監視システムは,波長が200~900nmの範囲で制御されている.
8制御システム:真空は,プログラム可能な論理コントローラと結合した10.4インチカラータッチスクリーンによって制御されます.真空とコーティングプロセスは完全に自動的に制御されます.
パラメータ仕様
|
モデル |
ライオン-700 |
ライオン-1000 |
ライオン-1100 |
ライオン-1300 |
ライオン1350 |
|
部屋の大きさ |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
コーティングフィルムタイプ |
光学反射フィルム,AR,ブロードバンド反射フィルム,単点反射フィルム,光学フィルムと装飾フィルム |
||||
|
固定装置 |
4枚の弧形固定装置,単一の弧形プレート回転,3枚のプレート惑星回転と回転,12軸回転と回転 (水平) |
||||
|
真空室構造 |
垂直 /水平 (304ステンレス鋼),真空システムポストを配置 |
||||
|
バキュームシステム |
スライドバルブポンプ ((ローટરીポンプ),根ポンプ,拡散ポンプ,維持ポンプ (オプション:分子ポンプ,深冷ポンプ,深冷システム) |
||||
|
暖房システム |
熱管で加熱され,PID制御,最高温度:350度 |
||||
|
インフレシステム |
質量流量制御器と電磁弁 |
||||
|
電気銃 |
電気銃 4つの丸い形状のチューグリブルとU形状のチューグリブル,高電圧4KV-8KV調整可能.三角波,シナス波および矩形波のスキャンはオプションです. |
||||
|
抵抗 蒸発源 |
抵抗蒸発源の2つのグループ |
||||
|
イオン源 |
功率 2KW,最大アノード電流 6A. フィルム層の固定力,密度,反射率を増加させるダブルフィラメント (Kerr) |
||||
|
クリスタルフィルム厚さコントローラ |
水晶フィルム厚さコントローラSQC-310 (アメリカ) とPLCは完全に自動的なポンプとEビーム蒸発システムを構成します. |
||||
|
究極の真空 |
8×104 清潔で卸荷 |
||||
|
パンプ時間 |
大気から5×103paまで15分未満 |
||||
|
制御方法 |
マニュアル,半自動,完全自動/タッチスクリーン&PLC |
||||
|
コメント |
顧客の要求に応じて設計することができます |
||||
