광적 코팅 장비
응용 프로그램:
AR/AF
고 반사 필름
스펙트로스코피 필름
다른 광적 필름
특징:
6포인트 결정 오시레이터 센서+필름 두께 컨트롤러
RF 이온 소스
이중 전자 총과 다점 및 반지 크라이블을 장착
자동 증발 제어 시스템은 자동 증발 과정을 실현하는 데 사용됩니다.
작업 소지자는 선택적으로 우산형 또는 행성형으로 장착 할 수 있습니다.
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사양
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진공실 |
SUS 304, φ1550mmx1800mm ((H) |
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근로자 크기 |
φ1400mm |
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근로자의 속도 |
0-60rpm (변수) |
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필름 두께 탐지 장치 |
6점 결정 오시레이터 센서 + 필름 두께 컨트롤러 |
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증발원 |
전자 총 2개 세트 |
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원천 |
23cm RF 이온 소스 |
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배기 시스템 |
기계 펌프+분산 펌프 (또는 분자 펌프) + 냉동 포집 펌프 |
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성능
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최후 압력 |
7.0x10 이하-4아빠 |
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배기 시간 |
15분 (대기압 ~1.3x10- 3개(Pa) |
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기판 온도 |
최대: 350°C |
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작업 상태 |
장비 크기 |
약 5500mm ((W) x7200mm ((D) x3700mm ((H) |
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전원 공급원 |
3단계 전원 공급 380V,50Hz,약 100kVA |
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냉각수 |
물의 흐름은 11m3/h이고 온도는 20°C-25°C입니다. |
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공기 압력 |
0.6-0.7MPa 이상 |
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무게 |
약 11000kg |
1.쿼츠 크리스탈 또는 광학 필름 두께 제어 도구로 장착되어 자동적이고 정확한 필름 두께 조절을 실현 할 수 있습니다.
2.이온 폭격 장치가 장착되어 필름 계층과 기판 표면의 결합을 개선하고 필름 계층의 품질을 향상시키기 위해 기판 표면을 정화합니다.
3.큰 크라이블 전자 총으로 장착, 필름 재료 표면은 부드럽고 필름 층은 전체 증발 과정에서 균등하게 분포
프로그래밍 가능한 컨트롤러 (PLC), 터치 스크린 (HMI) 인간-기계 제어 인터페이스를 채택하고, 조작이 쉽고, 수동 / 완전 자동 제어 자유롭게 전환합니다.
광학 진공 코팅 기계
소개:이 기계는 주로 투명성 강화 필름, 분광 필름, 밴드 패스 필름 / 절단 필름 및 고 반사 필름과 같은 다양한 필름을 접착하는 데 사용됩니다.100층의 필름을 장착할 수 있습니다., 다양한 색상의 투명성 강화 필름, 빨간색, 노란색, 파란색, 녹색 또는 무지개 색상의 반사 필름
주요 특징:
1이 기계는 슈퍼 큰 크라이블 전자 총을 갖추고 있습니다. 전체 증발 과정에서 필름 표면은 평평하고 증발 분포는 균일합니다.
2이 기계는 쿼츠 크리스탈 필름 두께 제어 도구로 장착되어 필름 형성 속도와 금속화 과정을 자동으로 제어합니다.
3이 기계는 높은 전력 이온 소스를 갖추고 좋은 품질의 필름 두께를 생산합니다.
4전체 구조는 공정 요구 사항을 더 잘 충족시키기 위해 합리적으로 설계되었습니다. 진공 시스템은 편리한 작동을 위해 PLC에 의해 자동으로 제어됩니다.
5진공 작동 시스템은 인터클로크로 보호됩니다. 확산 펌프는 물 차단 및 단계 손실 경보 기능이 있습니다.
6터치 스크린과 PLC 자동 제어 전체 기계의 주요 구성 요소의 매개 변수를 설정 하 고, 이 기계의 실행을 실시간으로 모니터링 하기 위해 사용 됩니다.그리고 오류를 지능적으로 진단합니다..
주요 구성:
1진공 방은 앞 문이 있는 수직형 상자 구조입니다. 상자는 완전히 스테인레스 스틸로 만들어집니다. 내부 구멍의 크기는 Φ800mm1200mm입니다.
2진공 시스템 구성: 분자 펌프 (또는 확산 펌프), 뿌리 펌프, 기계 펌프.
3빠른 순환 수증기 크리오 펌프와 함께 깊은 냉각 시스템
4. 작업 조각 랙은 통합 아치 모양 작업 조각입니다, 고객에 따라 사용자 정의 될 수 있습니다.
5코팅 시스템은 하나 또는 두 세트의 고전력 e 타입 270° 자기 기울기 전자 총 스캔 XY 방향으로 장착되어 있습니다.보조 금속화 시스템은 홀 이온 소스가 장착되어 있습니다.
6굽기: 디지털 표시 및 자동 제어 ± 1의 온도 조절 정확성.5.
7필름 두께 모니터링 시스템은 전자 총의 증발 속도를 제어 할 수 있습니다.파장의 길이가 200~900nm 범위 내에서 제어되는.
8. 제어 시스템: 진공은 프로그래밍 가능한 논리 컨트롤러와 결합 된 10.4 인치 컬러 터치 스크린에 의해 제어됩니다. 진공 및 코팅 프로세스는 완전히 자동으로 제어됩니다.
매개 변수 사양
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모델 |
라이온-700 |
라이온-1000 |
라이온-1100 |
라이온-1300 |
라이온-1350 |
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방 크기 |
750×800mm |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
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코팅 필름 유형 |
광 반사 필름, AR, 광대역 반사 필름, 단점 반사 필름, 광 필름 및 장식 필름 |
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장착장 |
4개의 아크 모양의 장착장치, 단일 아크 모양의 판 회전, 3개의 판 행성 회전 및 회전, 12 샤프트 회전 및 회전 (평면) |
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진공실 구조 |
수직 / 수평 (304 스테인리스 스틸), 진공 시스템 포스트 위치 |
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진공 시스템 |
슬라이드 밸브 펌프 (토리 펌프), 뿌리 펌프, 확산 펌프, 유지 펌프 (선택 사항: 분자 펌프, 심냉 펌프, 심냉 시스템) |
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난방 시스템 |
난방 튜브, PID 제어, 최고 온도: 350도 |
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인플레이션 시스템 |
질량 흐름 조절기 및 전자기 밸브 |
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전기 총 |
전기 총 4 개의 둥근 모양의 크라이블과 U 모양의 크라이블, 고전압 4KV-8KV 조절. 삼각형 파동, 시노 파동 및 직사각형 파동 스캔은 선택적입니다. |
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저항 증발 소스 |
저항 증발원 2 그룹 |
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이온 소스 |
전력 2KW, 최대 애노드 전류 6A. 필름 층의 고정 힘, 밀도 및 반사 지수를 증가시키는 이중 필라멘트 (Kerr) |
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크리스탈 필름 두께 조절기 |
크리스탈 필름 두께 컨트롤러 SQC-310 (미국) 및 PLC는 완전히 자동 펌프 및 E 빔 증발 시스템을 구성합니다. |
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최후의 진공 |
8×104깨끗하고 배하 |
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펌프 시간 |
대기권에서 5×103pa로 15분 이내에 |
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제어 방법 |
수동, 반 자동, 완전 자동 / 터치 스크린 & PLC |
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언급 |
고객 요청에 따라 설계 될 수 있습니다 |
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