تجهیزات پوشش نوری
کاربردها:
AR/AF
فیلمی با بازتاب بالا
فیلمی طیف نما
سایر فیلم های نوری
ویژگی ها:
مجهز به سنسور نوسانگر کریستالی 6 نقطه + کنترل کننده ضخامت فیلم
منبع یون های RF
مجهز به تفنگ هاي الکترونيک دوگانه، چند نقطه و حلقه
سیستم کنترل تبخیر خودکار برای تحقق فرآیند تبخیر خودکار استفاده می شود
نگهدارنده کار می تواند به صورت اختیاری با نوع چتر یا نوع سیاره ای مجهز شود.
|
مشخصات
|
اتاق خلاء |
SUS 304, φ1550mmx1800mm ((H) |
|
|
اندازه مالک کار |
φ1400mm |
|
|
سرعت نگهدارنده |
0-60rpm ((متغیر) |
|
|
دستگاه تشخیص ضخامت فیلم |
حسگر نوسانگر کریستالی 6 نقطه + کنترل کننده ضخامت فیلم |
|
|
منبع تبخیر |
دو دسته از تفنگ هاي الکترونيکي |
|
|
منبع |
منبع یون های RF 23 سانتی متر |
|
|
سیستم خروجی |
پمپ مکانیکی+پمپ پخش ((یا پمپ مولکولی) +پمپ ضبط کریوجنیک |
|
عملکرد
|
فشار نهایی |
کمتر از 7.0x10-4بابا |
|
|
زمان خروجی |
15 دقیقه فشار اتمسفر ~1.3x10-سه تاپ) |
|
|
دمای بستر |
حداکثر: 350 درجه سانتیگراد |
|
شرایط کاری |
اندازه تجهیزات |
حدود 5500mm ((W) x7200mm ((D) x3700mm ((H) |
|
|
منبع برق |
منبع برق سه فاز، 380V، 50Hz، حدود 100kVA |
|
|
آب خنک کننده |
سرعت جریان آب 11 متر در ساعت است، دمای آب 20 تا 25 درجه سانتیگراد است. |
|
|
فشار هوا |
بالاتر از 0.6-0.7MPa |
|
|
وزن |
حدود 11000 کیلوگرم |
1.مجهز به کریستال کوارتز یا ابزار کنترل ضخامت فیلم نوری، می تواند کنترل ضخامت فیلم خودکار و دقیق را تحقق بخشد.
2.مجهز به دستگاه بمب گذاری یون، سطح بستر را تصفیه می کند تا چسبندگی بهتر بین لایه فیلم و سطح بستر ایجاد شود و کیفیت لایه فیلم را بهبود بخشد.
3.مجهز به توپ الکترون خروجی بزرگ، سطح مواد فیلم صاف است و لایه فیلم به طور مساوی در کل فرآیند تبخیر توزیع می شود
کنترل کننده قابل برنامه ریزی (PLC) ، رابط کنترل انسان-ماشین صفحه لمسی (HMI) ، آسان برای کار، کنترل دستی / کامل خودکار به طور آزاد تغییر می کند.
دستگاه پوشش خلاء اپتیک
مقدمه:این ماشین عمدتا برای پوشش فیلم های مختلف مانند فیلم شفافیت افزایش یافته، فیلم طیف سنجی، فیلم باند عبور / فیلم برش و فیلم بازتاب بالا استفاده می شود.مي تونه يک سيستم فيلم فوق العاده بزرگ با 100 لايه از فيلم، و یک فیلم شفافیت افزایش یافته با رنگ های مختلف، یک فیلم بازتاب با قرمز، زرد، آبی، سبز یا رنگ کمان
ویژگی های اصلی:
1. این ماشین مجهز به یک تفنگ الکترونیکی فوق العاده بزرگ است. در کل فرآیند تبخیر سطح فیلم صاف است و توزیع تبخیر حتی است.
2این ماشین مجهز به یک ابزار کنترل ضخامت فیلم کریستال کوارتز برای کنترل سرعت شکل گیری فیلم و فرآیند فلز سازی به طور خودکار است.
3این دستگاه مجهز به یک منبع یون با قدرت بالا برای تولید ضخامت فیلم با کیفیت خوب است.
4. ساختار کلی به طور منطقی طراحی شده است تا نیازهای فرآیند را بهتر برآورده کند. سیستم خلاء به طور خودکار توسط PLC برای عملکرد راحت کنترل می شود.
5. سیستم عامل خلاء با یک قفل محافظت می شود. پمپ پخش دارای عملکرد قطع آب و هشدار از دست دادن فاز است.
6صفحه لمسی و کنترل خودکار PLC برای تنظیم پارامترهای اجزای اصلی کل ماشین استفاده می شود، برای نظارت بر اجرای این ماشین در زمان واقعی،و به طور هوشمندانه عیب ها را تشخیص دهیم.
پیکربندی اصلی:
1اتاق خلاء یک ساختار جعبه ای عمودی با درب جلویی است؛ جعبه به طور کامل از فولاد ضد زنگ ساخته شده است؛ ابعاد حفره داخلی Φ800mm1200mm است.
2پیکربندی سیستم خلاء: با پمپ مولکولی (یا پمپ پخش) ، پمپ ریشه، پمپ های مکانیکی.
3سیستم خنک کننده عمیق با پمپ کریوپمپ بخار آب با چرخه سریع
4. Work Piece Rack یک قطعه کار شکل قوس یکپارچه است ، می تواند بر اساس مشتری سفارشی شود.
5. سیستم پوشش مجهز به یک یا دو مجموعه از قدرت بالا e-نوع 270 ° انحراف مغناطیسی اسلحه اسکن الکترونیکی در جهت XY است.سیستم فلز سازی کمکی مجهز به یک منبع یون هول است.
6پختن: به صورت دیجیتال نمایش داده شده و به طور خودکار با دقت کنترل دمای ± 1 کنترل می شود.5.
7. سیستم نظارت ضخامت فیلم می تواند سرعت تبخیر اسلحه الکترونیک را کنترل کند.که طول موج در محدوده 200-900nm کنترل می شود.
8. سیستم کنترل: خلاء توسط یک صفحه لمسی رنگی 10.4 اینچی همراه با یک کنترل کننده منطقی قابل برنامه ریزی کنترل می شود. فرآیند خلاء و پوشش به طور خودکار کنترل می شود.
مشخصات پارامتر
|
مدل |
شیر-700 |
شیر-1000 |
شیر-1100 |
شیر-1300 |
شیر-1350 |
|
اندازه اتاق |
۷۵۰×۸۰۰ میلی متر |
1000×1100 |
1100×1300 |
1300×1350 |
1350×1500 |
|
نوع فیلم پوشش |
فیلم ضد انعکاس نوری، AR، ضد انعکاس پهن باند، ضد انعکاس تک نقطه ای، فیلتر نوری و فیلم تزئینی |
||||
|
دستگاه |
4 تکه از وسایل شکل قوس، واحد شکل قوس چرخش صفحه، 3 تکه از صفحه چرخش سیاره و چرخش، 12 شاخه چرخش و چرخش (افقی) |
||||
|
ساختار اتاق خلاء |
عمودی / افقی (304 فولاد ضد زنگ) ، سیستم خلاء پست موقعیت |
||||
|
سیستم خلاء |
پمپ دریچه کش ((پمپ چرخش) ، پمپ ریشه، پمپ پخش، پمپ نگهداری (اختیاری: پمپ مولکولی، پمپ سرد عمیق، سیستم سرد عمیق) |
||||
|
سیستم گرمایش |
گرمایش توسط لوله گرمایش، کنترل PID، حداکثر دمای: 350 درجه |
||||
|
سیستم تورم |
کنترل کننده جریان جرم و شیر مغناطیسی الکتریکی |
||||
|
تفنگ الکتريکي |
تفنگ الکتریکی 4 گلدان شکل گرد و یک گلدان شکل U ، ولتاژ بالا 4KV-8KV تنظیم می شود. اسکن موج مثلث ، موج سینوس و موج مستطیل اختیاری است. |
||||
|
مقاومت منبع تبخیر |
2 گروه از منابع تبخیر مقاومت |
||||
|
منبع یون |
قدرت 2KW، حداکثر جریان آنود 6A. رشته های دوگانه که نیروی اتصال، تراکم و شاخص بازتاب لایه فیلم را افزایش می دهند (Kerr) |
||||
|
کنترل کننده ضخامت فیلم کریستالی |
کنترل کننده ضخامت فیلم کریستالی SQC-310 ((آمریکا) و PLC سیستم پمپاژ و تبخیر E-beam را کاملاً خودکار تشکیل می دهند. |
||||
|
خلاء نهایی |
8×104پاک و خالی |
||||
|
زمان پمپ |
از اتمسفر به 5×103pa کمتر از 15 دقیقه |
||||
|
روش کنترل |
دستی، نیمه اتوماتیک، کاملا اتوماتیک / صفحه لمسی و PLC |
||||
|
یادآوری |
می تواند بر اساس درخواست مشتری طراحی شود |
||||
در هر زمان با ما تماس بگیرید