تجهیزات پوشش نوری برای ماشین پوشش pvd

1. سیستم خلاء (ضمانت اساسی برای پوشش) اتاق خلاء مجموعه پمپ خلاء اندازه گیری و کنترل خلاء
2. سیستم تفنگ الکترونی (سیستم منبع انرژی) منبع انتشار الکترون دستگاه تمرکز و انحراف ماژول کنترل قدرت
3. سیستم رسوب تبخیر (کلید شکل گیری فیلم) مونتاژ سنگ شکن؛ دستگاه تثبیت مواد هدف، نظارت و کنترل ضخامت فیلم، سنسور هسته ای.
4. سیستم کنترل (خودکارسازی و اطمینان از دقت) واحد کنترل اصلی ماژول کنترل حلقه بسته سیستم حفاظت از ایمنی
5. سیستم درمان بستر (توسعه ی چسبندگی فیلم) پشتیبانی بستر و مکانیسم چرخش؛ دستگاه گرمایش بستر و ماژول پیش پردازش بمب گذاری یون (اختیاری).
6. سیستم کمکی سیستم خنک کننده؛ سیستم کنترل گاز.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. دقت پوشش بسیار بالا است و کیفیت لایه فیلم عالی است
2. داراي طیف گسترده اي از مواد قابل استفاده است

   انواع مواد مانند فلزات تبخیر پذیر (Au، Ag، Al، Ti) ، آلیاژ ها (NiCr، TiW) ، اکسید ها (SiO2، TiO2، Al2O3) ، سولفاید ها (ZnS) و سرامیک.

3. بهره وری بسیار بالا از تبخیر و چسبندگی قوی لایه فیلم
4. آلودگی کم و بهره برداری بالا از مواد هدف
5. درجه بالایی از اتوماسیون و عملکرد راحت

1. میدان نوری (سیناریوهای کاربردی اصلی)
   • لنزهای نوری: فیلم های ضد انعکاس (مانند فیلم های چند لایه SiO2-TiO2) ، فیلم های بازتاب دهنده بالا (مانند فیلم های محافظ Al + SiO2) و فیلم های فیلتر (مانند فیلم های فیلتر مادون قرمز ،فیلم های قطع ماوراء بنفش) روی لنز پوشش داده می شوند.، پریزم ها و آینه ها برای افزایش انتقال نور، بازتاب یا انتخابی طیف دستگاه های نوری.
   • دستگاه های نمایش: پوشش فیلم های رسانا شفاف (مانند ITO، AZO) ، فیلم های ضد انعکاس و فیلم های حسگر لمسی بر روی بستر شیشه ای صفحه نمایش LCD، OLED و Micro LED.
   • دستگاه های لیزری: فیلم های بازتاب دهنده و ضد بازتاب در حفره رزونانس لیزر و صورت انتهای فیبر نوری برای بهینه سازی کارایی انتقال لیزر پوشش داده می شوند.
2. حوزه الکترونیک و نیمه هادی
   • دستگاه های نیمه هادی: الکترود های فلزی (مانند Au، Al، Ti) و فیلم های غیرفعال کننده (مانند SiO2، Si3N4) بر روی تراشه ها و وافرها پوشش داده می شوند تا هدایت و ثبات دستگاه ها تضمین شود.
   • اجزای الکترونیکی: پوشش لایه های فیلم کاربردی (مانند فیلم مقاومت NiCr، فیلم دی الکتریک Ta2O5) بر روی خازن ها، مقاومت ها و سنسورها برای افزایش عملکرد قطعات؛
   • دستگاه های ذخیره سازی مغناطیسی: پوشش فیلم های مغناطیسی (مانند فیلم های آلیاژ CoCrPt) بر روی سر های دیسک سخت و نوار های مغناطیسی برای افزایش ظرفیت ذخیره سازی و سرعت خواندن / نوشتن.
3. زمینه های هوافضا و دفاع ملی
   • اجزای هوافضا: پوشش لایه های ضد لباس، ضد خوردگی و ضد UV برای پنجره های هواپیما و لنزهای نوری ماهواره ایموشک جستجوگر را با فيلم ضد انعکاس مادون قرمز و فيلم مخفی پوشش دهید;
   • تجهیزات دفاعی ملی: پوشش لایه های فیلم نوری با عملکرد بالا برای سلاح های لیزر و آشکارسازان مادون قرمز برای افزایش سازگاری با محیط زیست و عملکرد جنگی تجهیزات.
4. سایر زمینه های پیشرفته
   • دستگاه های پزشکی: پوشش لایه های فیلم نوری با سازگاری زیستی خوب و مقاومت ضد عفونی کننده برای لنزهای مصنوعی و لنزهای اندوسکوپ
   • پوشش تزئینی و کاربردی: پوشش صفحه های ساعت های پیشرفته و جواهرات با فیلم های تزئینی مقاوم در اثر فرسایش و ضد اکسیداسیون (مانند فیلم طلا TiN، فیلم سیاه Cr)فیلم های محافظ سخت (مانند TiN و TiAlN) بر روی ابزارهای برش و قالب ها پوشش داده می شوند تا عمر آنها را افزایش دهند.