Équipement de revêtement optique à grande échelle à évaporation par faisceau d'électrons pour machine de revêtement en pvd

1. Système sous vide (Garantie de base pour le revêtement) Chambre à vide Ensemble de pompes à vide Mesure et contrôle du vide.
2. Système de canon électronique (noyau d'alimentation en énergie) Source d'émission d'électrons Dispositif de mise au point et de déviation Module de commande de puissance.
3. Système de dépôt par évaporation (clé de la formation de film) Montage du crucible; dispositif de fixation du matériau cible pour la surveillance et le contrôle de l'épaisseur du film.
4. Système de contrôle (automatisation et assurance de la précision) Unité de commande principale Module de commande en boucle fermée Système de protection de la sécurité.
5. Système de traitement du substrat (amélioration de l'adhérence du film) Le support du substrat et le mécanisme de rotation; dispositif de chauffage du substrat, module de prétraitement par bombardement ionique (facultatif).
6. Système auxiliaire Système de refroidissement; système de contrôle du gaz.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. La précision du revêtement est extrêmement élevée et la qualité de la couche de film est excellente
2. Il a une large gamme de matériaux applicables

   Une variété de matériaux tels que les métaux évaporables (Au, Ag, Al, Ti), les alliages (NiCr, TiW), les oxydes (SiO2, TiO2, Al2O3), les sulfures (ZnS) et les céramiques.

3. Efficacité d'évaporation élevée et forte adhérence de la couche de film
4. Faible pollution et taux d'utilisation élevé des matières cibles
5. Automatisation élevée et fonctionnement pratique

1. champ optique (scenarios d'application de base)
   • Lentilles optiques: films antireflet (tels que les films multicouches SiO2-TiO2), films à haute réflexion (tels que les films de protection Al+SiO2) et films filtrants (tels que les films filtrants infrarouges,Les lentilles sont recouvertes d'un revêtement de coupe ultraviolet., prismes et miroirs pour améliorer la transmission de la lumière, la réflectance ou la sélectivité spectrale des appareils optiques.
   • Dispositifs d'affichage: revêtement de films conducteurs transparents (tels que ITO, AZO), de films antireflet et de films tactiles sur les substrats en verre des écrans LCD, OLED et Micro LED.
   • Dispositifs laser: des films à haute réflexion et anti-réflexion sont revêtus sur la cavité de résonance laser et la face finale de la fibre optique pour optimiser l'efficacité de la transmission laser.
2. domaine de l'électronique et des semi-conducteurs
   • Dispositifs semi-conducteurs: les électrodes métalliques (tels que Au, Al, Ti) et les films de passivation (tels que SiO2, Si3N4) sont revêtus sur des puces et des plaquettes pour assurer la conductivité et la stabilité des dispositifs.
   • Composants électroniques: revêtement de couches de films fonctionnels (comme le film résistant NiCr, le film diélectrique Ta2O5) sur les condensateurs, résistances et capteurs afin d'améliorer les performances des composants;
   • Dispositifs de stockage magnétique: revêtement de films magnétiques (tels que des films d'alliage CoCrPt) sur les têtes de disque dur et les bandes magnétiques pour augmenter la capacité de stockage et la vitesse de lecture/écriture.
3. Les domaines de l'aérospatiale et de la défense nationale
   • Composants aérospatiaux: revêtement de couches de films résistantes à l'usure, à la corrosion et aux UV pour les fenêtres d'avions et les lentilles optiques par satellite;Couvrir le viseur de missile avec un film infrarouge anti-réflexion et un film furtif;
   • Équipement de défense nationale: revêtement de couches de film optique haute performance pour les armes laser et les détecteurs infrarouges afin d'améliorer l'adaptabilité environnementale et les performances de combat de l'équipement.
4. Autres champs haut de gamme
   • Dispositifs médicaux: revêtement de couches de films optiques avec une bonne biocompatibilité et une bonne résistance à la désinfection pour les lentilles artificielles et les lentilles d'endoscope;
   • revêtement décoratif et fonctionnel: revêtement des cadrans et bijoux de montre haut de gamme par des films décoratifs résistants à l'usure et à l'oxydation (tels que le film d'or TiN, le film noir Cr);Des films de protection durs (tels que le TiN et le TiAlN) sont revêtus sur les outils de coupe et les moules pour prolonger leur durée de vie.