Peralatan pelapis optik evaporasi sinar elektron berskala besar untuk mesin pelapis pvd

1. Sistem vakum (Jaminan dasar untuk lapisan) Kamar vakum Set pompa vakum Pengukuran dan kontrol vakum.
2. Sistem senapan elektron (inti pasokan energi) Sumber emisi elektron Perangkat fokus dan defleksi Modul kontrol daya.
3. Sistem pengendapan penguapan (kunci untuk pembentukan film) Perangkat pemasangan bahan target, pemantauan ketebalan film dan kontrol sensor inti.
4. Sistem kontrol (otomasi dan jaminan presisi) Unit kontrol utama Modul kontrol loop tertutup Sistem perlindungan keselamatan.
5. Sistem pengolahan substrat (Meningkatkan Adhesi Film) Substrat dukungan dan mekanisme berputar; Substrat pemanasan perangkat Ion bombardment modul pra-pengolahan (opsional).
6. Sistem bantu Sistem pendingin; sistem kontrol gas.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. Keakuratan lapisan sangat tinggi dan kualitas lapisan film sangat baik
2. Ini memiliki berbagai bahan yang dapat digunakan

   Berbagai bahan seperti logam menguap (Au, Ag, Al, Ti), paduan (NiCr, TiW), oksida (SiO2, TiO2, Al2O3), sulfida (ZnS), dan keramik.

3. Efisiensi penguapan yang tinggi dan perekat lapisan film yang kuat
4. Polusi rendah dan tingkat pemanfaatan bahan target yang tinggi
5. Tingkat otomatisasi yang tinggi dan pengoperasian yang nyaman

1. Bidang optik (Skenario aplikasi inti)
   • Lensa optik: Film anti-refleksi (seperti film SiO2-TiO2 multilayer), film reflektif tinggi (seperti film pelindung Al+SiO2), dan film filter (seperti film filter inframerah,ultraviolet cut-off film) dilapisi pada lensa, prisma, dan cermin untuk meningkatkan transmisi cahaya, reflektansi, atau selektivitas spektrum perangkat optik.
   • Perangkat tampilan: Lapisan film konduktif transparan (seperti ITO, AZO), film anti-reflektif, dan film sensor sentuhan pada substrat kaca layar LCD, OLED, dan Micro LED.
   • Perangkat laser: Film reflektif tinggi dan anti-refleksi dilapisi pada rongga resonan laser dan permukaan ujung serat optik untuk mengoptimalkan efisiensi transmisi laser.
2. Bidang Elektronik dan Semikonduktor
   • Perangkat semikonduktor: Elektrod logam (seperti Au, Al, Ti) dan film pasivasi (seperti SiO2, Si3N4) dilapisi pada chip dan wafer untuk memastikan konduktivitas dan stabilitas perangkat.
   • Komponen elektronik: Lapisan lapisan film fungsional (seperti film resistansi NiCr, film dielektrik Ta2O5) pada kondensator, resistor, dan sensor untuk meningkatkan kinerja komponen;
   • Perangkat penyimpanan magnetik: Lapisan film magnetik (seperti film paduan CoCrPt) pada kepala hard disk dan pita magnet untuk meningkatkan kapasitas penyimpanan dan kecepatan membaca/menulis.
3. Bidang kedirgantaraan dan pertahanan nasional
   • Komponen ruang angkasa: Lapisan lapisan film tahan aus, tahan korosi dan tahan UV untuk jendela pesawat dan lensa optik satelit;Lapisi pencari rudal dengan film anti-refleksi inframerah dan film siluman;
   • Peralatan pertahanan nasional: Lapisan lapisan film optik berkinerja tinggi untuk senjata laser dan detektor inframerah untuk meningkatkan kemampuan adaptasi lingkungan dan kinerja tempur peralatan.
4. Bidang high-end lainnya
   • Perangkat medis: Lapisan lapisan film optik dengan biokompatibilitas yang baik dan ketahanan desinfeksi untuk lensa buatan dan lensa endoskop;
   • Lapisan dekoratif dan fungsional: Lapisan dial jam tangan dan perhiasan kelas atas dengan film dekoratif tahan haus dan antioksidan (seperti film emas TiN, film hitam Cr);Film pelindung keras (seperti TiN dan TiAlN) dilapisi pada alat pemotong dan cetakan untuk memperpanjang umur mereka.