Large-scale electron beam evaporation optical coating equipment for pvd coating machine

1. Sistema de vácuo (garantia básica para revestimento) Câmara de vácuo Conjunto de bombas de vácuo Medição e controlo de vácuo.
2. Sistema de arma de elétrons (núcleo de alimentação de energia) Fonte de emissão de elétrons Dispositivo de focagem e deflexão Módulo de controlo de potência.
3. Sistema de deposição por evaporação (chave para a formação de filme) Dispositivo de fixação do material alvo, monitoramento e controlo da espessura do filme, sensor central.
4. Sistema de controlo (automação e garantia de precisão) Unidade de controlo principal Módulo de controlo de circuito fechado Sistema de protecção de segurança.
5. Sistema de tratamento do substrato (melhorando a adesão do filme) Mecanismo de suporte e rotação do substrato; dispositivo de aquecimento do substrato, módulo de pré-tratamento de bombardeamento iônico (opcional).
6. Sistema auxiliar Sistema de refrigeração; sistema de controlo de gás.

The core principle of the high-precision electron beam evaporation coating machine is the physical process of "converting the energy of the electron beam into the thermal energy of the target material to achieve material evaporation - gas-phase transfer - substrate deposition".

1. A precisão do revestimento é extremamente elevada e a qualidade da camada de filme é excelente
2. Tem uma ampla gama de materiais aplicáveis

   Uma variedade de materiais, tais como metais evaporáveis (Au, Ag, Al, Ti), ligas (NiCr, TiW), óxidos (SiO2, TiO2, Al2O3), sulfuros (ZnS) e cerâmica.

3. Alta eficiência de evaporação e forte adesão da camada de filme
4. Baixa poluição e elevada taxa de utilização dos materiais-alvo
5. Alto grau de automação e operação conveniente

1. Campo óptico (Core application scenarios)
   • Lentes ópticas: filmes anti-reflexos (como filmes multicamadas SiO2-TiO2), filmes de alta reflexão (como filmes de proteção Al+SiO2) e filtros (como filtros de infravermelho,Os filmes de corte ultravioleta) são revestidos em lentes, prismas e espelhos para melhorar a transmissão da luz, a reflectância ou a seletividade espectral dos dispositivos ópticos.
   • Dispositivos de exibição: Revestimento de películas condutivas transparentes (como ITO, AZO), películas antirreflectantes e películas sensíveis ao toque nos substratos de vidro dos ecrãs LCD, OLED e Micro LED.
   • Dispositivos a laser: filmes de alta reflexão e anti-reflexão são revestidos na cavidade de ressonância do laser e na face final da fibra óptica para otimizar a eficiência de transmissão do laser.
2. Eletrónica e semicondutores
   • Dispositivos semicondutores: Os eletrodos metálicos (como Au, Al, Ti) e as películas de passivação (como SiO2, Si3N4) são revestidos em chips e wafers para garantir a condutividade e estabilidade dos dispositivos.
   • Componentes eletrónicos: Revestimento de camadas funcionais de película (como película de resistência NiCr, película dielétrica Ta2O5) em condensadores, resistores e sensores para melhorar o desempenho dos componentes;
   • Dispositivos de armazenamento magnético: Revestimento de filmes magnéticos (como filmes de liga CoCrPt) em cabeças de disco rígido e fitas magnéticas para aumentar a capacidade de armazenamento e a velocidade de leitura/gravação.
3. Áreas aeroespaciais e de defesa nacional
   • Componentes aeroespaciais: revestimento de camadas de película resistentes ao desgaste, à corrosão e aos raios UV para janelas de aeronaves e lentes ópticas de satélite;Revesti o localizador de mísseis com filme antirreflexo infravermelho e filme furtivo;
   • Equipamento de defesa nacional: Revestimento de camadas de filme óptico de alto desempenho para armas a laser e detectores de infravermelho para melhorar a adaptabilidade ambiental e o desempenho de combate do equipamento.
4. Outros campos de gama alta
   • Dispositivos médicos: Revestimento de camadas de película óptica com boa biocompatibilidade e resistência à desinfecção para lentes artificiais e lentes endoscópicas;
   • Revestimento decorativo e funcional: Revestimento de mostradores de relógios e jóias de luxo com películas decorativas resistentes ao desgaste e à anti-oxidação (como película de ouro TiN, película preta Cr);As películas de proteção duras (como o TiN e o TiAlN) são revestidas em ferramentas de corte e moldes para prolongar a sua vida útil.